גביש ליתיום טנטלט (LiTaO3) 2 אינץ'/3 אינץ'/4 אינץ'/6 אינץ' כיוון Y-42°/36°/108° עובי 250-500 מיקרון

תיאור קצר:

פרוסות LiTaO₃ מייצגות מערכת חומרים פיאזואלקטריים ופרואלקטריים קריטית, המציגות מקדמים פיאזואלקטריים יוצאי דופן, יציבות תרמית ותכונות אופטיות, מה שהופך אותן להכרחיות עבור מסנני גל אקוסטי שטחי (SAW), תהודה של גל אקוסטי בתפזורת (BAW), מודולטורים אופטיים וגלאי אינפרא אדום. XKH מתמחה במחקר ופיתוח וייצור פרוסות LiTaO₃ באיכות גבוהה, תוך שימוש בתהליכי גידול גבישי Czochralski (CZ) מתקדמים ואפיטקסיה של פאזה נוזלית (LPE) כדי להבטיח הומוגניות גבישית מעולה עם צפיפות פגמים <100/cm².

XKH מספקת פרוסות LiTaO₃ בגודל 3 אינץ', 4 אינץ' ו-6 אינץ' עם אוריינטציות קריסטלוגרפיות מרובות (חיתוך X, חיתוך Y, חיתוך Z), התומכות בטיפולי סימום (Mg, Zn) ופולינג מותאמים אישית כדי לעמוד בדרישות יישום ספציפיות. הקבוע הדיאלקטרי של החומר (ε~40-50), המקדם הפיאזואלקטרי (d₃₃~8-10 pC/N) וטמפרטורת קירי (~600°C) קובעים את LiTaO₃ כמצע המועדף עבור מסננים בתדר גבוה וחיישנים מדויקים.

הייצור המשולב אנכית שלנו מכסה גידול גבישים, ייצור פרוסות, ליטוש ושקיעת שכבות דקות, עם כושר ייצור חודשי של מעל 3,000 פרוסות פרוסות, המשרתות את תעשיות התקשורת 5G, האלקטרוניקה הצרכנית, הפוטוניקה והביטחון. אנו מספקים ייעוץ טכני מקיף, אפיון דגימות ושירותי אב טיפוס בנפח נמוך כדי לספק פתרונות LiTaO₃ אופטימליים.

שלחו לנו אימייל

תכונות

פרמטרים טכניים

שֵׁם	LiTaO3 ברמה אופטית	רמת צליל בטבלת הרעש LiTaO3
צִירִי	חיתוך Z + / - 0.2°	חיתוך Y 36° / חיתוך Y 42° / חיתוך X(+ / - 0.2 מעלות)
קוֹטֶר	76.2 מ"מ + / - 0.3 מ"מ/100±0.2 מ"מ	76.2 מ"מ + /-0.3 מ"מ100 מ"מ + /-0.3 מ"מ 0r 150 ± 0.5 מ"מ
מישור נתון	22 מ"מ + / - 2 מ"מ	22 מ"מ + /-2 מ"מ32 מ"מ + /-2 מ"מ
עוֹבִי	500um + /-5 מ"מ1000um + /-5 מ"מ	500um + /-20 מ"מ350um + /-20 מ"מ
TTV	≤ 10 מיקרון	≤ 10 מיקרון
טמפרטורת קירי	605 מעלות צלזיוס + / - 0.7 מעלות צלזיוס (שיטת DTA)	605 מעלות צלזיוס + / -3 מעלות צלזיוס (שיטת DTA)
איכות פני השטח	ליטוש דו-צדדי	ליטוש דו-צדדי
קצוות משופעים	עיגול קצה	עיגול קצה

מאפיינים עיקריים

1. מבנה גבישי וביצועים חשמליים

יציבות קריסטלוגרפית: 100% דומיננטיות של פוליטייפ 4H-SiC, אפס תכלילים רב-גבישיים (למשל, 6H/15R), עם עקומת נדנוד XRD ברוחב מלא בחצי-מקסימום (FWHM) ≤32.7 arcsecons.
ניידות נושאי מטען גבוהה: ניידות אלקטרונים של 5,400 סמ"ר/V·s (4H-SiC) וניידות חורים של 380 סמ"ר/V·s, המאפשרות תכנון התקנים בתדר גבוה.
· קשיות קרינה: עומד בקרינת נויטרונים של 1 MeV עם סף נזק תזוזה של 1×10¹⁵ n/cm², אידיאלי ליישומים בתחום התעופה והגרעין.

2. תכונות תרמיות ומכניות

מוליכות תרמית יוצאת דופן: 4.9 וואט/ס"מ·קלווין (4H-SiC), פי שלושה מזו של סיליקון, תומכת בפעולה מעל 200 מעלות צלזיוס.
מקדם התפשטות תרמי נמוך: CTE של 4.0×10⁻⁶/K (25–1000°C), מה שמבטיח תאימות עם אריזות מבוססות סיליקון וממזער את הלחץ התרמי.

3. בקרת פגמים ודיוק עיבוד

· צפיפות מיקרו-צינורות: <0.3 סמ"ר (ופלים בגודל 8 אינץ'), צפיפות פריקה <1,000 סמ"ר (אומת באמצעות איכול KOH).
· איכות פני השטח: ליטוש CMP ל-Ra <0.2 ננומטר, עומד בדרישות השטיחות ברמת ליתוגרפיה של EUV.

יישומים מרכזיים

דומיין	תרחישי יישום	יתרונות טכניים
תקשורת אופטית	לייזרים 100G/400G, מודולים היברידיים של פוטוניקה מסיליקון	מצעי זרעי InP מאפשרים פער אנרגיה ישיר (1.34 eV) והטרואפיטקסיה מבוססת סיליקה, מה שמפחית את אובדן הצימוד האופטי.
כלי רכב בעלי אנרגיה חדשה	ממירים במתח גבוה 800V, מטענים מובנים (OBC)	מצעי 4H-SiC עומדים בעומס של מעל 1,200 וולט, מה שמפחית את הפסדי ההולכה ב-50% ואת נפח המערכת ב-40%.
תקשורת 5G	התקני RF של גל מילימטר (PA/LNA), מגברי הספק של תחנות בסיס	מצעי SiC מבודדים למחצה (התנגדות >10⁵ Ω·cm) מאפשרים אינטגרציה פסיבית בתדר גבוה (60 GHz+).
ציוד תעשייתי	חיישני טמפרטורה גבוהה, שנאי זרם, ניטורים של כורים גרעיניים	מצעי זרעי InSb (פער אנרגיה של 0.17 eV) מספקים רגישות מגנטית של עד 300% ב-10 T.

פרוסות LiTaO₃ - מאפיינים עיקריים

1. ביצועים פיזואלקטריים מעולים

מקדמים פיזואלקטריים גבוהים (d₃₃~8-10 pC/N, K²~0.5%) מאפשרים התקני SAW/BAW בתדר גבוה עם אובדן הכנסה <1.5dB עבור מסנני RF 5G

צימוד אלקטרומכני מעולה תומך בתכנון מסננים בעלי רוחב פס רחב (≥5%) עבור יישומי תת-6GHz וגלי mmWave

2. תכונות אופטיות

שקיפות פס רחב (העברה של >70% מ-400-5000 ננומטר) עבור מודולטורים אלקטרו-אופטיים המשיגים רוחב פס של >40GHz

רגישות אופטית לא לינארית חזקה (χ⁽²⁾~30pm/V) מאפשרת יצירת הרמוניות שניות (SHG) יעילה במערכות לייזר

3. יציבות סביבתית

טמפרטורת קירי גבוהה (600°C) שומרת על תגובה פיזואלקטרית בסביבות ברמת רכב (-40°C עד 150°C)

· אינרטיות כימית כנגד חומצות/בסיסיות (pH1-13) מבטיחה אמינות ביישומי חיישנים תעשייתיים

4. יכולות התאמה אישית

· הנדסת אוריינטציה: חיתוך X (51°), חיתוך Y (0°), חיתוך Z (36°) לתגובות פיזואלקטריות מותאמות אישית

אפשרויות סימום: מסומם במגנזיום (עמידות בפני נזק אופטי), מסומם באבק (d₃₃ משופר)

גימורי משטח: ליטוש מוכן לאפיטקסיאלי (Ra<0.5nm), מטאליזציה של ITO/Au

פרוסות LiTaO₃ - יישומים עיקריים

1. מודולי קצה קדמי RF

מסנני 5G NR SAW (תדר n77/n79) עם מקדם טמפרטורה של תדר (TCF) <|-15ppm/°C|

· מהודים רחבי פס במיוחד של BAW עבור WiFi 6E/7 (5.925-7.125GHz)

2. פוטוניקה משולבת

מודולטורים מהירים של מאך-זנדר (>100Gbps) לתקשורת אופטית קוהרנטית

גלאי אינפרא אדום QWIP עם אורכי גל ניתוק הניתנים לכוונון בין 3 ל-14 מיקרומטר

3. אלקטרוניקה לרכב

חיישני חניה אולטרסאונד עם תדר פעולה של >200kHz

מתמרים פיזואלקטריים TPMS עמידים בפני מחזורי חום בין -40°C ל-125°C

4. מערכות הגנה

מסנני מקלט EW עם דחייה מחוץ לפס של >60dB

חלונות אינפרא אדום של מחפשי טילים המשדרים קרינת MWIR בעוצמה של 3-5 מיקרומטר

5. טכנולוגיות מתפתחות

מתמרים קוונטיים אופטו-מכניים להמרה ממיקרוגל לאופטי

מערכי PMUT להדמיית אולטרסאונד רפואית (רזולוציה של >20MHz)

ופלים LiTaO₃ - שירותי XKH

1. ניהול שרשרת אספקה

· עיבוד מ-Boule ל-Wafer עם זמן אספקה של 4 שבועות עבור מפרטים סטנדרטיים

ייצור אופטימלי בעלויות המספק יתרון מחיר של 10-15% לעומת המתחרים

2. פתרונות מותאמים אישית

· חיתוך פרוסות ספציפי לכיוון: חיתוך Y של 36°±0.5° לביצועי SAW אופטימליים

· תרכובות מסוממות: סימום MgO (5mol%) ליישומים אופטיים

שירותי מטליזציה: עיצוב דפוסי אלקטרודות Cr/Au (100/1000Å)

3. תמיכה טכנית

אפיון חומרים: עקומות נדנוד XRD (FWHM<0.01°), ניתוח פני שטח AFM

· סימולציית מכשירים: מידול FEM לאופטימיזציה של תכנון מסנן SAW

מַסְקָנָה

פרוסות ליתיום-אינדוקסיות (LiTaO₃) ממשיכות לאפשר התקדמות טכנולוגית בתקשורת RF, פוטוניקה משולבת וחיישנים לסביבה קשה. המומחיות של XKH בחומרים, דיוק הייצור ותמיכת הנדסת היישומים מסייעים ללקוחות להתגבר על אתגרי תכנון במערכות אלקטרוניות מהדור הבא.