מכונה מרובעת תחנה כפולה עיבוד מוט סיליקון חד גבישי 6/8/12 אינץ' שטוחות פני השטח Ra≤0.5μm
מאפייני הציוד:
(1) עיבוד סינכרוני בתחנה כפולה
· יעילות כפולה: עיבוד סימולטני של שני מוטות סיליקון (Ø6"-12") מגדיל את הפרודוקטיביות ב-40%-60% לעומת ציוד Simplex.
· בקרה עצמאית: כל תחנה יכולה להתאים באופן עצמאי את פרמטרי החיתוך (מתח, מהירות הזנה) כדי להתאים למפרטי מוט סיליקון שונים.
(2) חיתוך דיוק גבוה
· דיוק מידות: סובלנות מרחק בצד בר מרובע ±0.15 מ"מ, טווח ≤0.20 מ"מ.
· איכות פני השטח: שבירה של קצה חיתוך <0.5 מ"מ, צמצם את כמות השחזה שלאחר מכן.
(3) שליטה חכמה
· חיתוך אדפטיבי: ניטור בזמן אמת של מורפולוגיה של מוט סיליקון, התאמה דינמית של נתיב חיתוך (כגון עיבוד מוט סיליקון כפוף).
· עקיבות נתונים: רשום את פרמטרי העיבוד של כל מוט סיליקון כדי לתמוך בעגינה של מערכת MES.
(4) עלות מתכלה נמוכה
· צריכת חוט יהלום: ≤0.06 מ"מ/מ"מ (אורך מוט סיליקון), קוטר חוט ≤0.30 מ"מ.
· זרימת נוזל קירור: מערכת הסינון מאריכה את חיי השירות ומפחיתה סילוק פסולת נוזלי.
יתרונות טכנולוגיה ופיתוח:
(1) אופטימיזציה של טכנולוגיית חיתוך
- חיתוך רב-קו: 100-200 קווי יהלום משמשים במקביל, ומהירות החיתוך היא ≥40 מ"מ/דקה.
- בקרת מתח: מערכת התאמת לולאה סגורה (±1N) להפחתת הסיכון לשבירת חוט.
(2) הרחבת תאימות
- התאמת חומר: תומך בסיליקון חד-גבישי מסוג P/N, תואם עם TOPCon, HJT ומוטות סיליקון סוללה בעלי יעילות גבוהה אחרים.
- גודל גמיש: אורך מוט סיליקון 100-950 מ"מ, מרחק צד מוט מרובע 166-233 מ"מ מתכוונן.
(3) שדרוג אוטומציה
- טעינה ופריקה של רובוט: טעינה/פריקה אוטומטית של מוטות סיליקון, פעימה ≤3 דקות.
- אבחון חכם: תחזוקה חזויה להפחתת זמן השבתה לא מתוכנן.
(4) מנהיגות בתעשייה
- תמיכת רקיק: יכול לעבד ≥100 מיקרומטר סיליקון דק במיוחד עם מוטות מרובעים, שיעור פיצול <0.5%.
- אופטימיזציה של צריכת האנרגיה: צריכת האנרגיה ליחידת מוט סיליקון מופחתת ב-30% (לעומת ציוד מסורתי).
פרמטרים טכניים:
| שם הפרמטר | ערך אינדקס |
| מספר הפסים שעובדו | 2 חתיכות/סט |
| טווח אורך סרגל עיבוד | 100~950 מ"מ |
| טווח שולי עיבוד שבבי | 166~233 מ"מ |
| מהירות חיתוך | ≥40 מ"מ לדקה |
| מהירות חוט יהלום | 0~35m/s |
| קוטר יהלום | 0.30 מ"מ או פחות |
| צריכה ליניארית | 0.06 מ'/מ"מ או פחות |
| קוטר מוט עגול תואם | קוטר מוט מרובע מוגמר +2 מ"מ, ודא קצב מעבר ליטוש |
| בקרת שבירה חדשנית | קצה גולמי ≤0.5 מ"מ, ללא סתתים, איכות משטח גבוהה |
| אחידות באורך קשת | טווח הקרנה <1.5 מ"מ, למעט עיוות מוט סיליקון |
| מידות מכונה (מכונה בודדת) | 4800×3020×3660 מ"מ |
| כוח נקוב כולל | 56 קילוואט |
| משקל עצמי של ציוד | 12ט |
טבלת מדד דיוק העיבוד:
| פריט דיוק | טווח סובלנות |
| סובלנות שולי פס מרובע | ±0.15 מ"מ |
| טווח קצה סרגל מרובע | ≤0.20 מ"מ |
| זווית מכל הצדדים של המוט המרובע | 90°±0.05° |
| שטוחות של מוט מרובע | ≤0.15 מ"מ |
| דיוק מיקום חוזר של רובוט | ±0.05 מ"מ |
השירותים של XKH:
XKH מספקת שירותי מחזור מלא למכונות סיליקון חד-גבישיות, כולל התאמה אישית של ציוד (תואם למוטות סיליקון גדולים), הזמנת תהליכים (אופטימיזציה של פרמטרי חיתוך), הדרכה תפעולית ותמיכה לאחר המכירה (אספקת חלקי מפתח, אבחון מרחוק), הבטחה שלקוחות ישיגו תשואה גבוהה (>99%) ומתן עלויות מתכלות נמוכות (כגון עלויות מתכלות). תקופת האספקה היא 2-4 חודשים.
תרשים מפורט
