קו אוטומציה לליטוש פרוסות סיליקון / סיליקון קרביד (SiC) ארבע-שלבי (קו טיפול משולב לאחר ליטוש)

קו אוטומציה לליטוש פרוסות סיליקון / סיליקון קרביד (SiC) בעל ארבעה שלבים (קו טיפול משולב לאחר ליטוש) תמונה ראשית

תיאור קצר:

קו אוטומציה זה לליטוש מקושר בן ארבעה שלבים הוא פתרון משולב בקו שנועד עבורלאחר ליטוש / לאחר CMPפעולות שלסִילִיקוֹןוסיליקון קרביד (SiC)ופלים. בנויים סביבנשאים קרמיים (לוחות קרמיים), המערכת משלבת מספר משימות במורד הזרם לקו מתואם אחד - ועוזרת למפעלים להפחית את הטיפול הידני, לייצב את זמן הטיפול ולחזק את בקרת הזיהום.

שלחו לנו אימייל

תכונות

תרשים מפורט

קו אוטומציה לליטוש פרוסות סיליקון / סיליקון קרביד (SiC) ארבע-שלבי (קו טיפול משולב לאחר ליטוש)4

סקירה כללית

בייצור מוליכים למחצה,ניקוי יעיל לאחר CMPמוכר באופן נרחב כצעד מפתח להפחתת פגמים לפני התהליך הבא, וגישות מתקדמות (כוללניקוי מגה-סוניק) נדונים בדרך כלל לשיפור ביצועי הסרת חלקיקים.

עבור SiC בפרט, שלהקשיות גבוהה ואדישות כימיתהופכים את הליטוש למאתגר (קשור לעתים קרובות לקצב הסרת חומר נמוך וסיכון גבוה יותר לנזק למשטח/תת-השטח), מה שהופך את אוטומציה יציבה לאחר ליטוש וניקוי/טיפול מבוקר ליקרים במיוחד.

קו אוטומציה לליטוש פרוסות סיליקון / סיליקון קרביד (SiC) ארבע-שלבי (קו טיפול משולב לאחר ליטוש)5

קו אוטומציה לליטוש פרוסות סיליקון / סיליקון קרביד (SiC) ארבע-שלבי (קו טיפול משולב לאחר ליטוש)2

יתרונות עיקריים

קו משולב יחיד התומך ב:

הפרדת ואיסוף פרוסות(לאחר ליטוש)
אחסון/חציצה של נשא קרמי
ניקוי מנשא קרמי
הרכבת פרוסות (הדבקה) על גבי נשאים קרמיים
פעולה מאוחדת בשורה אחת עבורפרוסות בגודל 6-8 אינץ'

מפרט טכני (מגיליון הנתונים שסופק)

מידות הציוד (אורך×רוחב×גובה):13643 × 5030 × 2300 מ"מ
ספק כוח:מתח זרם חילופין 380 וולט, 50 הרץ
הספק כולל:119 קילוואט
ניקיון הרכבה:0.5 מיקרומטר < 50 יחידות; 5 מיקרומטר < 1 יחידות
שטוחות הרכבה:≤ 2 מיקרומטר

ייחוס תפוקה (מגיליון הנתונים שסופק)

מידות הציוד (אורך×רוחב×גובה):13643 × 5030 × 2300 מ"מ
ספק כוח:מתח זרם חילופין 380 וולט, 50 הרץ
הספק כולל:119 קילוואט
ניקיון הרכבה:0.5 מיקרומטר < 50 יחידות; 5 מיקרומטר < 1 יחידות
שטוחות הרכבה:≤ 2 מיקרומטר

זרימת קו אופיינית

הזנה / ממשק מאזור הליטוש במעלה הזרם
הפרדת ואיסוף ופלים
חציצה/אחסון של נשא קרמי (ניתוק בזמן טקט)
ניקוי מנשא קרמי
הרכבת פרוסות על גבי נשאים (עם בקרת ניקיון ושטיחות)
הזנה לתהליך או לוגיסטיקה במורד הזרם

שאלות נפוצות

שאלה 1: אילו בעיות קו זה פותר בעיקר?
א: זה מייעל את פעולות הליטוש שלאחר הליטוש על ידי שילוב הפרדת/איסוף פרוסות, חציצה של נושאי קרמיקה, ניקוי נושאי קרמיקה והרכבת פרוסות קרמיות בקו אוטומציה מתואם אחד - תוך צמצום נקודות מגע ידניות וייצוב קצב הייצור.

שאלה 2: אילו חומרים וגדלים של פרוסות מזון נתמכים?
א:סיליקון ו-SiC,6–8 אינץ'ופלים (לפי המפרט שסופק).

שאלה 3: מדוע מושם דגש על ניקוי לאחר CMP בתעשייה?
א: הספרות בתעשייה מדגישה כי גדל הביקוש לניקוי יעיל לאחר CMP כדי להפחית את צפיפות הפגמים לפני השלב הבא; גישות מבוססות מגה-קוליות נחקרות בדרך כלל לשיפור הסרת חלקיקים.

אודותינו

XKH מתמחה בפיתוח, ייצור ומכירה של זכוכית אופטית מיוחדת וחומרי קריסטל חדשים בטכנולוגיה מתקדמת. המוצרים שלנו משמשים לאלקטרוניקה אופטית, מוצרי אלקטרוניקה צרכנית ולצבא. אנו מציעים רכיבים אופטיים מספיר, כיסויי עדשות לטלפונים ניידים, קרמיקה, LT, סיליקון קרביד SIC, קוורץ ופלים גבישיים מוליכים למחצה. עם מומחיות מיומנת וציוד חדשני, אנו מצטיינים בעיבוד מוצרים לא סטנדרטי, ושואפים להיות מפעל היי-טק מוביל בתחום החומרים האופטואלקטרוניים.