צינור תנור אופקי מסיליקון קרביד (SiC)

תיאור קצר:

צינור הכבשן האופקי מסיליקון קרביד (SiC) משמש כתא התהליך העיקרי וגבול הלחץ לתגובות פאזה גזית בטמפרטורה גבוהה וטיפולי חום המשמשים בייצור מוליכים למחצה, ייצור פוטו-וולטאי ועיבוד חומרים מתקדם.

שלחו לנו אימייל

תכונות

תרשים מפורט

מיצוב מוצר והצעת ערך

צינור זה, המיוצר עם מבנה SiC מקשה אחת המיוצר בתוספים, בשילוב עם שכבת מגן צפופה של CVD-SiC, מספק מוליכות תרמית יוצאת דופן, זיהום מינימלי, שלמות מכנית חזקה ועמידות כימית יוצאת דופן.
העיצוב שלו מבטיח אחידות טמפרטורה מעולה, מרווחי שירות מורחבים ותפעול יציב לטווח ארוך.

יתרונות מרכזיים

משפר את עקביות טמפרטורת המערכת, ניקיון ויעילות הציוד הכוללת (OEE).
מפחית את זמן ההשבתה לצורך ניקוי ומאריך את מחזורי ההחלפה, ובכך מוריד את עלות הבעלות הכוללת (TCO).
מספק תא בעל חיים ארוך טווח המסוגל להתמודד עם כימיקלים חמצוניים ועשירים בכלור בטמפרטורה גבוהה עם סיכון מינימלי.

אטמוספרות ישימות וחלון תהליך

גזים ריאקטיבייםחמצן (O₂) ותערובות מחמצנות אחרות
גזים נשאים/מגניםחנקן (N₂) וגזים אינרטיים טהורים במיוחד
מינים תואמיםגזים נושאי כלור עקבות (ריכוז וזמן השהייה מבוקרים על ידי מתכון)

תהליכים אופיינייםחמצון יבש/רטוב, חישול, דיפוזיה, שיקוע LPCVD/CVD, הפעלת פני השטח, פסיבציה פוטו-וולטאית, גידול שכבה דקה פונקציונלי, קרבוניזציה, ניטרידציה ועוד.

תנאי הפעלה

טמפרטורה: טמפרטורת חדר עד 1250 מעלות צלזיוס (יש לאפשר מרווח בטיחות של 10-15% בהתאם לתכנון גוף החימום ול-ΔT)
לחץ: מרמות ואקום בלחץ נמוך/LPCVD ועד ללחץ חיובי כמעט אטמוספרי (מפרט סופי לפי הזמנת רכש)

חומרים ולוגיקה מבנית

גוף SiC מונוליטי (ייצור תוסף)

β-SiC בצפיפות גבוהה או SiC רב-פאזי, בנוי כרכיב יחיד - ללא חיבורים מולחמים או תפרים שעלולים לדלוף או ליצור נקודות לחץ.
מוליכות תרמית גבוהה מאפשרת תגובה תרמית מהירה ואחידות טמפרטורה צירית/רדיאלית מעולה.
מקדם התפשטות תרמית (CTE) נמוך ויציב מבטיח יציבות ממדית ואטימות אמינות בטמפרטורות גבוהות.

ציפוי פונקציונלי CVD SiC

הופקד באתר, טהור במיוחד (זיהומי פני השטח/ציפוי < 5 ppm) כדי לדכא יצירת חלקיקים ושחרור יוני מתכת.
אינרטיות כימית מעולה כנגד גזים מחמצנים וגזים הנושאים כלור, מונעת התקפה של קירות או שקיעה חוזרת.
אפשרויות עובי ספציפיות לאזור לאיזון עמידות בפני קורוזיה ותגובתיות תרמית.

הטבה משולבתגוף ה-SiC החזק מספק חוזק מבני והולכת חום, בעוד ששכבת ה-CVD מבטיחה ניקיון ועמידות בפני קורוזיה לאמינות ותפוקה מקסימליות.

יעדי ביצוע מרכזיים

טמפרטורת שימוש רציף:≤ 1250 מעלות צלזיוס
זיהומים במצע בתפזורת:< 300 ppm
זיהומים על פני השטח של CVD-SiC:< 5 ppm
סבילות ממדיות: קוטר חיצוני ±0.3–0.5 מ"מ; קואקסיאליות ≤ 0.3 מ"מ/מ' (ניתן להשיג קוטר צר יותר)
חספוס דופן פנימית: Ra ≤ 0.8–1.6 מיקרומטר (גימור מלוטש או כמעט-מראה אופציונלי)
קצב דליפת הליום: ≤ 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s
עמידות בפני הלם תרמי: שורד מחזורי חום/קור חוזרים ונשנים ללא סדקים או התקלפות
הרכבה בחדר נקי: ISO Class 5-6 עם רמות שאריות חלקיקים/יוני מתכת מאושרות

תצורות ואפשרויות

גֵאוֹמֶטרִיָהקוטר חיצוני 50–400 מ"מ (גדול יותר לפי הערכה) עם מבנה ארוך מקשה אחת; עובי דופן מותאם לחוזק מכני, משקל ושטף חום.
עיצובים סופייםאוגנים, פתחי פעמון, כידון, טבעות איתור, חריצי טבעות O, ופתחי שאיבה או לחץ בהתאמה אישית.
יציאות פונקציונליותפתחי הזנת תרמו-צמד, מושבי זכוכית ראייה, כניסות גז מעקף - כולם מתוכננים לפעולה אטומה לדליפות בטמפרטורה גבוהה.
תוכניות ציפוידופן פנימית (ברירת מחדל), דופן חיצונית או כיסוי מלא; מיגון ממוקד או עובי מדורג לאזורים עם פגיעה גבוהה.
טיפול פני השטח וניקיון: דרגות חספוס מרובות, ניקוי אולטרסאונד/DI ופרוטוקולי אפייה/ייבוש מותאמים אישית.
אביזריםאוגנים, אטמים, מתקני איתור, שרוולי טיפול ועריסות אחסון מגרפיט/קרמיקה/מתכת.

השוואת ביצועים

מֶטרִי	צינור SiC	שפופרת קוורץ	שפופרת אלומינה	צינור גרפיט
מוליכות תרמית	גבוה, אחיד	נָמוּך	נָמוּך	גָבוֹהַ
חוזק/זחילה בטמפרטורה גבוהה	מְעוּלֶה	הוֹגֶן	טוֹב	טוב (רגיש לחמצון)
הלם תרמי	מְעוּלֶה	חַלָשׁ	לְמַתֵן	מְעוּלֶה
ניקיון / יוני מתכת	מצוין (נמוך)	לְמַתֵן	לְמַתֵן	יָרוּד
חמצון וכימיה של כלור	מְעוּלֶה	הוֹגֶן	טוֹב	גרוע (מתחמצן)
עלות לעומת חיי שירות	אורך חיים בינוני/ארוך	נמוך / קצר	בינוני / בינוני	בינוני / מוגבל בסביבה

שאלות נפוצות (FAQ)

שאלה 1. מדוע לבחור גוף SiC מונוליטי מודפס בתלת-ממד?
א. זה מבטל תפרים ופלדה שיכולים לדלוף או לרכז מאמץ, ותומך בגיאומטריות מורכבות עם דיוק ממדי עקבי.

שאלה 2. האם SiC עמיד בפני גזים המכילים כלור?
א. כן. CVD-SiC הוא חומר אינרטי ביותר בגבולות טמפרטורה ולחץ שצוינו. עבור אזורים בעלי השפעה גבוהה, מומלץ להשתמש בציפויים עבים מקומיים ומערכות ניקוז/פליטה חזקות.

שאלה 3. כיצד הוא מתפקד טוב יותר משפופרות קוורץ?
א. SiC מציע חיי שירות ארוכים יותר, אחידות טמפרטורה טובה יותר, זיהום נמוך יותר של חלקיקים/יוני מתכת ועלות כוללת משופרת (TCO) - במיוחד מעבר ל-900 מעלות צלזיוס או באטמוספרות מחמצנות/כלוריות.

שאלה 4. האם הצינור יכול להתמודד עם עלייה תרמית מהירה?
א. כן, בתנאי שהנחיות ΔT מקסימליות וקצב הרמפה מוקפדות. שילוב גוף SiC בעל κ גבוה עם שכבת CVD דקה תומך במעברים תרמיים מהירים.

שאלה 5. מתי נדרשת החלפה?
א. החלף את הצינור אם אתה מזהה סדקים באוגן או בקצה, בורות ציפוי או התקלפות, עלייה בקצב הדליפה, סחיפה משמעותית בפרופיל הטמפרטורה או יצירת חלקיקים חריגה.

אודותינו

XKH מתמחה בפיתוח, ייצור ומכירה של זכוכית אופטית מיוחדת וחומרי קריסטל חדשים בטכנולוגיה מתקדמת. המוצרים שלנו משמשים לאלקטרוניקה אופטית, מוצרי אלקטרוניקה צרכנית ולצבא. אנו מציעים רכיבים אופטיים מספיר, כיסויי עדשות לטלפונים ניידים, קרמיקה, LT, סיליקון קרביד SIC, קוורץ ופלים גבישיים מוליכים למחצה. עם מומחיות מיומנת וציוד חדשני, אנו מצטיינים בעיבוד מוצרים לא סטנדרטי, ושואפים להיות מפעל היי-טק מוביל בתחום החומרים האופטואלקטרוניים.