פרוסת סיליקון FZ CZ Si במלאי פרוסת סיליקון 12 אינץ', בדיקה או בדיקה

ופלים מלוטשים

פרוסות סיליקון מלוטשות במיוחד משני הצדדים לקבלת משטח מראה. מאפיינים מעולים כמו טוהר ושטיחות מגדירים את המאפיינים הטובים ביותר של פרוסה זו.

פרוסות סיליקון לא מסוממות

הם ידועים גם בשם פרוסות סיליקון פנימיות. מוליך למחצה זה הוא צורה גבישית טהורה של סיליקון ללא נוכחות של חומר ממכר כלשהו בכל פרוסות ה-wap, מה שהופך אותו למוליך למחצה אידיאלי ומושלם.

פרוסות סיליקון מסוממות

סוג N וסוג P הם שני סוגים של פרוסות סיליקון מסוממות.

פרוסות סיליקון מסוממות מסוג N מכילות ארסן או זרחן. הן נמצאות בשימוש נרחב בייצור התקני CMOS מתקדמים.

פרוסות סיליקון מסוג P מסוממות בבורון. משמשות בעיקר לייצור מעגלים מודפסים או פוטוליוגרפיה.

פרוסות אפיטקסיאליות

פרוסות אפיטקסיאליות הן פרוסות קונבנציונליות המשמשות להשגת שלמות פני השטח. פרוסות אפיטקסיאליות זמינות בפרוסות עבות ודקות.

פרוסות אפיטקסיאליות רב-שכבתיות ופלים אפיטקסיאליים עבים משמשים גם לוויסות צריכת אנרגיה ובקרת צריכת חשמל של מכשירים.

פרוסות אפיטקסיאליות דקות משמשות בדרך כלל במכשירי MOS מתקדמים.

ופלים של SOI

פרוסות סיליקון אלו משמשות לבידוד חשמלי של שכבות דקות של סיליקון גבישי יחיד מכל פרוסת הסיליקון. פרוסות SOI נמצאות בשימוש נפוץ בפוטוניקה של סיליקון וביישומי RF בעלי ביצועים גבוהים. פרוסות SOI משמשות גם להפחתת קיבול של התקנים טפיליים במכשירים מיקרואלקטרוניים, מה שעוזר לשפר את הביצועים.

מדוע ייצור ופלים קשה?

פרוסות סיליקון בגודל 12 אינץ' קשות מאוד לפריסה מבחינת תפוקה. למרות שסיליקון קשה, הוא גם שביר. נוצרים אזורים מחוספסים כאשר קצוות פרוסות מנוסרות נוטים להישבר. דיסקיות יהלום משמשות להחלקת קצוות הפרוסות ולהסרה של כל נזק. לאחר החיתוך, הפרוסות נשברות בקלות מכיוון שכעת יש להן קצוות חדים. קצוות הפרוסות מעוצבים בצורה כזו שקצוות חדים ושבירים מוסרים והסיכוי להחלקה מצטמצם. כתוצאה מפעולת עיצוב הקצה, קוטר הפרוסה מותאם, הפרוסה מעוגלת (לאחר החיתוך, הפרוסה החתוכה היא אליפסה), ומיוצרים חריצים או מישורים מכוונים או קובעים את גודלם.