ציוד חיתוך טבעות פרוסות אוטומטי לחלוטין, גודל עבודה: 8 אינץ'/12 אינץ'

תיאור קצר:

XKH פיתחה באופן עצמאי מערכת אוטומטית לחלוטין לחיתוך קצוות פרוסות ופלים, המייצגת פתרון מתקדם המיועד לתהליכי ייצור של מוליכים למחצה בקצה הקדמי. ציוד זה משלב טכנולוגיית בקרה סינכרונית רב-צירית חדשנית וכולל מערכת ציר בעלת קשיחות גבוהה (מהירות סיבוב מקסימלית: 60,000 סל"ד), המספקת חיתוך קצוות מדויק עם דיוק חיתוך של עד ±5 מיקרומטר. המערכת מפגינה תאימות מצוינת עם מגוון מצעים של מוליכים למחצה, כולל אך לא רק:
1. פרוסות סיליקון (Si): מתאימות לעיבוד קצה של פרוסות בגודל 8-12 אינץ';
2. מוליכים למחצה מורכבים: חומרי מוליכים למחצה מדור שלישי כגון GaAs ו-SiC;
3. מצעים מיוחדים: פרוסות חומר פיזואלקטרי כולל LT/LN;

העיצוב המודולרי תומך בהחלפה מהירה של חומרים מתכלים מרובים, כולל להבי יהלום וראשי חיתוך לייזר, עם תאימות העולה על הסטנדרטים בתעשייה. עבור דרישות תהליכים מיוחדות, אנו מספקים פתרונות מקיפים הכוללים:
· אספקת חומרי חיתוך ייעודיים
· שירותי עיבוד בהתאמה אישית
· פתרונות אופטימיזציה של פרמטרים בתהליך

שלחו לנו אימייל

תכונות

פרמטרים טכניים

פָּרָמֶטֶר	יְחִידָה	מִפרָט
גודל מקסימלי לחומר עבודה	mm	Ø12 אינץ'
צִיר	תְצוּרָה	ציר יחיד
	מְהִירוּת	3,000–60,000 סל"ד
	הספק פלט	1.8 קילוואט (2.4 אופציונלי) ב-30,000 דקות⁻¹
	קוטר להב מקסימלי.	Ø58 מ"מ
ציר X	טווח חיתוך	310 מ"מ
ציר Y	טווח חיתוך	310 מ"מ
	תוספת צעד	0.0001 מ"מ
	דיוק מיקום	≤0.003 מ"מ/310 מ"מ, ≤0.002 מ"מ/5 מ"מ (שגיאה בודדת)
ציר Z	רזולוציית תנועה	0.00005 מ"מ
ציר Z	הֲדִירוּת	0.001 מ"מ
ציר θ	סיבוב מקסימלי	380 מעלות
סוג ציר		ציר יחיד, מצויד בלהב קשיח לחיתוך טבעות
דיוק חיתוך טבעות	מיקרומטר	±50
דיוק מיקום פרוסות	מיקרומטר	±50
יעילות פרוסה בודדת	דקות/ופלים	8
יעילות רב-ופלים		עד 4 פרוסות עיבוד בו זמנית
משקל הציוד	kg	≈3,200
מידות הציוד (רוחב×עומק×גובה)	mm	2,730 × 1,550 × 2,070

עקרון הפעולה

המערכת משיגה ביצועי חיתוך יוצאי דופן באמצעות טכנולוגיות הליבה הבאות:

1. מערכת בקרת תנועה חכמה:
· הנעת מנוע ליניארית מדויקת במיוחד (דיוק מיקום חוזר: ±0.5 מיקרומטר)
· בקרה סינכרונית בעלת שישה צירים התומכת בתכנון מסלול מורכב
אלגוריתמים לדיכוי רעידות בזמן אמת המבטיחים יציבות חיתוך

2. מערכת גילוי מתקדמת:
· חיישן גובה לייזר תלת-ממדי משולב (דיוק: 0.1 מיקרומטר)
· מיקום ויזואלי CCD ברזולוציה גבוהה (5 מגה פיקסל)
· מודול בדיקת איכות מקוון

3. תהליך אוטומטי לחלוטין:
· טעינה/פריקה אוטומטיים (תואם לממשק סטנדרטי של FOUP)
· מערכת מיון חכמה
· יחידת ניקוי בלולאה סגורה (ניקיון: דרגה 10)

יישומים אופייניים

ציוד זה מספק ערך משמעותי בכל יישומי ייצור מוליכים למחצה:

שדה יישום	חומרי תהליך	יתרונות טכניים
ייצור IC	פרוסות סיליקון 8/12 אינץ'	משפר את יישור הליטוגרפיה
התקני חשמל	פרוסות SiC/GaN	מונע פגמים בקצה
חיישני MEMS	ופלים של SOI	מבטיח את אמינות המכשיר
התקני RF	פרוסות GaAs	משפר את ביצועי התדרים הגבוהים
אריזה מתקדמת	ופלים משוחזרים	מגדיל את תפוקת האריזה

תכונות

1. תצורת ארבע תחנות ליעילות עיבוד גבוהה;
2. ניתוק והסרה יציבים של טבעת TAIKO;
3. תאימות גבוהה עם חומרים מתכלים מרכזיים;
4. טכנולוגיית חיתוך סינכרוני רב-צירית מבטיחה חיתוך קצה מדויק;
5. זרימת תהליך אוטומטית לחלוטין מפחיתה משמעותית את עלויות העבודה;
6. עיצוב שולחן עבודה מותאם אישית מאפשר עיבוד יציב של מבנים מיוחדים;

פונקציות

1. מערכת זיהוי נפילת טבעת;
2. ניקוי אוטומטי של שולחן עבודה;
3. מערכת חכמה להסרת קשרים באמצעות UV;
4. רישום יומן פעולה;
5. שילוב מודול אוטומציה של מפעל;

מחויבות שירות

XKH מספקת שירותי תמיכה מקיפים לאורך מחזור החיים, שנועדו למקסם את ביצועי הציוד והיעילות התפעולית לאורך כל מסע הייצור שלכם.
1. שירותי התאמה אישית
· תצורת ציוד מותאמת אישית: צוות ההנדסה שלנו משתף פעולה בשיתוף פעולה הדוק עם לקוחות כדי לייעל את פרמטרי המערכת (מהירות חיתוך, בחירת להב וכו') בהתבסס על תכונות חומר ספציפיות (Si/SiC/GaAs) ודרישות התהליך.
· תמיכה בפיתוח תהליכים: אנו מציעים עיבוד דגימות עם דוחות ניתוח מפורטים, כולל מדידת חספוס קצה ומיפוי פגמים.
· פיתוח משותף של חומרים מתכלים: עבור חומרים חדשניים (למשל, Ga₂O₃), אנו משתפים פעולה עם יצרני חומרים מתכלים מובילים לפיתוח להבים/אופטיקה לייזר ספציפיים ליישום.

2. תמיכה טכנית מקצועית
· תמיכה ייעודית באתר: הקצאת מהנדסים מוסמכים לשלבי הכנה קריטיים (בדרך כלל 2-4 שבועות), הכוללים:
כיול ציוד וכיוונון עדין של תהליכים
הכשרת מיומנות מפעילים
הנחיות לשילוב חדרים נקיים לפי ISO Class 5
· תחזוקה חזויה: בדיקות תקינות רבעוניות עם ניתוח רעידות ואבחון מנועי סרוו למניעת השבתה לא מתוכננת.
ניטור מרחוק: מעקב אחר ביצועי ציוד בזמן אמת דרך פלטפורמת ה-IoT שלנו (JCFront Connect®) עם התראות אוטומטיות על אנומליות.

3. שירותי ערך מוסף
· מאגר ידע לתהליכים: גישה ליותר מ-300 מתכוני חיתוך מאומתים עבור חומרים שונים (מתעדכנים מדי רבעון).
· יישור מפת דרכים טכנולוגית: הבטיחו את ההשקעה שלכם לעתיד בעזרת נתיבי שדרוג חומרה/תוכנה (למשל, מודול זיהוי פגמים מבוסס בינה מלאכותית).
· תגובה לחירום: אבחון מרחוק מובטח תוך 4 שעות והתערבות באתר תוך 48 שעות (כיסוי עולמי).

4. תשתית שירות
· אחריות ביצועים: התחייבות חוזית לזמן פעילות של הציוד של ≥98% עם זמני תגובה מגובים על ידי SLA.

שיפור מתמיד

אנו עורכים סקרי שביעות רצון לקוחות חצי שנתיים ומיישמים יוזמות Kaizen לשיפור מתן השירות. צוות המחקר והפיתוח שלנו מתרגם תובנות שטח לשדרוגי ציוד - 30% משיפורי הקושחה נובעים ממשוב לקוחות.