
מה זה TGV?
TGV, (דרך זכוכית), טכנולוגיה של יצירת חורים עוברים על גבי מצע זכוכית, במילים פשוטות, TGV הוא בניין רב קומות שמנקב, ממלא ומחבר למעלה ולמטה את הזכוכית כדי לבנות מעגלים משולבים על רצפת הזכוכית. טכנולוגיה זו נחשבת לטכנולוגיה מפתח עבור הדור הבא של אריזות תלת-ממדיות.

מהם המאפיינים של TGV?
1. מבנה: TGV הוא חור מוליך חודר אנכית העשוי על גבי מצע זכוכית. על ידי הפקדת שכבת מתכת מוליכה על דופן הנקבוביות, השכבות העליונות והתחתונות של אותות חשמליים מחוברות זו לזו.
2. תהליך ייצור: ייצור TGV כולל טיפול מקדים במצע, יצירת חורים, שקיעת שכבת מתכת, מילוי חורים ויישור. שיטות ייצור נפוצות הן איכול כימי, קידוח לייזר, ציפוי אלקטרוליטי וכן הלאה.
3. יתרונות יישום: בהשוואה לחורי מתכת מסורתיים, ל-TGV יתרונות של גודל קטן יותר, צפיפות חיווט גבוהה יותר, ביצועי פיזור חום טובים יותר וכן הלאה. נמצא בשימוש נרחב במיקרואלקטרוניקה, אופטואלקטרוניקה, MEMS ותחומים אחרים של חיבורים בצפיפות גבוהה.
4. מגמת פיתוח: עם התפתחותם של מוצרים אלקטרוניים לקראת מזעור ואינטגרציה גבוהה, טכנולוגיית ה-TGV זוכה ליותר ויותר תשומת לב ויישומים. בעתיד, תהליך הייצור שלה ימשיך להיות אופטימלי, וגודלה וביצועיה ימשיכו להשתפר.
מהו תהליך ה-TGV:

1. הכנת מצע זכוכית (א): הכינו מצע זכוכית בהתחלה כדי לוודא שהמשטח שלו חלק ונקי.
2. קידוח זכוכית (ב): לייזר משמש ליצירת חור חדירה במצע הזכוכית. צורת החור היא בדרך כלל חרוטית, ולאחר טיפול בלייזר בצד אחד, הוא הופך ומעובד בצד השני.
3. מטאליזציה של דופן החור (c): מטאליזציה מתבצעת על דופן החור, בדרך כלל באמצעות PVD, CVD ותהליכים אחרים ליצירת שכבת זרעי מתכת מוליכה על דופן החור, כגון Ti/Cu, Cr/Cu וכו'.
4. ליתוגרפיה (ד): פני השטח של מצע הזכוכית מצופים בפוטורזיסט ומעוצבים בדוגמאות פוטוכימיות. חשפו את החלקים שאינם זקוקים לציפוי, כך שרק החלקים הזקוקים לציפוי ייחשפו.
5. מילוי חורים (ה): ציפוי נחושת אלקטרוליטי למילוי חורי הזכוכית ליצירת נתיב מוליך מלא. בדרך כלל נדרש שהחור יהיה מלא לחלוטין ללא חורים. שימו לב שהנחושת בתרשים אינה מאוכלסת במלואן.
6. משטח ישר של המצע (f): חלק מתהליכי ה-TGV ישטחו את פני מצע הזכוכית הממולא כדי להבטיח שמשטח המצע יהיה חלק, דבר המסייע לשלבי התהליך הבאים.
7. שכבת מגן וחיבור מסוף (ז): שכבת מגן (כגון פוליאימיד) נוצרת על פני מצע הזכוכית.
בקיצור, כל שלב בתהליך TGV הוא קריטי ודורש בקרה ואופטימיזציה מדויקים. אנו מציעים כעת טכנולוגיית חורי זכוכית TGV במידת הצורך. אל תהססו לפנות אלינו!
(המידע הנ"ל לקוח מהאינטרנט, תוך צנזורה)
זמן פרסום: 25 ביוני 2024