פרוסת ספיר 12 אינץ' לייצור מוליכים למחצה בנפח גבוה

תיאור קצר:

פרוסת הספיר בגודל 12 אינץ' נועדה לענות על הביקוש הגובר לייצור מוליכים למחצה ואופטואלקטרוניקה בשטח גדול ובתפוקה גבוהה. ככל שארכיטקטורות המכשירים ממשיכות להתרחב וקווי הייצור נעים לעבר פורמטים גדולים יותר של פרוסות, מצעי ספיר בקטרים גדולים במיוחד מציעים יתרונות ברורים בפריון, אופטימיזציה של תפוקה ובקרת עלויות.

שלחו לנו אימייל

תכונות

תרשים מפורט

הצגת פרוסת ספיר בגודל 12 אינץ'

פרוסות הספיר שלנו בגודל 12 אינץ', המיוצרות מ-Al₂O₃ חד-גבישי בעל טוהר גבוה, משלבות חוזק מכני מעולה, יציבות תרמית ואיכות פני שטח. באמצעות צמיחת גבישים אופטימלית ועיבוד פרוסות מדויק, מצעים אלה מספקים ביצועים אמינים עבור יישומי LED מתקדמים, GaN ומוליכים למחצה מיוחדים.

מאפייני חומר

ספיר (תחמוצת אלומיניום חד-גבישית, Al₂O₃) ידועה בתכונותיה הפיזיקליות והכימיות המצוינות. פרוסות ספיר בגודל 12 אינץ' יורשות את כל היתרונות של חומר ספיר תוך מתן שטח פנים שמיש גדול בהרבה.

מאפייני החומר העיקריים כוללים:

קשיות ועמידות בפני שחיקה גבוהות במיוחד
יציבות תרמית מעולה ונקודת התכה גבוהה
עמידות כימית מעולה לחומצות ובסיסים
שקיפות אופטית גבוהה מאורכי גל UV ועד IR
תכונות בידוד חשמליות מצוינות

מאפיינים אלה הופכים פרוסות ספיר בגודל 12 אינץ' למתאימות לסביבות עיבוד קשות ולתהליכי ייצור מוליכים למחצה בטמפרטורה גבוהה.

תהליך ייצור

ייצור פרוסות ספיר בגודל 12 אינץ' דורש גידול גבישים מתקדם וטכנולוגיות עיבוד מדויקות במיוחד. תהליך הייצור הטיפוסי כולל:

גידול גביש יחיד
גבישי ספיר בעלי טוהר גבוה מגודלים באמצעות שיטות מתקדמות כגון KY או טכנולוגיות אחרות לגידול גבישים בקוטר גדול, מה שמבטיח כיוון גבישי אחיד ולחץ פנימי נמוך.
עיצוב וחיתוך גבישים
מטיל הספיר מעוצב במדויק ונפרס לפרוסות בעובי 12 אינץ' באמצעות ציוד חיתוך מדויק כדי למזער נזק תת-קרקעי.
ליקוק וליטוש
תהליכי ליקוק רב-שלביים וליטוש מכני כימי (CMP) מיושמים כדי להשיג חספוס פני השטח, שטוחות ואחידות עובי מעולים.
ניקוי ובדיקה
כל פרוסת ספיר בגודל 12 אינץ' עוברת ניקוי יסודי ובדיקה קפדנית, כולל ניתוח איכות פני השטח, TTV, קשת, עיוות ופגמים.

יישומים

פרוסות ספיר בגודל 12 אינץ' נמצאות בשימוש נרחב בטכנולוגיות מתקדמות ומתפתחות, כולל:

מצעי LED בעלי הספק גבוה ובהירות גבוהה
התקני כוח ומכשירי RF מבוססי GaN
נושאות ציוד מוליכים למחצה ומצעים מבודדים
חלונות אופטיים ורכיבים אופטיים בעלי שטח גדול
אריזות מוליכים למחצה מתקדמות ונושאי תהליכים מיוחדים

הקוטר הגדול מאפשר תפוקה גבוהה יותר ויעילות עלויות משופרת בייצור המוני.

יתרונות של פרוסות ספיר 12 אינץ'

שטח שימושי גדול יותר עבור תפוקת התקן גבוהה יותר לכל פרוסה
עקביות ואחידות משופרות בתהליך
עלות מופחתת לכל מכשיר בייצור בנפח גבוה
חוזק מכני מעולה לטיפול בגדלים גדולים
מפרטים הניתנים להתאמה אישית עבור יישומים שונים

אפשרויות התאמה אישית

אנו מציעים התאמה אישית גמישה עבור פרוסות ספיר בגודל 12 אינץ', כולל:

אוריינטציה של גבישים (מישור C, מישור A, מישור R וכו')
סובלנות עובי וקוטר
ליטוש חד צדדי או דו צדדי
פרופיל קצה ועיצוב שפוף
דרישות חספוס ושטיחות פני השטח

פָּרָמֶטֶר	מִפרָט	הערות
קוטר פרוסה	12 אינץ' (300 מ"מ)	פרוסה סטנדרטית בקוטר גדול
חוֹמֶר	ספיר חד-גבישי (Al₂O₃)	טוהר גבוה, ברמה אלקטרונית/אופטית
אוריינטציה של גבישים	מישור C (0001), מישור A (11-20), מישור R (1-102)	זמינות אוריינטציות אופציונליות
עוֹבִי	430–500 מיקרומטר	עובי מותאם אישית זמין לפי בקשה
סובלנות עובי	±10 מיקרומטר	סובלנות הדוק למכשירים מתקדמים
וריאציה כוללת של עובי (TTV)	≤10 מיקרומטר	מבטיח עיבוד אחיד על פני פרוסת הוואפל
קֶשֶׁת	≤50 מיקרומטר	נמדד על פני כל הוופל
לְעַקֵם	≤50 מיקרומטר	נמדד על פני כל הוופל
גימור פני השטח	ליטוש חד צדדי (SSP) / ליטוש דו צדדי (DSP)	משטח באיכות אופטית גבוהה
חספוס פני השטח (Ra)	≤0.5 ננומטר (מלוטש)	חלקות ברמה אטומית לצמיחה אפיטקסיאלית
פרופיל קצה	קצה מעוגל / קצה מעוגל	כדי למנוע סדקים במהלך הטיפול
דיוק כיוון	±0.5°	מבטיח צמיחה תקינה של שכבת האפיטקסיאל
צפיפות פגמים	<10 סמ"ר	נמדד על ידי בדיקה אופטית
שְׁטִיחוּת	≤2 מיקרומטר / 100 מ"מ	מבטיח ליתוגרפיה אחידה וצמיחה אפיטקסיאלית
טוֹהַר	מחלקה 100 - מחלקה 1000	תואם לחדר נקי
העברה אופטית	>85% (UV-IR)	תלוי באורך גל ובעובי

שאלות נפוצות על פרוסות ספיר בגודל 12 אינץ'

שאלה 1: מהו העובי הסטנדרטי של פרוסת ספיר בגודל 12 אינץ'?
א: העובי הסטנדרטי נע בין 430 מיקרון ל-500 מיקרון. ניתן גם לייצר עוביים בהתאמה אישית לפי דרישות הלקוח.

שאלה 2: אילו אוריינטציות גביש זמינות עבור פרוסות ספיר בגודל 12 אינץ'?
א: אנו מציעים כיוונים במישור C (0001), במישור A (11-20) ובמישור R (1-102). ניתן להתאים אישית כיוונים אחרים בהתאם לדרישות המכשיר הספציפיות.

שאלה 3: מהו וריאציית העובי הכוללת (TTV) של הוופל?
א: פרוסות הספיר שלנו בגודל 12 אינץ' הן בדרך כלל בעלות TTV ≤10 מיקרון, מה שמבטיח אחידות על פני כל פני השטח של הוופל לייצור התקנים באיכות גבוהה.

אודותינו

XKH מתמחה בפיתוח, ייצור ומכירה של זכוכית אופטית מיוחדת וחומרי קריסטל חדשים בטכנולוגיה מתקדמת. המוצרים שלנו משמשים לאלקטרוניקה אופטית, מוצרי אלקטרוניקה צרכנית ולצבא. אנו מציעים רכיבים אופטיים מספיר, כיסויי עדשות לטלפונים ניידים, קרמיקה, LT, סיליקון קרביד SIC, קוורץ ופלים גבישיים מוליכים למחצה. עם מומחיות מיומנת וציוד חדשני, אנו מצטיינים בעיבוד מוצרים לא סטנדרטי, ושואפים להיות מפעל היי-טק מוביל בתחום החומרים האופטואלקטרוניים.