Dia300x1.0mmt עובי ספיר ופל C-Plane SSP/DSP
היכרות של קופסת רקיק
חומרי קריסטל | 99,999% של Al2O3, טוהר גבוה, חד גבישי, Al2O3 | |||
איכות קריסטל | תכלילים, סימני בלוק, תאומים, צבע, מיקרו בועות ומרכזי פיזור אינם קיימים | |||
קוֹטֶר | 2 אינץ' | 3 אינץ' | 4 אינץ' | 6 אינץ' ~ 12 אינץ' |
50.8± 0.1 מ"מ | 76.2±0.2 מ"מ | 100±0.3 מ"מ | בהתאם להוראות ייצור סטנדרטי | |
עוֹבִי | 430±15 מיקרומטר | 550±15 מיקרומטר | 650±20 מיקרומטר | ניתן להתאים אישית על ידי הלקוח |
הִתמַצְאוּת | מישור C (0001) למישור M (1-100) או מישור A (1 1-2 0) 0.2±0.1° /0.3±0.1°, מישור R (1-1 0 2), מישור A (1 1-2 0), M-plane(1-1 0 0), כל כיוון, כל זווית | |||
אורך שטוח ראשוני | 16.0±1 מ"מ | 22.0±1.0 מ"מ | 32.5±1.5 מ"מ | בהתאם להוראות ייצור סטנדרטי |
אוריינטציה שטוחה ראשונית | מישור A (1 1-2 0 ) ± 0.2° | |||
TTV | ≤10 מיקרומטר | ≤15 מיקרומטר | ≤20 מיקרומטר | ≤30 מיקרומטר |
LTV | ≤10 מיקרומטר | ≤15 מיקרומטר | ≤20 מיקרומטר | ≤30 מיקרומטר |
TIR | ≤10 מיקרומטר | ≤15 מיקרומטר | ≤20 מיקרומטר | ≤30 מיקרומטר |
קֶשֶׁת | ≤10 מיקרומטר | ≤15 מיקרומטר | ≤20 מיקרומטר | ≤30 מיקרומטר |
לְעַקֵם | ≤10 מיקרומטר | ≤15 מיקרומטר | ≤20 מיקרומטר | ≤30 מיקרומטר |
משטח קדמי | Epi-Polished (Ra<0.2nm) |
*קשת: הסטייה של נקודת המרכז של המשטח החציוני של רקיק חופשי, לא מהודק ממישור הייחוס, כאשר מישור הייחוס מוגדר על ידי שלוש הפינות של משולש שווה צלעות.
*עיוות: ההבדל בין המרחק המקסימלי והמינימלי של פני השטח החציוני של רקיק חופשי, לא מהודק, ממישור הייחוס שהוגדר לעיל.
מוצרים ושירותים באיכות גבוהה עבור התקני מוליכים למחצה מהדור הבא וצמיחה אפיטקסיאלית:
רמה גבוהה של שטוחות (TTV מבוקר, קשת, עיוות וכו')
ניקוי באיכות גבוהה (זיהום חלקיקים נמוך, זיהום מתכת נמוך)
קידוח מצע, חריצים, חיתוך וליטוש הצד האחורי
הצמדת נתונים כגון ניקיון וצורת המצע (אופציונלי)
אם יש לך צורך במצעי ספיר, אנא אל תהסס לפנות:
דוֹאַר:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
נחזור אליך בהקדם!
תרשים מפורט
כתבו כאן את הודעתכם ושלחו אותה אלינו