רקיקת FZ CZ Si במלאי רקיקת סיליקון 12 אינץ' Prime or Test

ופלים מלוטשים

פרוסות סיליקון מלוטשות במיוחד משני הצדדים לקבלת משטח מראה. מאפיינים מעולים כגון טוהר ושטיחות מגדירים את המאפיינים הטובים ביותר של רקיק זה.

פרוסות סיליקון לא מסוימות

הם ידועים גם בתור פרוסות סיליקון פנימיות. מוליך למחצה זה הוא צורה גבישית טהורה של סיליקון ללא נוכחות של כל דופנט לאורך הפרוסה, ובכך הופך אותו למוליכים למחצה אידיאלי ומושלם.

פרוסות סיליקון מסוימות

סוג N וסוג P הם שני הסוגים של פרוסות סיליקון מסוממות.

פרוסות סיליקון מסוממות מסוג N מכילות ארסן או זרחן. הוא נמצא בשימוש נרחב בייצור התקני CMOS מתקדמים.

פרוסות סיליקון מסוימות בבורון מסוג P. לרוב, הוא משמש לייצור מעגלים מודפסים או פוטוליתוגרפיה.

ופלס אפיטקסיאלי

פרוסות אפיטקסיאליות הן פרוסות קונבנציונליות המשמשות להשגת שלמות פני השטח. פרוסים אפיטקסיאליים זמינים בפרוסות עבות ודקות.

פרוסות אפיטקסיאליות רב שכבתיות ופלים אפיטקסיאליים עבים משמשים גם לוויסות צריכת האנרגיה ובקרת הספק של מכשירים.

פרוסות אפיטקסיאליות דקות משמשות בדרך כלל במכשירי MOS מעולים.

ופל SOI

פרוסות אלו משמשות לבידוד חשמלי של שכבות עדינות של סיליקון גביש יחיד מכל פרוסות הסיליקון. פרוסות SOI משמשות בדרך כלל בפוטוניקת סיליקון ויישומי RF בעלי ביצועים גבוהים. פרוסות SOI משמשות גם להפחתת קיבול מכשיר טפילי במכשירים מיקרואלקטרוניים, מה שעוזר לשפר את הביצועים.

למה קשה ייצור פרוסות?

פרוסות סיליקון בגודל 12 אינץ' קשות מאוד לפרוסות מבחינת התפוקה. למרות שסיליקון קשה, הוא גם שביר. אזורים מחוספסים נוצרים כאשר קצוות פרוסות מנוסרים נוטים להישבר. דיסקיות יהלום משמשות להחלקת קצוות הפרוסים ולהסרת כל נזק. לאחר החיתוך, הפרוסים נשברים בקלות מכיוון שכעת יש להם קצוות חדים. קצוות רקיק מעוצבים בצורה כזו שמבטלים קצוות שבירים וחדים והסיכוי להחלקה מצטמצם. כתוצאה מפעולת יצירת הקצוות, קוטר הפרוסה מותאם, הפרוסה מעוגלת (לאחר החיתוך, הפרוסה החתוכה היא אליפסה), ויוצרים או גודלם חריצים או מישורים מכוונים.