עם ההתפתחות המתמשכת של טכנולוגיית מוליכים למחצה, בתעשיית המוליכים למחצה ואפילו בתעשייה הפוטו-וולטאית, הדרישות לאיכות פני השטח של מצע הוופלים או יריעת האפיטקסיאל גם הן מחמירות מאוד. אז מהן דרישות האיכות עבור ופלים?פרוסת ספירכדוגמה, אילו אינדיקטורים ניתן להשתמש בהם כדי להעריך את איכות פני השטח של ופלים?
מהם מדדי ההערכה של ופלים?
שלושת האינדיקטורים
עבור פרוסות ספיר, מדדי ההערכה שלהם הם סטיית עובי כוללת (TTV), כיפוף (Bow) ועיוות (Warp). שלושת הפרמטרים הללו יחד משקפים את השטיחות ואחידות העובי של פרוסת הסיליקון, ויכולים למדוד את מידת הגלי (emulsion) של הפרוסת. ניתן לשלב את הגלי (corrugation) עם השטיחות כדי להעריך את איכות פני השטח של הפרוסת.
מה זה TTV, BOW, Warp?
TTV (וריאציה כוללת של עובי)
TTV הוא ההפרש בין העובי המקסימלי והמינימלי של פרוסת סיליקון. פרמטר זה הוא מדד חשוב המשמש למדידת אחידות עובי הפרוסת סיליקון. בתהליך מוליך למחצה, עובי הפרוסת סיליקון חייב להיות אחיד מאוד על פני השטח כולו. מדידות מתבצעות בדרך כלל בחמישה מקומות על הפרוסת סיליקון וההפרש מחושב. בסופו של דבר, ערך זה הוא בסיס חשוב להערכת איכות הפרוסת סיליקון.
קֶשֶׁת
קשת בייצור מוליכים למחצה מתייחסת לכיפוף של פרוסת סיליקון, המשחררת את המרחק בין נקודת האמצע של פרוסת סיליקון שאינה מהודקת למישור הייחוס. מקור המילה כנראה בתיאור צורתו של אובייקט כשהוא כפוף, כמו הצורה המעוקלת של קשת. ערך הקשת מוגדר על ידי מדידת הסטייה בין מרכז פרוסת הסיליקון לקצה. ערך זה מבוטא בדרך כלל במיקרומטרים (מיקרומטר).
לְעַקֵם
עיוות הוא תכונה גלובלית של פרוסות סיליקון המודד את ההפרש בין המרחק המקסימלי למרחק המינימלי בין אמצע פרוסה שאינה מהודקת בחופשיות לבין מישור הייחוס. מייצג את המרחק מפני השטח של פרוסת הסיליקון למישור.
מה ההבדל בין TTV, קשת ועיוות?
TTV מתמקד בשינויים בעובי ואינו עוסק בכיפוף או עיוות של הוופל.
קשת מתמקדת בכיפוף הכללי, בעיקר בהתחשב בכיפוף של נקודת המרכז והקצה.
עיוות הוא מקיף יותר, כולל כיפוף ופיתול של כל פני השטח של הוופל.
למרות ששלושת הפרמטרים הללו קשורים לצורה ולתכונות הגיאומטריות של פרוסת הסיליקון, הם נמדדים ומתוארים באופן שונה, והשפעתם על תהליך המוליכים למחצה ועיבוד פרוסות הסיליקון גם היא שונה.
ככל ששלושת הפרמטרים קטנים יותר, כך ייטב, וככל שהפרמטר גדול יותר, כך גדלה ההשפעה השלילית על תהליך המוליכים למחצה. לכן, כמתמחים במוליכים למחצה, עלינו להבין את החשיבות של פרמטרי פרופיל הוופלים עבור תהליך התהליך כולו, ובתהליך המוליכים למחצה, עלינו לשים לב לפרטים.
צנזורה
זמן פרסום: 24 ביוני 2024