מצע פרוסת ספיר בקוטר 12 אינץ', 300x1.0 מ"מ, C-Plane SSP/DSP
מצב שוק מצע ספיר 12 אינץ'
כיום, לספיר שני שימושים עיקריים, האחד הוא חומר מצע, שהוא בעיקר חומר מצע LED, והשני הוא לוח שעונים, תעופה, חלון וחומר חלונות לייצור מיוחד.
למרות שסיליקון קרביד, סיליקון וגליום ניטריד זמינים גם כמצעים לנורות LED בנוסף לספיר, ייצור המוני עדיין אינו אפשרי עקב עלות וכמה צווארי בקבוק טכניים שלא נפתרו. מצע ספיר, באמצעות הפיתוח הטכני בשנים האחרונות, התאמת הסריג שלו, המוליכות החשמלית, התכונות המכניות, המוליכות התרמית ותכונות אחרות שופרו וקודמו מאוד, מה שנותן יתרון משמעותי מבחינת עלות-תועלת, ולכן ספיר הפך לחומר המצע הבוגר והיציב ביותר בתעשיית ה-LED, והוא נמצא בשימוש נרחב בשוק, ונתח השוק שלו מגיע עד ל-90%.
מאפיין של מצע פרוסת ספיר 12 אינץ'
1. למשטחי מצע ספיר יש ספירת חלקיקים נמוכה במיוחד, עם פחות מ-50 חלקיקים בגודל 0.3 מיקרון או יותר לכל 2 אינץ' בטווח הגדלים של 2 עד 8 אינץ', ומתכות עיקריות (K, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn) מתחת ל-2E10/cm2. חומר הבסיס בגודל 12 אינץ' צפוי גם הוא להשיג דרגה זו.
2. ניתן להשתמש בו כפלי נשא (wafer carrier) עבור תהליך ייצור מוליכים למחצה בגודל 12 אינץ' (משטחי הובלה בתוך המכשיר) וכמצע להדבקה.
3. יכול לשלוט על צורת המשטח הקעור והקמור.
חומר: גביש יחיד טוהר גבוה Al2O3, פרוסת ספיר.
איכות LED, ללא בועות, סדקים, תאומים, שושלת, ללא צבע וכו'.
פרוסות ספיר 12 אינץ'
| הִתמַצְאוּת | מישור C<0001> +/- מעלה אחת. |
| קוֹטֶר | 300.0 +/-0.25 מ"מ |
| עוֹבִי | 1.0 +/-25 מיקרון |
| לַחֲרוֹץ | חריץ או שטוח |
| TTV | <50 מיקרון |
| קֶשֶׁת | <50 מיקרון |
| קצוות | שיפוע הגנה |
| צד קדמי - מלוטש 80/50 | |
| סימון לייזר | אַף לֹא אֶחָד |
| אריזה | קופסת נשיאה ופלים בודדת |
| צד קדמי מלוטש מוכן ל-EPI (Ra <0.3nm) | |
| צד אחורי מלוטש מוכן ל-EPI (Ra <0.3nm) | |
תרשים מפורט
