6 אינץ' סיליקון קרביד 4H-SiC חצי מבודד, כיתה דמה
נכסים
1. תכונות פיזיות ומבניות
● סוג חומר: סיליקון קרביד (SiC)
● פוליטייפ: 4H-SiC, מבנה גבישי משושה
●קוטר: 150 מ"מ (6 אינץ')
● עובי: ניתן להגדרה (5-15 מ"מ טיפוסי לדרגת דמה)
● כיוון גביש:
ראשוני: [0001] (מישור C)
אפשרויות משניות: זווית מחוץ לציר של 4° לצמיחה אפיטקסיאלית אופטימלית
● כיוון שטוח ראשוני: (10-10) ± 5°
● כיוון שטוח משני: 90° נגד כיוון השעון מהשטוח העיקרי ± 5°
2. תכונות חשמליות
● התנגדות:
מבודד למחצה (>106^66 Ω·cm), אידיאלי למזעור קיבול טפילי.
● סוג סימום:
מסומם שלא במכוון, וכתוצאה מכך נוצרת התנגדות חשמלית ויציבות גבוהות במגוון תנאי הפעלה.
3. תכונות תרמיות
● מוליכות תרמית: 3.5-4.9 וואט/ס"מ·קלווין, המאפשרת פיזור חום יעיל במערכות בעלות הספק גבוה.
● מקדם התפשטות תרמי: 4.2×10⁻⁶⁻¹ ≈ 10⁻⁶ ≈ 4.2×10⁻⁶/K, מה שמבטיח יציבות ממדית במהלך עיבוד בטמפרטורה גבוהה.
4. תכונות אופטיות
● פער מתח: פער מתח רחב של 3.26 eV, המאפשר פעולה תחת מתחים וטמפרטורות גבוהים.
●שקיפות: שקיפות גבוהה לאורכי גל UV וגל גלויים, שימושי לבדיקות אופטואלקטרוניות.
5. תכונות מכניות
● קשיות: סולם מוס 9, שני רק ליהלום, מה שמבטיח עמידות במהלך העיבוד.
● צפיפות פגמים:
oמבוקר עבור פגמי מאקרו מינימליים, מה שמבטיח איכות מספקת עבור יישומים בדרגת דמה.
● שטוחות: אחידות עם סטיות
| פָּרָמֶטֶר | פרטים | יְחִידָה |
| צִיוּן | דירוג דמה | |
| קוֹטֶר | 150.0 ± 0.5 | mm |
| כיוון פרוסות | על הציר: <0001> ± 0.5° | תוֹאַר |
| התנגדות חשמלית | > 1E5 | Ω·ס"מ |
| כיוון שטוח ראשוני | {10-10} ± 5.0° | תוֹאַר |
| אורך שטוח ראשוני | לַחֲרוֹץ | |
| סדקים (בדיקת אור בעוצמה גבוהה) | < 3 מ"מ רדיאלי | mm |
| לוחות משושים (בדיקת אור בעוצמה גבוהה) | שטח מצטבר ≤ 5% | % |
| אזורי פוליטייפ (בדיקת אור בעוצמה גבוהה) | שטח מצטבר ≤ 10% | % |
| צפיפות מיקרו-צינורות | < 50 | ס"מ−2^-2−2 |
| סדקים בקצוות | 3 מותרים, כל אחד ≤ 3 מ"מ | mm |
| פֶּתֶק | עובי פרוסת פרוסה < 1 מ"מ, > 70% (לא כולל שני קצוות) עומד בדרישות הנ"ל |
יישומים
1. אב טיפוס ומחקר
מטיל 4H-SiC בגודל 6 אינץ' בדרגת דמה הוא חומר אידיאלי לבניית אב טיפוס ומחקר, המאפשר ליצרנים ולמעבדות:
●בדיקת פרמטרי תהליך בשקיעת אדים כימית (CVD) או בשקיעת אדים פיזיקלית (PVD).
● פיתוח ושיפור טכניקות איכול, ליטוש וחיתוך ופלים.
● חקור עיצובים חדשים של מכשירים לפני המעבר לחומר ברמת ייצור.
2. כיול ובדיקה של המכשיר
תכונות הבידוד למחצה הופכות את המטיל הזה ליקר ערך עבור:
● הערכת וכיול התכונות החשמליות של מכשירים בעלי הספק גבוה ותדר גבוה.
● סימולציה של תנאי פעולה עבור טרנזיסטורי MOSFET, IGBT או דיודות בסביבות בדיקה.
● משמש כתחליף חסכוני למצעים בעלי טוהר גבוה בשלבי פיתוח מוקדמים.
3. אלקטרוניקה להספק
המוליכות התרמית הגבוהה ומאפייני פער האנרגיה הרחב של 4H-SiC מאפשרים פעולה יעילה באלקטרוניקה של הספק, כולל:
● ספקי כוח במתח גבוה.
● ממירים לרכב חשמלי (EV).
● מערכות אנרגיה מתחדשת, כגון ממירים סולאריים וטורבינות רוח.
4. יישומי תדר רדיו (RF)
ההפסדים הדיאלקטריים הנמוכים והניידות האלקטרונית הגבוהה של 4H-SiC הופכים אותו מתאים ל:
● מגברי RF וטרנזיסטורים בתשתיות תקשורת.
● מערכות מכ"ם בתדר גבוה עבור יישומי תעופה וחלל וביטחון.
● רכיבי רשת אלחוטית עבור טכנולוגיות 5G מתפתחות.
5. מכשירים עמידים בפני קרינה
בשל עמידותו הטבועה בפני פגמים הנגרמים מקרינה, 4H-SiC מבודד למחצה אידיאלי עבור:
● ציוד לחקר חלל, כולל אלקטרוניקה ומערכות חשמל לווייניות.
● אלקטרוניקה חסינת קרינה לניטור ובקרה גרעיניים.
● יישומי הגנה הדורשים חוסן בסביבות קיצוניות.
6. אופטואלקטרוניקה
השקיפות האופטית ופער האנרגיה הרחב של 4H-SiC מאפשרים את השימוש בו ב:
● גלאי UV ונורות LED בעלות הספק גבוה.
● בדיקת ציפויים אופטיים וטיפולי שטח.
●בניית אב טיפוס של רכיבים אופטיים עבור חיישנים מתקדמים.
יתרונות של חומר דמה
יעילות עלויות:
חומרי דמה מסוג דמה הם אלטרנטיבה משתלמת יותר לחומרי מחקר או ייצור, מה שהופך אותם לאידיאליים לבדיקות שגרתיות ולשיפור תהליכים.
התאמה אישית:
מידות וכיווני גביש הניתנים להגדרה מבטיחים תאימות עם מגוון רחב של יישומים.
מדרגיות:
הקוטר של 6 אינץ' תואם את הסטנדרטים בתעשייה, ומאפשר קנה מידה חלק לתהליכים ברמת ייצור.
חוסן:
חוזק מכני גבוה ויציבות תרמית הופכים את המטיל לעמיד ואמין בתנאי ניסוי מגוונים.
רב-תכליתיות:
מתאים למגוון תעשיות, החל ממערכות אנרגיה ועד תקשורת ואופטואלקטרוניקה.
מַסְקָנָה
מטיל סיליקון קרביד (4H-SiC) בגודל 6 אינץ', בדרגת דמה, מציע פלטפורמה אמינה ורב-תכליתית למחקר, יצירת אבות טיפוס ובדיקות בתחומי טכנולוגיה מתקדמים. תכונותיו התרמיות, החשמליות והמכניות יוצאות הדופן, בשילוב עם מחיר נוח והתאמה אישית, הופכות אותו לחומר הכרחי הן באקדמיה והן בתעשייה. החל מאלקטרוניקה של הספק ועד מערכות RF ומכשירים מוקשחים בקרינה, מטיל זה תומך בחדשנות בכל שלב של הפיתוח.
למפרטים מפורטים יותר או לבקשת הצעת מחיר, אנא צרו עמנו קשר ישירות. הצוות הטכני שלנו מוכן לסייע עם פתרונות מותאמים אישית שיענו על דרישותיכם.
תרשים מפורט
