משטח ביוני נגד החלקה לנשיאת פרוסות ואקום, משטח חיכוך מוצץ
תכונות משטח ביוני נגד החלקה:
• שימוש בחומר מרוכב אלסטומר הנדסי מיוחד, להשגת אפקט נגד החלקה נקי וללא שאריות, מושלם לדרישות סביבת ייצור מוליכים למחצה.
• באמצעות תכנון מערך מבנה מיקרו-ננו מדויק, בקרה חכמה של מאפייני חיכוך פני השטח, תוך שמירה על מקדם חיכוך גבוה והשגת הידבקות נמוכה במיוחד.
• תכנון ייחודי של מכניקת ממשק מאפשר ביצועים מצוינים הן של חיכוך משיקי גבוה (μ>2.5) והן של הידבקות רגילה נמוכה (<0.1N/cm²).
• חומרי פולימר שפותחו במיוחד עבור תעשיית המוליכים למחצה, אשר משיגים ביצועים יציבים ללא הנחתה במשך 100,000 שימושים חוזרים באמצעות טכנולוגיית ייצור מיקרו וננו.
יישום משטח ביוני נגד החלקה:
(1) תעשיית המוליכים למחצה
1. ייצור ופלים:
· מיקום מונע החלקה במהלך העברת פרוסות דקות במיוחד עד 12 אינץ' (50-300 מיקרומטר)
· קיבוע מדויק של נושאת הוופלים של מכונת הליתוגרפיה
· בטנה נגד החלקה של פרוסות בדיקה
2. בדיקת חבילה:
קיבוע לא הרסני של התקני כוח מסיליקון קרביד/גליום ניטריד
· חיץ נגד החלקה במהלך הרכבת השבב
· בדיקת עמידות שולחן הגשש בפני זעזועים והחלקה
(2) תעשיית הפוטו-וולטאית
1. עיבוד פרוסות סיליקון:
קיבוע נגד החלקה במהלך חיתוך מוט סיליקון חד-גבישי
· פרוסת סיליקון דקה במיוחד (<150 מיקרומטר) עם העברת חומרים נגד החלקה
· מיקום פרוסות סיליקון של מכונת הדפסת משי
2. הרכבת רכיבים:
· גב זכוכית למינציה מונע החלקה
· מיקום התקנת המסגרת
· תיבת כריכה קבועה
(3) תעשייה פוטואלקטרית
1. לוח תצוגה:
· תהליך מצע זכוכית OLED/LCD נגד החלקה
· מיקום מדויק של התאמת המקטב
· ציוד בדיקה עמיד בפני זעזועים והחלקה
2. רכיבים אופטיים:
· מכלול מודול העדשה מונע החלקה
קיבוע למנסרה/מראה
· מערכת לייזר אופטית עמידה בפני זעזועים
(4) מכשירים מדויקים
1. פלטפורמת הדיוק של מכונת הליתוגרפיה היא נגד החלקה
2. שולחן המדידה של ציוד הגילוי עמיד בפני זעזועים
3. זרוע מכנית של ציוד אוטומטי נגד החלקה
נתונים טכניים:
| הרכב החומר: | C, O, Si |
| קשיות שור (A): | 50~55 |
| מקדם התאוששות אלסטי: | 1.28 |
| טמפרטורת סבילות עליונה: | 260 ℃ |
| מקדם חיכוך: | 1.8 |
| עמידות בפני פלזמה: | סוֹבלָנוּת |
שירותי XKH:
XKH מספקת שירותי התאמה אישית מלאים של מחצלות ביוניות נגד החלקה, כולל ניתוח ביקוש, תכנון תוכניות, הגהה מהירה ותמיכה בייצור המוני. בהסתמך על טכנולוגיית ייצור מיקרו וננו, XKH מספקת פתרונות מקצועיים נגד החלקה לתעשיות המוליכים למחצה, פוטו-וולטאיות ופוטואלקטריות, וסייעה בהצלחה ללקוחות להשיג השפעות משמעותיות כגון הפחתת שיעור הפסולת ל-0.005% ועלייה של 15% בתפוקה.
תרשים מפורט
