מכונת ריבוע כפולה לעיבוד מוט סיליקון מונוקריסטלי 6/8/12 אינץ' שטוחות פני השטח Ra≤0.5μm
מאפייני ציוד:
(1) עיבוד סינכרוני בתחנות כפולות
יעילות כפולה: עיבוד סימולטני של שני מוטות סיליקון (Ø6"-12") מגביר את הפרודוקטיביות ב-40%-60% לעומת ציוד סימפלקס.
· בקרה עצמאית: כל תחנה יכולה להתאים באופן עצמאי את פרמטרי החיתוך (מתח, מהירות הזנה) כדי להתאים אותם למפרטי מוט סיליקון שונים.
(2) חיתוך בדיוק גבוה
· דיוק ממדי: סבילות למרחק צדדי של מוט מרובע ±0.15 מ"מ, טווח ≤0.20 מ"מ.
· איכות פני השטח: שבירה של קצה החיתוך <0.5 מ"מ, הפחתת כמות השחזה לאחר מכן.
(3) בקרה חכמה
· חיתוך אדפטיבי: ניטור בזמן אמת של המורפולוגיה של מוט הסיליקון, התאמה דינמית של נתיב החיתוך (כגון עיבוד מוט סיליקון כפוף).
· מעקב אחר נתונים: רישום פרמטרי העיבוד של כל מוט סיליקון כדי לתמוך בעגינה של מערכת MES.
(4) עלות מתכלה נמוכה
· צריכת חוט יהלום: ≤0.06 מטר/מ"מ (אורך מוט סיליקון), קוטר חוט ≤0.30 מ"מ.
· סירקולציית נוזל קירור: מערכת הסינון מאריכה את חיי השירות ומפחיתה את סילוק הנוזלים הפסולים.
יתרונות טכנולוגיים ופיתוח:
(1) אופטימיזציה של טכנולוגיית חיתוך
- חיתוך רב-קווי: 100-200 קווי יהלום משמשים במקביל, ומהירות החיתוך היא ≥40 מ"מ/דקה.
בקרת מתח: מערכת כוונון בלולאה סגורה (±1N) להפחתת הסיכון לשבירת חוט.
(2) הרחבת תאימות
- התאמת חומרים: תמיכה בסיליקון חד-קריסטליני מסוג P/N, תואם ל-TOPCon, HJT ומוטות סיליקון סוללות יעילות גבוהה אחרים.
-גודל גמיש: אורך מוט סיליקון 100-950 מ"מ, מרחק צד מוט מרובע 166-233 מ"מ מתכוונן.
(3) שדרוג אוטומציה
- טעינה ופריקה רובוטית: טעינה/פריקה אוטומטית של מוטות סיליקון, פעימה ≤3 דקות.
- אבחון חכם: תחזוקה חזויה להפחתת זמן השבתה לא מתוכנן.
(4) מנהיגות בתעשייה
- תמיכה בפריפריה: יכולה לעבד סיליקון דק במיוחד במשקל ≥100μm עם מוטות מרובעים, קצב פירוק <0.5%.
- אופטימיזציה של צריכת אנרגיה: צריכת האנרגיה ליחידת מוט סיליקון מופחתת ב-30% (לעומת ציוד מסורתי).
פרמטרים טכניים:
| שם הפרמטר | ערך המדד |
| מספר הסורגים שעובדו | 2 יחידות/סט |
| טווח אורך מוט עיבוד | 100~950 מ"מ |
| טווח שולי עיבוד שבבי | 166~233 מ"מ |
| מהירות חיתוך | ≥40 מ"מ/דקה |
| מהירות חוט יהלום | 0~35 מטר/שנייה |
| קוטר היהלום | 0.30 מ"מ או פחות |
| צריכה לינארית | 0.06 מטר/מ"מ או פחות |
| קוטר מוט עגול תואם | קוטר מוט מרובע מוגמר +2 מ"מ, להבטיח קצב מעבר ליטוש |
| בקרת שבירה חדשנית | קצה גולמי ≤0.5 מ"מ, ללא סדקים, איכות פני שטח גבוהה |
| אחידות אורך קשת | טווח הקרנה <1.5 מ"מ, למעט עיוות מוט סיליקון |
| מידות מכונה (מכונה בודדת) | 4800×3020×3660 מ"מ |
| הספק מדורג כולל | 56 קילוואט |
| משקל עצמי של ציוד | 12t |
טבלת אינדקס דיוק עיבוד שבבי:
| פריט מדויק | טווח סובלנות |
| סובלנות לשולי סרגל מרובע | ±0.15 מ"מ |
| טווח קצה מוט מרובע | ≤0.20 מ"מ |
| זווית מכל צידי מוט מרובע | 90°±0.05° |
| שטוחות של מוט מרובע | ≤0.15 מ"מ |
| דיוק מיקום חוזר של רובוט | ±0.05 מ"מ |
שירותי XKH:
XKH מספקת שירותים מלאים למכונות סיליקון מונו-גבישיות בעלות שתי תחנות, כולל התאמה אישית של הציוד (תואם למוטות סיליקון גדולים), הפעלת תהליכים (אופטימיזציה של פרמטרי חיתוך), הדרכה תפעולית ותמיכה לאחר המכירה (אספקת חלקים מרכזיים, אבחון מרחוק), תוך הבטחת תפוקה גבוהה (>99%) ועלות ייצור נמוכה של חומרים מתכלים, ומתן שדרוגים טכניים (כגון אופטימיזציה של חיתוך באמצעות בינה מלאכותית). תקופת האספקה היא 2-4 חודשים.
תרשים מפורט
