מצע 4H-N SiC בדרגת ייצור SiC בגודל 8 אינץ'
הטבלה הבאה מציגה את המפרט של פרוסות SiC בגודל 8 אינץ' שלנו:
| 8 אינץ' מפרט DSP SiC מסוג N | |||||
| מִספָּר | פָּרִיט | יְחִידָה | הֲפָקָה | מֶחקָר | דֶמֶה |
| 1: פרמטרים | |||||
| 1.1 | polytype | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | כיוון פני השטח | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2: פרמטר חשמלי | |||||
| 2.1 | סם | -- | חנקן מסוג n | חנקן מסוג n | חנקן מסוג n |
| 2.2 | הִתנַגְדוּת סְגוּלִית | אוהם · ס"מ | 0.015~0.025 | 0.01~0.03 | NA |
| 3: פרמטר מכני | |||||
| 3.1 | קוֹטֶר | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | עוֹבִי | מיקרומטר | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | כיוון חריץ | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | עומק חריץ | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | LTV | מיקרומטר | ≤5(10 מ"מ*10 מ"מ) | ≤5(10 מ"מ*10 מ"מ) | ≤10(10 מ"מ*10 מ"מ) |
| 3.6 | TTV | מיקרומטר | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | קֶשֶׁת | מיקרומטר | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | לְעַקֵם | מיקרומטר | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4: מבנה | |||||
| 4.1 | צפיפות מיקרו-צינור | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | תכולת מתכת | אטומים/סמ"ר | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. איכות חזית | |||||
| 5.1 | חֲזִית | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | גימור פני השטח | -- | Si-face CMP | Si-face CMP | Si-face CMP |
| 5.3 | חֶלְקִיק | ea/wafer | ≤100 (גודל ≥0.3 מיקרומטר) | NA | NA |
| 5.4 | לְגַרֵד | ea/wafer | ≤5, אורך כולל≤200 מ"מ | NA | NA |
| 5.5 | קָצֶה שבבים/חריצים/סדקים/כתמים/זיהום | -- | אַף לֹא אֶחָד | אַף לֹא אֶחָד | NA |
| 5.6 | אזורים פוליטיפיים | -- | אַף לֹא אֶחָד | שטח ≤10% | שטח ≤30% |
| 5.7 | סימון קדמי | -- | אַף לֹא אֶחָד | אַף לֹא אֶחָד | אַף לֹא אֶחָד |
| 6: איכות גב | |||||
| 6.1 | גימור אחורי | -- | C-face MP | C-face MP | C-face MP |
| 6.2 | לְגַרֵד | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | פגמים בגב קצה צ'יפס/חריצים | -- | אַף לֹא אֶחָד | אַף לֹא אֶחָד | NA |
| 6.4 | חספוס גב | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | סימון גב | -- | לַחֲרוֹץ | לַחֲרוֹץ | לַחֲרוֹץ |
| 7: קצה | |||||
| 7.1 | קָצֶה | -- | Chamfer | Chamfer | Chamfer |
| 8: חבילה | |||||
| 8.1 | אריזה | -- | אפי מוכן עם ואקום אריזה | אפי מוכן עם ואקום אריזה | אפי מוכן עם ואקום אריזה |
| 8.2 | אריזה | -- | רב רקיק אריזת קלטות | רב רקיק אריזת קלטות | רב רקיק אריזת קלטות |
תרשים מפורט
כתבו כאן את הודעתכם ושלחו אותה אלינו
