עם התפתחות מתמשכת של טכנולוגיית המוליכים למחצה, בתעשיית המוליכים למחצה ואפילו בתעשייה הפוטו-וולטאית, גם הדרישות לאיכות פני השטח של מצע הפרוסים או הגיליון האפיטקסיאלי מחמירות מאוד.אז, מהן דרישות האיכות לפרוסים?אם ניקח לדוגמה פרוסות ספיר, באילו אינדיקטורים ניתן להשתמש כדי להעריך את איכות פני השטח של פרוסות?
מהם האינדיקטורים להערכת פרוסות?
שלושת האינדיקטורים
עבור פרוסות ספיר, מדדי ההערכה שלה הם סטיית עובי מוחלטת (TTV), כיפוף (קשת) ו-Warp (Warp).שלושת הפרמטרים הללו יחד משקפים את אחידות השטיחות והעובי של פרוסת הסיליקון, ויכולים למדוד את מידת האדוות של הפרוסה.ניתן לשלב את הגלי עם השטיחות כדי להעריך את איכות משטח הוופל.
מה זה TTV, BOW, Warp?
TTV (שינוי עובי כולל)
TTV הוא ההבדל בין העובי המרבי והמינימלי של רקיק.פרמטר זה הוא מדד חשוב המשמש למדידת אחידות של עובי פרוס.בתהליך מוליכים למחצה, עובי הפרוסה חייב להיות אחיד מאוד על פני כל פני השטח.מדידות מבוצעות בדרך כלל בחמישה מיקומים על הפרוסה וההפרש מחושב.בסופו של דבר, ערך זה הוא בסיס חשוב לשיפוט איכות הפרוסה.
קשת
קשת בייצור מוליכים למחצה מתייחסת לכיפוף של רקיק, המשחרר את המרחק בין נקודת האמצע של רקיק לא מהודק למישור הייחוס.המילה מגיעה כנראה מתיאור צורתו של חפץ כשהוא מכופף, כמו צורתה המעוקלת של קשת.ערך הקשת מוגדר על ידי מדידת הסטייה בין המרכז והקצה של פרוסת הסיליקון.ערך זה מבוטא בדרך כלל במיקרומטרים (מיקרומטר).
לְעַקֵם
עיוות הוא תכונה גלובלית של פרוסות המודד את ההפרש בין המרחק המקסימלי והמינימלי בין האמצע של רקיק לא מהודק בחופשיות למישור הייחוס.מייצג את המרחק ממשטח פרוסת הסיליקון למישור.
מה ההבדל בין TTV, Bow, Warp?
TTV מתמקדת בשינויים בעובי ואינה עוסקת בכיפוף או עיוות של הפרוסה.
קשת מתמקדת בכיפוף הכללי, בעיקר בהתחשב בכיפוף של נקודת המרכז והקצה.
עיוות הוא מקיף יותר, כולל כיפוף ופיתול של כל משטח הפרוסות.
למרות ששלושת הפרמטרים הללו קשורים לצורה ולתכונות הגיאומטריות של פרוסת הסיליקון, הם נמדדים ומתוארים בצורה שונה, וגם השפעתם על תהליך המוליכים למחצה ועיבוד הפרוסים שונה.
ככל ששלושת הפרמטרים קטנים יותר, כך טוב יותר, וככל שהפרמטר גדול יותר, כך ההשפעה השלילית על תהליך המוליכים למחצה גדלה.לכן, כמתרגל מוליכים למחצה, עלינו להבין את החשיבות של פרמטרי פרופיל פרוסות עבור כל תהליך התהליך, לעשות תהליך מוליכים למחצה, חייבים לשים לב לפרטים.
(צנזור)
זמן פרסום: 24 ביוני 2024