כאשר בוחנים פרוסות סיליקון מוליכים למחצה או מצעים העשויים מחומרים אחרים, אנו נתקלים לעתים קרובות באינדיקטורים טכניים כגון: TTV, BOW, WARP, ואולי TIR, STIR, LTV, בין היתר. אילו פרמטרים אלה מייצגים?
TTV - וריאציה כוללת של עובי
קשת — קשת
עיוות — עיוות
TIR - קריאה כוללת המצוינת
STIR - קריאה כוללת של האתר
LTV - וריאציה מקומית של עובי
1. וריאציה כוללת של עובי - TTV
ההפרש בין העובי המקסימלי והמינימלי של הוופל ביחס למישור הייחוס כאשר הוופל מהודק ונמצא במגע הדוק. הוא מבוטא בדרך כלל במיקרומטרים (μm), המיוצגים לעתים קרובות כ: ≤15 μm.
2. קשת — קשת
הסטייה בין המרחק המינימלי למקסימלי מנקודת המרכז של פני הוואפל למישור הייחוס כאשר הוואפל נמצא במצב חופשי (לא מהודק). זה כולל גם מקרים קעורים (קיפוד שלילי) וגם מקרים קמורים (קיפוד חיובי). זה מבוטא בדרך כלל במיקרומטרים (μm), המיוצגים לעתים קרובות כ: ≤40 μm.
3. עיוות — עיוות
הסטייה בין המרחק המינימלי למקסימלי מפני השטח של הוופל למישור הייחוס (בדרך כלל המשטח האחורי של הוופל) כאשר הוופל נמצא במצב חופשי (לא מהודק). זה כולל גם מקרים קעורים (עיוות שלילי) וגם מקרים קמורים (עיוות חיובי). זה מבוטא בדרך כלל במיקרומטרים (μm), המיוצגים לעתים קרובות כ: ≤30 μm.
4. קריאה כוללת המצוינת — TIR
כאשר הוופל מהודק ונמצא במגע קרוב, באמצעות מישור ייחוס הממזער את סכום החיתוכים של כל הנקודות בתוך אזור האיכות או אזור מקומי מוגדר על פני הוופל, ה-TIR הוא הסטייה בין המרחקים המקסימליים והמינימליים מפני השטח של הוופל למישור ייחוס זה.
XKH, שנוסדה על מומחיות מעמיקה במפרטי חומרים למחצה כגון TTV, BOW, WARP ו-TIR, מספקת שירותי עיבוד פרוסות סיליקון מדויקים בהתאמה אישית, המותאמים לתקני התעשייה המחמירים ביותר. אנו מספקים ותומכים במגוון רחב של חומרים בעלי ביצועים גבוהים, כולל ספיר, סיליקון קרביד (SiC), פרוסות סיליקון, SOI וקוורץ, ומבטיחים שטוחות יוצאות דופן, עקביות עובי ואיכות פני שטח עבור יישומים מתקדמים באופטואלקטרוניקה, התקני הספק ו-MEMS. סמכו עלינו שנספק פתרונות חומרים אמינים ועיבוד שבבי מדויק העונים על דרישות התכנון התובעניות ביותר שלכם.
זמן פרסום: 29 באוגוסט 2025