פרוסת ליטיום-אולטרה-סיבים אופטית 2 אינץ'-8 אינץ' 10x10x0.5 מ"מ 1sp 2sp עבור תקשורת 5G/6G
פרמטרים טכניים
| שֵׁם | LiTaO3 ברמה אופטית | רמת צליל בטבלת הרעש LiTaO3 |
| צִירִי | חיתוך Z + / - 0.2° | חיתוך Y 36° / חיתוך Y 42° / חיתוך X (+ / - 0.2 מעלות) |
| קוֹטֶר | 76.2 מ"מ + / - 0.3 מ"מ/ 100±0.2 מ"מ | 76.2 מ"מ + /-0.3 מ"מ 100 מ"מ + /-0.3 מ"מ 0r 150 ± 0.5 מ"מ |
| מישור נתון | 22 מ"מ + / - 2 מ"מ | 22 מ"מ + /-2 מ"מ 32 מ"מ + /-2 מ"מ |
| עוֹבִי | 500um + /-5 מ"מ 1000um + /-5 מ"מ | 500um + /-20 מ"מ 350um + /-20 מ"מ |
| TTV | ≤ 10 מיקרון | ≤ 10 מיקרון |
| טמפרטורת קירי | 605 מעלות צלזיוס + / - 0.7 מעלות צלזיוס (שיטת DTA) | 605 מעלות צלזיוס + / -3 מעלות צלזיוס (שיטת DTA) |
| איכות פני השטח | ליטוש דו-צדדי | ליטוש דו-צדדי |
| קצוות משופעים | עיגול קצה | עיגול קצה |
מאפיינים עיקריים
1. ביצועים חשמליים ואופטיים
מקדם אלקטרו-אופטי: r33 מגיע ל-30 pm/V (חיתוך X), גבוה פי 1.5 מ-LiNbO3, ומאפשר אפנון אלקטרו-אופטי רחב-פס אולטרה (רוחב פס של >40 GHz).
· תגובה ספקטרלית רחבה: טווח העברה 0.4–5.0 מיקרומטר (עובי 8 מ"מ), עם קצה בליעת קרינה אולטרה סגולה נמוך עד 280 ננומטר, אידיאלי עבור לייזרי UV והתקני נקודות קוונטיות.
מקדם פירואלקטרי נמוך: dP/dT = 3.5×10⁻⁴ C/(m²·K), מה שמבטיח יציבות בחיישני אינפרא אדום בטמפרטורה גבוהה.
2. תכונות תרמיות ומכניות
מוליכות תרמית גבוהה: 4.6 W/m·K (חיתוך X), פי ארבעה מזו של קוורץ, עמידה במחזורי תרמית של -200–500°C.
מקדם התפשטות תרמית נמוך: CTE = 4.1×10⁻⁶/K (25–1000°C), תואם לאריזות סיליקון כדי למזער את הלחץ התרמי.
3. בקרת פגמים ודיוק עיבוד
· צפיפות מיקרו-צינורות: <0.1 סמ"ר (ופלים בגודל 8 אינץ'), צפיפות פריקה <500 סמ"ר (אומת באמצעות איכול KOH).
· איכות פני השטח: ליטוש CMP ל-Ra <0.5 ננומטר, עומד בדרישות השטיחות ברמת ליתוגרפיה של EUV.
יישומים מרכזיים
| דומיין | תרחישי יישום | יתרונות טכניים |
| תקשורת אופטית | לייזרים DWDM 100G/400G, מודולים היברידיים של פוטוניקה מסיליקון | ההעברה הספקטרלית הרחבה של פרוסת LiTaO3 ואובדן מוליך הגל הנמוך (α <0.1 dB/cm) מאפשרים התרחבות של פס C. |
| תקשורת 5G/6G | מסנני SAW (1.8–3.5 גיגה-הרץ), מסנני BAW-SMR | פרוסות חתוך Y של 42° משיגות Kt² >15%, ומספקות אובדן הכנסה נמוך (<1.5 dB) וגלגול גבוה (>30 dB). |
| טכנולוגיות קוונטיות | גלאי פוטון יחיד, מקורות המרה כלפי מטה פרמטריים | מקדם לא ליניארי גבוה (χ(2)=40 pm/V) וקצב ספירה נמוך של חושך (<100 ספירות/שנייה) משפרים את נאמנות הקוונטים. |
| חישה תעשייתית | חיישני לחץ בטמפרטורה גבוהה, שנאי זרם | התגובה הפיזואלקטרית (g33 >20 mV/m) והסבילות לטמפרטורה גבוהה (>400°C) של פרוסת LiTaO3 מתאימות לסביבות קיצוניות. |
שירותי XKH
1. ייצור ופלים בהתאמה אישית
· גודל וחיתוך: פרוסות ופלים בגודל 2–8 אינץ' עם חיתוך X/Y/Z, חיתוך Y 42° וחיתוכים זוויתיים בהתאמה אישית (טולרנס של ±0.01°).
בקרת סימום: סימום Fe ו-Mg באמצעות שיטת צ'וכרלסקי (טווח ריכוזים 10¹⁶–10¹⁹ סמ"ק) כדי לייעל את המקדמים האלקטרו-אופטיים והיציבות התרמית.
2. טכנולוגיות תהליך מתקדמות
· קיטוב מחזורי (PPLT): טכנולוגיית Smart-Cut עבור פרוסות LTOI, המשיגה דיוק מחזורי בתחום של ±10 ננומטר והמרת תדרים תואמים-פאזה (QPM).
· אינטגרציה הטרוגנית: פרוסות ופלים מרוכבות (POI) מבוססות סיליקון LiTaO3 עם בקרת עובי (300-600 ננומטר) ומוליכות תרמית של עד 8.78 W/m·K עבור מסנני SAW בתדר גבוה.
3. מערכות ניהול איכות
· בדיקות מקצה לקצה: ספקטרוסקופיית ראמאן (אימות פוליטיפ), XRD (קריסטליניות), AFM (מורפולוגיה של פני השטח) ובדיקת אחידות אופטית (Δn <5×10⁻⁵).
4. תמיכה בשרשרת האספקה הגלובלית
· כושר ייצור: תפוקה חודשית >5,000 ופלים (8 אינץ': 70%), עם אספקה חירום תוך 48 שעות.
· רשת לוגיסטית: כיסוי באירופה, צפון אמריקה ואסיה-פסיפיק באמצעות הובלה אווירית/ימית עם אריזה מבוקרת טמפרטורה.
