6 בסיליקון קרביד 4H-SiC מטיל בידוד למחצה, דרגת דמה
נכסים
1. מאפיינים פיזיים ומבניים
●סוג חומר: סיליקון קרביד (SiC)
●פוליטיפ: 4H-SiC, מבנה גבישי משושה
●קוטר: 6 אינץ' (150 מ"מ)
●עובי: ניתן להגדרה (5-15 מ"מ אופייני לדרגת דמה)
● כיוון גביש:
oPrimary: [0001] (C-plane)
o אפשרויות משניות: מחוץ לציר 4° לצמיחה אפיטקסיאלית מיטבית
● כיוון שטוח ראשי: (10-10) ± 5°
● כיוון שטוח משני: 90° נגד כיוון השעון מהשטוח הראשי ± 5°
2. נכסי חשמל
● התנגדות:
o חצי בידוד (>106^66 Ω·cm), אידיאלי למזעור הקיבול הטפילי.
● סוג סימום:
o מסומם שלא במתכוון, וכתוצאה מכך התנגדות חשמלית ויציבות גבוהה במגוון תנאי הפעלה.
3. מאפיינים תרמיים
● מוליכות תרמית: 3.5-4.9 W/cm·K, המאפשר פיזור חום יעיל במערכות בעלות הספק גבוה.
● מקדם התפשטות תרמית: 4.2×10−64.2 \x 10^{-6}4.2×10−6/K, המבטיח יציבות מימדית במהלך עיבוד בטמפרטורה גבוהה.
4. מאפיינים אופטיים
●Bandgap: פער פס רחב של 3.26 eV, המאפשר פעולה תחת מתחים וטמפרטורות גבוהים.
● שקיפות: שקיפות גבוהה לאורכי גל UV ואורכי גל גלויים, שימושית לבדיקות אופטו-אלקטרוניות.
5. מאפיינים מכניים
●קשיות: סולם Mohs 9, שני רק ליהלום, מה שמבטיח עמידות במהלך העיבוד.
● צפיפות פגמים:
o נשלט על פגמי מאקרו מינימליים, ומבטיח איכות מספקת עבור יישומים בדרגת דמה.
●שטוחות: אחידות עם סטיות
| פָּרָמֶטֶר | פרטים | יְחִידָה |
| צִיוּן | כיתה דמה | |
| קוֹטֶר | 150.0 ± 0.5 | mm |
| כיוון רקיק | על הציר: <0001> ± 0.5° | תוֹאַר |
| התנגדות חשמלית | > 1E5 | Ω·ס"מ |
| כיוון שטוח ראשוני | {10-10} ± 5.0° | תוֹאַר |
| אורך שטוח ראשוני | לַחֲרוֹץ | |
| סדקים (בדיקת אור בעוצמה גבוהה) | < 3 מ"מ ברדיאלי | mm |
| לוחות משושה (בדיקת אור בעוצמה גבוהה) | שטח מצטבר ≤ 5% | % |
| אזורי פולטייפ (בדיקת אור בעוצמה גבוהה) | שטח מצטבר ≤ 10% | % |
| צפיפות מיקרו-צינור | < 50 | cm−2^-2−2 |
| קצה צ'יפינג | 3 מותרים, כל אחד ≤ 3 מ"מ | mm |
| פֶּתֶק | עובי פרוסות חיתוך < 1 מ"מ, > 70% (לא כולל שני קצוות) עומדים בדרישות לעיל |
יישומים
1. אב טיפוס ומחקר
מטיל 4H-SiC בדרגת דמה בגודל 6 אינץ' הוא חומר אידיאלי ליצירת אב טיפוס ומחקר, המאפשר ליצרנים ולמעבדות:
●בדוק פרמטרים של תהליך בשקיעת אדים כימית (CVD) או פיסיקלי אדים (PVD).
●לפתח ולחדד טכניקות תחריט, ליטוש וחיתוך פרוסות.
●חקור עיצובים חדשים של מכשירים לפני המעבר לחומר בדרגת ייצור.
2. כיול ובדיקה של המכשיר
המאפיינים המבודדים למחצה הופכים את המטיל הזה לאין ערוך עבור:
●הערכה וכיול המאפיינים החשמליים של מכשירים בעלי הספק גבוה ותדר גבוה.
●סימולציה של תנאי תפעול עבור MOSFETs, IGBTs או דיודות בסביבות בדיקה.
● משמש כתחליף חסכוני למצעים בעלי טוהר גבוה במהלך הפיתוח בשלב מוקדם.
3. Power Electronics
המוליכות התרמית הגבוהה ומאפייני הפער הרחב של 4H-SiC מאפשרים פעולה יעילה באלקטרוניקה כוח, כולל:
● ספקי כוח במתח גבוה.
● ממירי רכב חשמלי (EV).
●מערכות אנרגיה מתחדשת, כגון ממירי שמש וטורבינות רוח.
4. יישומי תדר רדיו (RF).
ההפסדים הדיאלקטריים הנמוכים של 4H-SiC וניידות האלקטרונים הגבוהה הופכים אותו למתאים עבור:
●מגברי RF וטרנזיסטורים בתשתית תקשורת.
●מערכות מכ"ם בתדר גבוה ליישומי תעופה וחלל והגנה.
●רכיבי רשת אלחוטית לטכנולוגיות 5G מתפתחות.
5. מכשירים עמידים לקרינה
בשל עמידותו המובנית בפני פגמים שנגרמו מקרינה, 4H-SiC מבודד למחצה אידיאלי עבור:
●ציוד לחקר החלל, כולל אלקטרוניקה לוויינית ומערכות חשמל.
● אלקטרוניקה מוקשה בקרינה לניטור ובקרה גרעיניים.
●יישומי הגנה הדורשים חוסן בסביבות קיצוניות.
6. אופטואלקטרוניקה
השקיפות האופטית ורווח הפס הרחב של 4H-SiC מאפשרים את השימוש בו ב:
●גלאי UV ונוריות LED בעוצמה גבוהה.
●בדיקת ציפויים אופטיים וטיפולי שטח.
●אבטיפוס של רכיבים אופטיים לחיישנים מתקדמים.
היתרונות של חומר בדרגת דמה
יעילות עלות:
דרגת הדמה היא אלטרנטיבה משתלמת יותר לחומרי מחקר או ייצור, מה שהופך אותו לאידיאלי עבור בדיקות שגרתיות וחידוד תהליכים.
התאמה אישית:
מידות הניתנות להגדרה וכיווני קריסטל מבטיחים תאימות למגוון רחב של יישומים.
מדרגיות:
קוטר 6 אינץ' מתיישב עם תקני התעשייה, ומאפשר קנה מידה חלק לתהליכי ייצור.
יציבות:
חוזק מכני גבוה ויציבות תרמית הופכים את המטיל לעמיד ואמין בתנאי ניסוי מגוונים.
צדדיות:
מתאים לתעשיות מרובות, ממערכות אנרגיה ועד תקשורת ואלקטרוניקה אופטו.
מַסְקָנָה
מטיל סיליקון קרביד (4H-SiC) חצי מבודד בגודל 6 אינץ', בדרגת דמה, מציע פלטפורמה אמינה ורב-תכליתית למחקר, אב טיפוס ובדיקות במגזרי טכנולוגיה חדישים. המאפיינים התרמיים, החשמליים והמכאניים יוצאי הדופן שלו, בשילוב עם סבירות וניתנות להתאמה אישית, הופכים אותו לחומר הכרחי הן לאקדמיה והן לתעשייה. מאלקטרוניקה כוח ועד מערכות RF והתקנים מוקשים בקרינה, מטיל זה תומך בחדשנות בכל שלב של פיתוח.
למפרט מפורט יותר או לבקשת הצעת מחיר, אנא פנה אלינו ישירות. הצוות הטכני שלנו מוכן לעזור עם פתרונות מותאמים לדרישות שלך.
תרשים מפורט
