תנור גידול סיליקון מונוקריסטלי למערכת גידול מטילי סיליקון מונוקריסטלי לטמפרטורה של עד 2100 ℃
מאפיינים עיקריים של תנור גידול סיליקון חד-גבישי
(1) בקרה מדויקת
בקרת טמפרטורה: יש לשלוט במדויק בטמפרטורת החימום (נקודת ההיתוך של סיליקון היא כ-1414 מעלות צלזיוס) כדי להבטיח יציבות התכה.
בקרת מהירות הרמה: מהירות ההרמה של גביש הזרע נשלטת על ידי מנוע מדויק (בדרך כלל 0.5-2 מ"מ/דקה), המשפיע על קוטר הגביש ואיכותו.
בקרת מהירות סיבוב: כוונן את מהירות הסיבוב של הזרע וציוד ההיתוך כדי להבטיח צמיחה אחידה של גבישים.
(2) גידול גבישים באיכות גבוהה
צפיפות פגמים נמוכה: על ידי אופטימיזציה של פרמטרי התהליך, ניתן לגדל את מוט הסיליקון המונוקריסטליני בעל פגמים נמוכים וטוהר גבוה.
גבישים גדולים: ניתן לגדל מוטות סיליקון חד-גבישיים בקוטר של עד 300 מ"מ (12 אינץ') כדי לענות על צרכי תעשיית המוליכים למחצה.
(3) ייצור יעיל
פעולה אוטומטית: תנורי גידול סיליקון חד-קריסטלי מודרניים מצוידים במערכות בקרה אוטומטיות כדי להפחית התערבות ידנית ולשפר את יעילות הייצור.
תכנון יעיל באנרגיה: השתמשו במערכות חימום וקירור יעילות כדי להפחית את צריכת האנרגיה.
(4) רב-תכליתיות
מתאים למגוון תהליכים: תמיכה בשיטת CZ, שיטת FZ וטכנולוגיות גידול גבישים אחרות.
תואם למגוון חומרים: בנוסף לסיליקון חד-קריסטלי, ניתן להשתמש בו גם לגידול חומרי מוליכים למחצה אחרים (כגון גרמניום, גליום ארסניד).
יישומים עיקריים של תנור גידול סיליקון חד-גבישי
(1) תעשיית המוליכים למחצה
ייצור מעגלים משולבים: סיליקון חד-גבישי הוא חומר הליבה לייצור מעבדים, זיכרון ומעגלים משולבים אחרים.
התקן כוח: משמש לייצור MOSFET, IGBT והתקני מוליכים למחצה אחרים להספק.
(2) תעשיית הפוטו-וולטאית
תאים סולאריים: סיליקון חד-קריסטליני הוא החומר העיקרי של תאים סולאריים בעלי יעילות גבוהה והוא נמצא בשימוש נרחב בייצור חשמל פוטו-וולטאי.
מודולים פוטו-וולטאיים: משמשים לייצור מודולים פוטו-וולטאיים מסיליקון חד-קריסטליני לשיפור יעילות ההמרה הפוטואלקטרית.
(3) מחקר מדעי
מחקר חומרים: משמש לחקר התכונות הפיזיקליות והכימיות של סיליקון חד-גבישי ולפיתוח חומרים חדשים למחצה.
אופטימיזציה של תהליכים: תמיכה בחדשנות ואופטימיזציה של תהליכי גידול גבישים.
(4) מכשירים אלקטרוניים אחרים
חיישנים: משמשים לייצור חיישנים מדויקים כגון חיישני לחץ וחיישני טמפרטורה.
התקנים אופטואלקטרוניים: משמשים לייצור לייזרים וגלאי אור.
XKH מספקת ציוד ושירותים לתנורי גידול סיליקון חד-קריסטליניים
XKH מתמקדת בפיתוח וייצור של ציוד לתנור גידול סיליקון חד-קריסטליני, ומספקת את השירותים הבאים:
ציוד מותאם אישית: XKH מספקת תנורי גידול סיליקון חד-קריסטליניים במפרטים ותצורות שונים בהתאם לדרישות הלקוח לתמיכה במגוון תהליכי גידול גבישים.
תמיכה טכנית: XKH מספקת ללקוחות תמיכה מלאה בתהליך, החל מהתקנת ציוד ואופטימיזציה של תהליכים ועד להדרכה טכנית בתחום גידול גבישים.
שירותי הדרכה: XKH מספקת הדרכה תפעולית והדרכה טכנית ללקוחות על מנת להבטיח תפעול יעיל של הציוד.
שירות לאחר המכירה: XKH מספקת שירות לאחר המכירה ותחזוקת ציוד בתגובה מהירה כדי להבטיח את המשכיות הייצור של הלקוח.
שירותי שדרוג: XKH מספקת שירותי שדרוג וטרנספורמציה של ציוד בהתאם לדרישות הלקוח כדי לשפר את יעילות הייצור ואיכות הגביש.
תנורי גידול סיליקון מונוקריסטליים הם הציוד המרכזי של תעשיות המוליכים למחצה והפוטו-וולטאית, וכוללים בקרה מדויקת, גידול גבישים באיכות גבוהה וייצור יעיל. הם נמצאים בשימוש נרחב בתחומי המעגלים המשולבים, תאים סולאריים, מחקר מדעי ומכשירים אלקטרוניים. XKH מספקת ציוד מתקדם לתנורי גידול סיליקון מונוקריסטליים ומגוון רחב של שירותים כדי לתמוך בלקוחות בהשגת ייצור סיליקון מונוקריסטלי באיכות גבוהה בקנה מידה של מוטות, כדי לסייע בפיתוח תעשיות קשורות.
תרשים מפורט
