12 אינץ' Dia300x1.0mmt Sapphire Wafer Substrat C-Plane SSP/DSP
12 אינץ' מצב שוק מצע ספיר
כיום, לספיר שני שימושים עיקריים, האחד הוא חומר המצע, שהוא בעיקר חומר מצע LED, השני הוא חוגת השעון, תעופה, חלל, חומר חלונות ייצור מיוחד.
למרות שסיליקון קרביד, סיליקון וגליום ניטריד זמינים גם כמצעים ללדים בנוסף לספיר, ייצור המוני עדיין אינו אפשרי עקב עלות וכמה צווארי בקבוק טכניים לא פתורים. מצע ספיר דרך הפיתוח הטכני בשנים האחרונות, התאמת הסריג שלו, מוליכות חשמלית, תכונות מכניות, מוליכות תרמית ותכונות נוספות שופרו וקדמו מאוד, היתרון החסכוני משמעותי, ולכן ספיר הפך לחומר המצע הבוגר והיציב ביותר בתעשיית LED, נעשה שימוש נרחב בשוק, נתח השוק גבוה עד 90%.
מאפיין של מצע רקיק ספיר 12 אינץ'
1. למשטחי מצע ספיר יש ספירת חלקיקים נמוכה במיוחד, עם פחות מ-50 חלקיקים 0.3 מיקרון או יותר לכל 2 אינץ' בטווח הגדלים של 2 עד 8 אינץ', ומתכות עיקריות (K, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni , Cu, Zn) מתחת ל-2E10/cm2. גם חומר הבסיס בגודל 12 אינץ' צפוי להגיע לדרגה זו.
2. יכול לשמש כפלס מנשא לתהליך ייצור המוליכים למחצה בגודל 12 אינץ' (פלטות הובלה בתוך התקן) וכמצע להדבקה.
3. יכול לשלוט בצורת משטח קעור וקמור.
חומר: טוהר גבוה גביש יחיד Al2O3, רקיק ספיר.
איכות לד, ללא בועות, סדקים, תאומים, שושלת, ללא צבע.. וכו'.
פרוסות ספיר 12 אינץ'
| הִתמַצְאוּת | מישור C<0001> +/- 1 מעלות. |
| קוֹטֶר | 300.0 +/-0.25 מ"מ |
| עוֹבִי | 1.0 +/-25um |
| לַחֲרוֹץ | חריץ או שטוח |
| TTV | <50 אמ |
| קֶשֶׁת | <50 אמ |
| קצוות | שיוף מגן |
| צד קדמי – מלוטש 80/50 | |
| סימן לייזר | אַף לֹא אֶחָד |
| אריזה | קופסת מנשא רקיק בודד |
| צד קדמי אפי מלוטש (Ra <0,3nm) | |
| הצד האחורי Epi מוכן מלוטש (Ra <0,3nm) | |
תרשים מפורט
