צ'אק קרמי מסיליקון קרביד עבור פרוסות סיליקון ספיר Si GAA
תרשים מפורט
סקירה כללית של צ'אק קרמי מסיליקון קרביד (SiC)
הצ'אק קרמי מסיליקון קרבידהיא פלטפורמה בעלת ביצועים גבוהים המתוכננת לבדיקת מוליכים למחצה, ייצור פרוסות סיליקון ויישומי הדבקה. בנויה מחומרים קרמיים מתקדמים - כוללSiC מסונטר (SSiC), SiC קשור בתגובה (RSiC), סיליקון ניטריד, ואלומיניום ניטריד—זה מציעקשיחות גבוהה, התפשטות תרמית נמוכה, עמידות מעולה בפני שחיקה וחיי שירות ארוכים.
עם הנדסה מדויקת וליטוש חדיש, הצ'אק מספקשטוחות תת-מיקרון, משטחים באיכות מראה ויציבות ממדית לטווח ארוך, מה שהופך אותו לפתרון האידיאלי עבור תהליכים קריטיים של מוליכים למחצה.
יתרונות עיקריים
-
דיוק גבוה
שטוחות מבוקרת בתוך0.3–0.5 מיקרומטר, מה שמבטיח יציבות פרוסות סיליקון ודיוק עקבי בתהליך. -
ליטוש מראה
משיגרא 0.02 מיקרומטרחספוס פני השטח, מזעור שריטות וזיהום של פרוסות סיליקון - מושלם לסביבות נקיות במיוחד. -
קל משקל במיוחד
חזק יותר אך קל יותר מאשר מצעים מקוורץ או מתכת, משפר את בקרת התנועה, התגובה ודיוק המיקום. -
קשיחות גבוהה
מודול יאנג יוצא דופן מבטיח יציבות ממדית תחת עומסים כבדים ופעולה במהירות גבוהה. -
התפשטות תרמית נמוכה
CTE תואם מקרוב לפלסטיק סיליקון, מפחית עומס תרמי ומשפר את אמינות התהליך. -
עמידות יוצאת דופן בפני שחיקה
קשיות קיצונית שומרת על שטוחות ודיוק אפילו בשימוש ארוך טווח בתדירות גבוהה.
תהליך ייצור
-
הכנת חומרי גלם
אבקות SiC בעלות טוהר גבוה עם גודל חלקיקים מבוקר וזיהומים נמוכים במיוחד. -
גיבוש וסינטור
טכניקות כגוןסינטור ללא לחץ (SSiC) or קשר ריאקטיבי (RSiC)לייצר מצעים קרמיים צפופים ואחידים. -
עיבוד שבבי מדויק
השחזה CNC, חיתוך בלייזר ועיבוד שבבי מדויק במיוחד משיגים סבילות של ±0.01 מ"מ ומקבילות של ≤3 מיקרון. -
טיפול פני השטח
ליטוש וליטוש רב-שלבי עד Ra 0.02 מיקרון; ציפויים אופציונליים זמינים לעמידות בפני קורוזיה או תכונות חיכוך מותאמות אישית. -
פיקוח ובקרת איכות
אינטרפרומטרים ובודקי חספוס מאמתים עמידה במפרטי דירוג מוליכים למחצה.
מפרט טכני
| פָּרָמֶטֶר | עֵרֶך | יְחִידָה |
|---|---|---|
| שְׁטִיחוּת | ≤0.5 | מיקרומטר |
| גדלי פרוסות | 6'', 8'', 12'' (זמין בהתאמה אישית) | — |
| סוג משטח | סוג פין / סוג טבעת | — |
| גובה הסיכה | 0.05–0.2 | mm |
| קוטר פין מינימלי | ϕ0.2 | mm |
| מרווח מינימלי בין פינים | 3 | mm |
| רוחב טבעת אטם מינימלי | 0.7 | mm |
| חספוס פני השטח | רא 0.02 | מיקרומטר |
| סובלנות עובי | ±0.01 | mm |
| סובלנות קוטר | ±0.01 | mm |
| סובלנות מקביליות | ≤3 | מיקרומטר |
יישומים עיקריים
-
ציוד לבדיקת פרוסות מוליכים למחצה
-
מערכות ייצור והעברה של פרוסות
-
כלי אריזה והדבקה של פרוסות
-
ייצור מכשירים אופטואלקטרוניים מתקדמים
-
מכשירים מדויקים הדורשים משטחים שטוחים ונקיים במיוחד
שאלות ותשובות - צ'אק קרמי מסיליקון קרביד
שאלה 1: כיצד משתווים צ'אקים קרמיים מסיליקון לבן לצ'אקים קוורץ או מתכת?
A1: צ'אקים מסיליקון פחם קלים יותר, קשיחים יותר, ובעלי התנגדות תרמית (CTE) קרובה לפרוסות סיליקון, מה שממזער עיוות תרמי. הם גם מציעים עמידות מעולה בפני שחיקה ואורך חיים ארוך יותר.
שאלה 2: איזו שטוחות ניתן להשיג?
A2: נשלט בתוך0.3–0.5 מיקרומטר, העומדים בדרישות המחמירות של ייצור מוליכים למחצה.
שאלה 3: האם פני השטח ישרטו את הוופלים?
A3: לא - מלוטש במראהרא 0.02 מיקרומטר, מה שמבטיח טיפול ללא שריטות ויצירת חלקיקים מופחתת.
שאלה 4: אילו גדלי פרוסות נתמכים?
A4: גדלים סטנדרטיים של6 אינץ', 8 אינץ' ו-12 אינץ', עם אפשרות להתאמה אישית.
שאלה 5: איך ההתנגדות התרמית?
A5: קרמיקה SiC מספקת ביצועים מצוינים בטמפרטורה גבוהה עם עיוות מינימלי תחת מחזורי תרמי.
אודותינו
XKH מתמחה בפיתוח, ייצור ומכירה של זכוכית אופטית מיוחדת וחומרי קריסטל חדשים בטכנולוגיה מתקדמת. המוצרים שלנו משמשים לאלקטרוניקה אופטית, מוצרי אלקטרוניקה צרכנית ולצבא. אנו מציעים רכיבים אופטיים מספיר, כיסויי עדשות לטלפונים ניידים, קרמיקה, LT, סיליקון קרביד SIC, קוורץ ופלים גבישיים מוליכים למחצה. עם מומחיות מיומנת וציוד חדשני, אנו מצטיינים בעיבוד מוצרים לא סטנדרטי, ושואפים להיות מפעל היי-טק מוביל בתחום החומרים האופטואלקטרוניים.
