כותרת: מהו FOUP בייצור שבבים?

תוֹכֶן הָעִניָנִים

1. סקירה כללית ותפקידי ליבה של FOUP

2. מבנה ומאפייני עיצוב של FOUP

3. סיווג והנחיות יישום של FOUP

4. פעולות וחשיבות של FOUP בייצור מוליכים למחצה

5. אתגרים טכניים ומגמות פיתוח עתידיות

6. פתרונות מותאמים אישית ותמיכת שירות של XKH

בתהליך ייצור מוליכים למחצה, ה-Front Opening Unified Pod (FOUP) הוא מיכל קריטי המשמש להגנה, הובלה ואחסון של פרוסות ופלים. פנים הפוד יכול להכיל 25 פרוסות ופלים בגודל 300 מ"מ, ומרכיביו העיקריים כוללים מיכל בעל פתיחה קדמית ומסגרת דלת ייעודית לפתיחה וסגירה. ה-FOUP הוא נשא ליבה במערכת ההובלה האוטומטית בתוך מפעלי פרוסות ופלים בגודל 12 אינץ'. הוא מועבר בדרך כלל במצב סגור ונפתח רק כאשר הוא נדחף לפתח הטעינה של הציוד, מה שמאפשר להעביר את הפרוסות לפתח הטעינה/פריקה של הציוד.

עיצוב ה-FOUP מותאם לדרישות המיקרו-סביבה. הוא כולל חריצים בחלקו האחורי להכנסת פרוסות סיליקון, והמכסה תוכנן במיוחד כדי להתאים לסוגר הפותחן. רובוטים לטיפול בפרוסות סיליקון פועלים בסביבת אוויר נקי Class 1, מה שמבטיח שהפרוסות לא יזוהמו במהלך ההעברה. יתר על כן, ה-FOUP מועבר בין כלי תהליך באמצעות מערכת טיפול בחומרים אוטומטית (AMHS). מפעלי פרוסות סיליקון מודרניים משתמשים בעיקר במערכות מסילות עיליות להובלה, בעוד שכמה מפעלים ישנים יותר עשויים להשתמש בכלי רכב מונחים אוטומטיים (AGV) קרקעיים.

מערכת FOUP לא רק מאפשרת העברה אוטומטית של פרוסות סיליקון, אלא גם משמשת כפונקציית אחסון. בשל שלבי הייצור הרבים, פרוסות סיליקון עשויות להימשך חודשים עד להשלים את כל זרימת התהליך. בשילוב עם כמויות ייצור חודשיות גבוהות, משמעות הדבר היא שעשרות אלפי פרוסות סיליקון בתוך מפעל נמצאות כל הזמן במעבר או באחסון זמני בכל זמן נתון. במהלך האחסון, פרוסות סיליקון סיליקון עוברות ניקוי מעת לעת בחנקן כדי למנוע מגע של מזהמים עם הפרוסות, ובכך להבטיח תהליך ייצור נקי ואמין.

1. תפקידים וחשיבות של FOUP

הפונקציה העיקרית של FOUP היא להגן על פרוסות סיליקון מפני זעזועים חיצוניים וזיהום, ובמיוחד הימנעות מהשפעות על התפוקה במהלך ההעברה. הוא מונע ביעילות לחות באמצעות שיטות כמו טיהור גזים ובקרת אטמוספרה מקומית (LAC), ומבטיח שהפרוסות יישארו במצב בטוח בזמן ההמתנה לשלב הייצור הבא. המערכת האטומה והמבוקרת שלו מאפשרת רק לתרכובות וליסודות הדרושים להיכנס, מה שמפחית משמעותית את ההשפעות השליליות של VOCs, חמצן ולחות על הפרוסות סיליקון.

מכיוון ש-FOUP טעון במלואו ב-25 פרוסות סיליקון יכול לשקול עד 9 קילוגרמים, הובלתו חייבת להסתמך על מערכת טיפול אוטומטית בחומרים (AMHS). כדי להקל על כך, ה-FOUP מתוכנן עם שילובים שונים של לוחות צימוד, פינים וחורים, ומצויד בתגיות אלקטרוניות RFID לזיהוי וסיווג קלים. טיפול אוטומטי זה כמעט ואינו דורש פעולה ידנית, מה שמפחית מאוד את שיעורי השגיאות ומשפר את הבטיחות והדיוק של תהליך הייצור.

2. מבנה וסיווג של FOUP

המידות האופייניות של מנוף עילי (FOUP) הן כ-420 מ"מ רוחב, 335 מ"מ עומק ו-335 מ"מ גובה. רכיביו המבניים העיקריים כוללים: ראש פטריות (OHT) עליון להובלת מנוף עילי; דלת קדמית לגישה לפלסטיק של הציוד; ידיות צדדיות, שלעתים קרובות מקודדות בצבע כדי להבחין באזורי תהליך עם רמות זיהום שונות; אזור כרטיסים להנחת כרטיסי הודעה; ותג RFID תחתון המשמש כמזהה ייחודי עבור ה-FOUP, המאפשר לכלים ולמנופים עיליים לזהות אותו. הבסיס מצויד גם בארבעה חורי זיהוי ומיקום להתאמה עם כלים ולהבחנה בין אזורי תהליך.

בהתבסס על השימוש, רכיבי FOUP מסווגים לשלושה סוגים: PRD (לייצור), ENG (להנדסת פרוסות תהודה), ו-MON (לפסות ניטור). רכיבי FOUP של PRD יכולים לשמש לייצור מוצרים, סוגי ENG מתאימים למחקר ופיתוח או ניסויים, וסוגי MON מיועדים לניטור תהליכים עבור שלבים כמו CMP ו-DIFF. חשוב לציין שניתן להשתמש ב-FOUP של PRD הן למטרות ENG והן למטרות MON, וניתן להשתמש בסוגי ENG עבור MON, אך הפעולה ההפוכה מהווה סיכוני איכות.

מסווגים לפי רמת זיהום, ניתן לחלק את FOUPs ל-FE FOUP (תהליך קדמי, ללא מתכת), BE FOUP (תהליך אחורי, מכיל מתכת), ואלו המתמחים בתהליכי מתכת ספציפיים כמו NI FOUP, CU FOUP ו-CO FOUP. FOUPs עבור תהליכים שונים נבדלים בדרך כלל לפי צבע ידיות הצד או פאנלי הדלת. ניתן להשתמש ב-FOUPs מתהליכים קדמיים בתהליכים אחוריים, אך אסור להשתמש ב-FOUPs אחוריים בתהליכים קדמיים, מכיוון שהדבר יגרום לסיכוני זיהום.

כספק מפתח בייצור מוליכים למחצה, FOUP, באמצעות אוטומציה גבוהה ובקרת זיהום קפדנית, מבטיח את בטיחותם וניקיון הפרוסות של ופלים במהלך תהליך הייצור, מה שהופך אותו לתשתית הכרחית במפעלי ופלים מודרניים.

מַסְקָנָה

XKH מחויבת לספק ללקוחותיה פתרונות FOUP (Front-Opening Unified Pod) מותאמים אישית, תוך הקפדה קפדנית על דרישות התהליך הספציפיות שלכם ומפרטי ממשק הציוד. באמצעות מינוף טכנולוגיית חומרים מתקדמת ותהליכי ייצור מדויקים, אנו מבטיחים שכל מוצר FOUP יספק אטימות, ניקיון ויציבות מכנית יוצאי דופן. לצוות הטכני שלנו מומחיות מעמיקה בתעשייה, המציע תמיכה מקיפה במחזור החיים - החל מייעוץ לבחירה ואופטימיזציה מבנית ועד ניקוי ותחזוקה - תוך הבטחת אינטגרציה חלקה ושיתוף פעולה יעיל בין ה-FOUP לבין מערכת הטיפול בחומרים האוטומטית שלכם (AMHS) וכן ציוד העיבוד. אנו נותנים עדיפות עקבית לבטיחות הפרוסות ושיפור תפוקת הייצור כיעדים המרכזיים שלנו. באמצעות מוצרים חדשניים ושירותים טכניים מקיפים, אנו מספקים ערובה איתנה לתהליכי ייצור המוליכים למחצה שלכם, ובסופו של דבר משפרים את יעילות הייצור ואת תפוקת המוצר.