תנור צמיחת סיליקון מונו-גבישי מונו-גבישי מערכת גידול מטיל סיליקון טמפרטורת ציוד של עד 2100℃
מאפיינים עיקריים של תנור גידול סיליקון חד גבישי
(1) בקרת דיוק גבוהה
בקרת טמפרטורה: שלטו במדויק על טמפרטורת החימום (נקודת ההיתוך של הסיליקון היא כ-1414 מעלות צלזיוס) כדי להבטיח יציבות ההיתוך.
בקרת מהירות הרמה: מהירות ההרמה של גביש הזרע נשלטת על ידי מנוע דיוק (בדרך כלל 0.5-2 מ"מ/דקה), המשפיע על קוטר הגביש ואיכותו.
בקרת מהירות סיבוב: התאם את מהירות הסיבוב של הזרע וכור ההיתוך כדי להבטיח צמיחת גבישים אחידה.
(2) צמיחת גבישים באיכות גבוהה
צפיפות פגמים נמוכה: על ידי אופטימיזציה של פרמטרי התהליך, ניתן לגדל את מוט הסיליקון החד-גבישי עם פגם נמוך וטוהר גבוה.
גבישים גדולים: ניתן לגדל מוטות סיליקון חד גבישיים בקוטר של עד 12 אינץ' (300 מ"מ) כדי לענות על הצרכים של תעשיית המוליכים למחצה.
(3) ייצור יעיל
פעולה אוטומטית: תנורי גידול סיליקון חד-גבישיים מודרניים מצוידים במערכות בקרה אוטומטיות להפחתת התערבות ידנית ולשיפור יעילות הייצור.
עיצוב יעיל באנרגיה: השתמש במערכות חימום וקירור יעילות כדי להפחית את צריכת האנרגיה.
(4) רבגוניות
מתאים למגוון תהליכים: תמיכה בשיטת CZ, שיטת FZ וטכנולוגיות נוספות לגידול גבישים.
תואם למגוון חומרים: בנוסף לסיליקון חד גבישי, ניתן להשתמש בו גם לגידול חומרים מוליכים למחצה אחרים (כגון גרמניום, גליום ארסניד).
יישומים עיקריים של תנור גידול סיליקון חד גבישי
(1) תעשיית מוליכים למחצה
ייצור מעגלים משולבים: סיליקון חד גבישי הוא חומר הליבה לייצור מעבד, זיכרון ומעגלים משולבים אחרים.
התקן כוח: משמש לייצור MOSFET, IGBT והתקני מוליכים למחצה אחרים.
(2) תעשייה פוטו-וולטאית
תאים סולאריים: סיליקון חד-גבישי הוא החומר העיקרי של תאים סולאריים בעלי יעילות גבוהה ונמצא בשימוש נרחב בייצור חשמל פוטו-וולטאי.
מודולים פוטו-וולטאיים: משמשים לייצור מודולים פוטו-וולטאיים סיליקון חד גבישי לשיפור יעילות ההמרה הפוטואלקטרית.
(3) מחקר מדעי
מחקר חומרים: משמש לחקר התכונות הפיזיקליות והכימיות של סיליקון חד גבישי ולפתח חומרים מוליכים למחצה חדשים.
אופטימיזציה של תהליכים: תמכו בחדשנות ובאופטימיזציה של תהליך צמיחת גבישים.
(4) מכשירים אלקטרוניים אחרים
חיישנים: משמשים לייצור חיישנים בעלי דיוק גבוה כגון חיישני לחץ וחיישני טמפרטורה.
מכשירים אופטו-אלקטרוניים: משמשים לייצור לייזרים ופוטו-גלאי.
XKH מספקת ציוד ושירותים לתנור צמיחת סיליקון חד-גבישי
XKH מתמקדת בפיתוח וייצור של ציוד לתנורי גידול סיליקון חד גבישי, ומספקת את השירותים הבאים:
ציוד מותאם אישית: XKH מספקת תנורי גידול סיליקון חד-גבישיים במפרטים ותצורות שונות בהתאם לדרישות הלקוח לתמיכה במגוון תהליכי צמיחת גבישים.
תמיכה טכנית: XKH מספקת ללקוחות תמיכה מלאה בתהליך מהתקנת ציוד ואופטימיזציה של תהליכים ועד להדרכה טכנית לצמיחת גבישים.
שירותי הדרכה: XKH מספקת הדרכה תפעולית והדרכה טכנית ללקוחות כדי להבטיח תפעול יעיל של הציוד.
שירות לאחר המכירה: XKH מספקת שירות לאחר המכירה בתגובה מהירה ותחזוקת ציוד כדי להבטיח את המשכיות הייצור של הלקוח.
שירותי שדרוג: XKH מספקת שירותי שדרוג ושינוי ציוד בהתאם לדרישות הלקוח לשיפור יעילות הייצור ואיכות הקריסטל.
תנורי גידול סיליקון מונו-גבישיים הם ציוד הליבה של תעשיות המוליכים למחצה והפוטו-וולטאים, הכוללים בקרה דיוק גבוהה, צמיחת גבישים באיכות גבוהה וייצור יעיל. הוא נמצא בשימוש נרחב בתחומי מעגלים משולבים, תאים סולאריים, מחקר מדעי ומכשירים אלקטרוניים. XKH מספקת ציוד מתקדם לגידול סיליקון חד-גבישי ומגוון שלם של שירותים כדי לתמוך בלקוחות כדי להשיג ייצור בקנה מידה של מוטות סיליקון חד-גבישיים באיכות גבוהה, כדי לסייע בפיתוח של תעשיות קשורות.
תרשים מפורט
