6 אינץ' SiC Epitaxiy רקיק N/P סוג לקבל מותאם אישית
תהליך ההכנה של רקיק אפיטקסיאלי סיליקון קרביד הוא שיטה המשתמשת בטכנולוגיית כימיקלים (CVD).להלן העקרונות הטכניים הרלוונטיים ושלבי תהליך ההכנה:
עקרון טכני:
שקיעת אדים כימית: ניצול גז חומר הגלם בשלב הגז, בתנאי תגובה ספציפיים, הוא מתפרק ומושקע על המצע ליצירת הסרט הדק הרצוי.
תגובת גז: באמצעות פירוליזה או תגובת פיצוח, גזי חומר גלם שונים בשלב הגז משתנים כימית בתא התגובה.
שלבי תהליך ההכנה:
טיפול במצע: התשתית עוברת ניקוי פני השטח וטיפול מקדים על מנת להבטיח את האיכות והגבישיות של הפרוסה האפיטקסיאלית.
איתור באגים של תא תגובה: התאם את הטמפרטורה, הלחץ וקצב הזרימה של תא התגובה ופרמטרים אחרים כדי להבטיח את היציבות והשליטה בתנאי התגובה.
אספקת חומרי גלם: אספקת חומרי הגלם הדרושים לגז לתא התגובה, ערבוב ובקרה על קצב הזרימה לפי הצורך.
תהליך התגובה: על ידי חימום תא התגובה, חומר ההזנה הגזי עובר תגובה כימית בתא לייצור המשקע הרצוי, כלומר סרט סיליקון קרביד.
קירור ופריקה: בסיום התגובה הטמפרטורה יורדת בהדרגה כדי לקרר ולמצק את המשקעים בתא התגובה.
חישול פרוס אפיטקסיאלי ועיבוד לאחר: הפרוסה האפיטקסיאלית שהופקדה עוברת חישול ומעובד לאחר עיבוד כדי לשפר את התכונות החשמליות והאופטיות שלו.
השלבים והתנאים הספציפיים של תהליך הכנת פרוסות אפטקסיות סיליקון קרביד עשויים להשתנות בהתאם לציוד ולדרישות הספציפיות.האמור לעיל הוא רק זרימת תהליך כללי ועיקרון, יש להתאים את הפעולה הספציפית ולבצע אופטימיזציה בהתאם למצב בפועל.
תרשים מפורט
