מצע SIC בגודל 12 אינץ' סיליקון קרביד, דרגה ראשונה, קוטר 300 מ"מ, גודל גדול 4H-N, מתאים לפיזור חום של מכשירים בעלי הספק גבוה

תיאור קצר:

מצע סיליקון קרביד בגודל 12 אינץ' (מצע SiC) הוא מצע חומר מוליך למחצה גדול ובעל ביצועים גבוהים, העשוי מגביש יחיד של סיליקון קרביד. סיליקון קרביד (SiC) הוא חומר מוליך למחצה בעל פער פס רחב בעל תכונות חשמליות, תרמיות ומכניות מצוינות, הנמצא בשימוש נרחב בייצור מכשירים אלקטרוניים בסביבות הספק גבוה, תדר גבוה וטמפרטורה גבוהה. המצע בגודל 12 אינץ' (300 מ"מ) הוא המפרט המתקדם הנוכחי של טכנולוגיית סיליקון קרביד, שיכול לשפר משמעותית את יעילות הייצור ולהפחית עלויות.

שלחו לנו אימייל

פרטי מוצר

תגי מוצר

מאפייני מוצר

1. מוליכות תרמית גבוהה: מוליכות התרמית של סיליקון קרביד היא יותר מפי 3 מזו של סיליקון, והיא מתאימה לפיזור חום של מכשירים בעלי הספק גבוה.

2. עוצמת שדה פירוק גבוהה: עוצמת שדה הפירוק גדולה פי 10 מזו של סיליקון, ומתאים ליישומים בלחץ גבוה.

3. פער מתח רחב: פער המתח הוא 3.26eV (4H-SiC), מתאים ליישומים בטמפרטורה גבוהה ותדר גבוה.

4. קשיות גבוהה: קשיות מוס היא 9.2, שנייה רק ליהלום, עמידות בפני שחיקה וחוזק מכני מצוינים.

5. יציבות כימית: עמידות חזקה בפני קורוזיה, ביצועים יציבים בטמפרטורה גבוהה ובסביבה קשה.

6. גודל גדול: מצע 12 אינץ' (300 מ"מ), שיפור יעילות הייצור והפחתת עלות היחידה.

7. צפיפות פגמים נמוכה: טכנולוגיית גידול גביש יחיד באיכות גבוהה כדי להבטיח צפיפות פגמים נמוכה ועקביות גבוהה.

כיוון היישום העיקרי של המוצר

1. אלקטרוניקה להספק:

מוספטים: משמשים בכלי רכב חשמליים, מנועים תעשייתיים וממירי חשמל.

דיודות: כגון דיודות שוטקי (SBD), המשמשות ליישור יעיל ולספקי כוח מיתוג.

2. מכשירי RF:

מגבר הספק Rf: משמש בתחנות בסיס תקשורת 5G ותקשורת לוויינית.

התקני מיקרוגל: מתאים למערכות מכ"ם ותקשורת אלחוטית.

3. כלי רכב אנרגיה חדשים:

מערכות הנעה חשמליות: בקרי מנועים וממירי מנועים לרכבים חשמליים.

ערימת טעינה: מודול כוח לציוד טעינה מהירה.

4. יישומים תעשייתיים:

ממיר מתח גבוה: לבקרת מנועים תעשייתיים וניהול אנרגיה.

רשת חכמה: עבור שנאי הולכה HVDC ואלקטרוניקה של הספק.

5. תעופה וחלל:

אלקטרוניקה בטמפרטורה גבוהה: מתאימה לסביבות בטמפרטורה גבוהה של ציוד תעופה וחלל.

6. תחום מחקר:

מחקר מוליכים למחצה עם פער אנרגיה רחב: לפיתוח חומרים והתקנים חדשים של מוליכים למחצה.

מצע סיליקון קרביד בגודל 12 אינץ' הוא סוג של מצע חומר מוליך למחצה בעל ביצועים גבוהים עם תכונות מצוינות כגון מוליכות תרמית גבוהה, עוצמת שדה פריצה גבוהה ופער פס רחב. הוא נמצא בשימוש נרחב באלקטרוניקה של הספק, התקני תדר רדיו, כלי רכב לאנרגיה חדשה, בקרה תעשייתית וחלל, והוא חומר מפתח לקידום פיתוח הדור הבא של מכשירים אלקטרוניים יעילים ובעלי הספק גבוה.

בעוד שלמצעי סיליקון קרביד יש כיום פחות יישומים ישירים באלקטרוניקה צרכנית כמו משקפי מציאות רבודה, הפוטנציאל שלהם בניהול צריכת חשמל יעיל ואלקטרוניקה ממוזערת עשוי לתמוך בפתרונות אספקת חשמל קלים ובעלי ביצועים גבוהים עבור מכשירי מציאות רבודה/מציאות מדומה עתידיים. נכון לעכשיו, הפיתוח העיקרי של מצעי סיליקון קרביד מרוכז בתחומים תעשייתיים כמו כלי רכב בעלי אנרגיה חדשה, תשתיות תקשורת ואוטומציה תעשייתית, ומקדם את תעשיית המוליכים למחצה לפתח בכיוון יעיל ואמין יותר.

XKH מחויבת לספק מצעי SIC באיכות גבוהה בגודל 12 אינץ' עם תמיכה טכנית ושירותים מקיפים, כולל:

1. ייצור בהתאמה אישית: בהתאם לצורכי הלקוח, יש לספק התנגדות שונה, כיוון גבישי ומצע טיפול פני שטח.

2. אופטימיזציה של תהליכים: מתן תמיכה טכנית ללקוחות בתחום גידול אפיטקסיאלי, ייצור מכשירים ותהליכים אחרים לשיפור ביצועי המוצר.

3. בדיקה והסמכה: יש לספק גישה קפדנית לגילוי פגמים והסמכת איכות על מנת להבטיח שהמצע עומד בתקני התעשייה.

4. שיתוף פעולה במחקר ופיתוח: פיתוח משותף של התקני סיליקון קרביד חדשים עם לקוחות לקידום חדשנות טכנולוגית.

תרשים נתונים

מפרט מצע סיליקון קרביד (SiC) בגודל 1/2 אינץ'
צִיוּן		הפקת ZeroMPD כיתה (כיתה Z)	ייצור סטנדרטי כיתה (כיתה P)		דירוג דמה (דרגה ד')
קוֹטֶר		300 מ"מ ~ 305 מ"מ
עוֹבִי	4H-N	750 מיקרומטר ± 15 מיקרומטר	750 מיקרומטר ± 25 מיקרומטר
	4H-SI	750 מיקרומטר ± 15 מיקרומטר	750 מיקרומטר ± 25 מיקרומטר
כיוון פרוסות		מחוץ לציר: 4.0° לכיוון <1120 >±0.5° עבור 4H-N, על הציר: <0001>±0.5° עבור 4H-SI
צפיפות מיקרו-צינורות	4H-N	≤0.4 ס"מ-2	≤4 ס"מ-2		≤25 ס"מ-2
	4H-SI	≤5 ס"מ-2	≤10 ס"מ-2		≤25 ס"מ-2
הִתנַגְדוּת סְגוּלִית	4H-N	0.015~0.024 Ω·cm			0.015~0.028 Ω·cm
	4H-SI	≥1E10 Ω·cm			≥1E5 Ω·cm
כיוון שטוח ראשוני		{10-10} ±5.0°
אורך שטוח ראשוני	4H-N	לא רלוונטי
	4H-SI	לַחֲרוֹץ
אי הכללת קצה		3 מ"מ
LTV/TTV/קשת/עיוות		≤5μm/≤15μm/≤35μm/≤55μm			≤5μm/≤15μm/≤35 □ μm/≤55 □ μm
חִספּוּס		פולני Ra≤1 ננומטר
		CMP Ra≤0.2 ננומטר			Ra≤0.5 ננומטר
סדקי קצה על ידי אור בעוצמה גבוהה לוחות משושה על ידי אור בעוצמה גבוהה אזורי פוליטייפ על ידי אור בעוצמה גבוהה תכלילים חזותיים של פחמן שריטות על פני השטח של סיליקון מאור בעוצמה גבוהה		אַף לֹא אֶחָד שטח מצטבר ≤0.05% אַף לֹא אֶחָד שטח מצטבר ≤0.05% אַף לֹא אֶחָד			אורך מצטבר ≤ 20 מ"מ, אורך יחיד ≤2 מ"מ שטח מצטבר ≤0.1% שטח מצטבר ≤3% שטח מצטבר ≤3% אורך מצטבר ≤1 × קוטר פרוסה
שבבי קצה על ידי אור בעוצמה גבוהה		אין מותר רוחב ועומק ≥0.2 מ"מ			7 מותרים, ≤1 מ"מ כל אחד
(TSD) תזוזה של בורג הברגה		≤500 סמ"ר		לא רלוונטי
(BPD) תזוזה של מישור הבסיס		≤1000 סמ"ר		לא רלוונטי
זיהום פני השטח של סיליקון על ידי אור בעוצמה גבוהה		אַף לֹא אֶחָד
אריזה		קסטה מרובת פרוסות או מיכל פרוסות בודד
הערות:
1 מגבלות הפגמים חלות על כל פני השטח של הוופל למעט אזור אי הכללת הקצה. 2. יש לבדוק את השריטות על פני השטח של Si בלבד. 3 נתוני הנקע הם רק מוופלים חרוטים ב-KOH.

XKH תמשיך להשקיע במחקר ופיתוח כדי לקדם את פריצת הדרך של מצעי סיליקון קרביד בגודל 12 אינץ' בגודל גדול, פגמים נמוכים ועקביות גבוהה, בעוד ש-XKH בוחנת את יישומיה בתחומים מתפתחים כגון אלקטרוניקה צרכנית (כגון מודולי כוח למכשירי AR/VR) ומחשוב קוונטי. על ידי הפחתת עלויות והגדלת קיבולת, XKH תביא שגשוג לתעשיית המוליכים למחצה.