מצעים מרוכבים מסוג N Si על סיליקון קוטר 6 אינץ'

תיאור קצר:

מצעים מרוכבים מסוג N Si הם חומרי מוליכים למחצה המורכבים משכבה של סיליקון קרביד (SiC) מסוג n המופקדת על מצע סיליקון (Si).


תכונות

等级צִיוּן

אתה 级

P级

D级

ציון BPD נמוך

כיתה ייצור

דירוג דמה

直径קוֹטֶר

150.0 מ"מ ± 0.25 מ"מ

厚度עוֹבִי

500 מיקרומטר ± 25 מיקרומטר

晶片方向כיוון פרוסות

מחוץ לציר: 4.0° לכיוון < 11-20 > ±0.5° עבור 4H-N על הציר: < 0001 > ±0.5° עבור 4H-SI

主定位边方向דירה ראשית

{10-10}±5.0°

主定位边长度אורך שטוח ראשוני

47.5 מ"מ ± 2.5 מ"מ

边缘אי הכללת קצה

3 מ"מ

总厚度变化/弯曲度/翘曲度 TTV/Bow /Warp

≤15 מיקרומטר / ≤40 מיקרומטר / ≤60 מיקרומטר

微管密度和基面位错MPD ו-BPD

MPD≤1 ס"מ-2

MPD≤5 ס"מ-2

MPD≤15 ס"מ-2

BPD≤1000cm-2

电阻率הִתנַגְדוּת סְגוּלִית

≥1E5 Ω·cm

表面粗糙度חִספּוּס

פולני Ra≤1 ננומטר

CMP Ra≤0.5 ננומטר

裂纹(强光灯观测) #

אַף לֹא אֶחָד

אורך מצטבר ≤10 מ"מ, אורך יחיד ≤2 מ"מ

סדקים כתוצאה מאור בעוצמה גבוהה

六方空洞(强光灯观测)*

שטח מצטבר ≤1%

שטח מצטבר ≤5%

צלחות משושה על ידי אור בעוצמה גבוהה

多型(强光灯观测)*

אַף לֹא אֶחָד

שטח מצטבר ≤5%

אזורי פוליטיפ על ידי אור בעוצמה גבוהה

划痕(强光灯观测)*&

3 שריטות בקוטר של 1× פרוסת ופלים

5 שריטות בקוטר של 1× פרוסה

שריטות עקב אור בעוצמה גבוהה

אורך מצטבר

אורך מצטבר

崩边# שבב קצה

אַף לֹא אֶחָד

5 מותר, ≤1 מ"מ כל אחד

表面污染物(强光灯观测)

אַף לֹא אֶחָד

זיהום על ידי אור בעוצמה גבוהה

 

תרשים מפורט

WeChatfb506868f1be4983f80912519e79dd7b

  • קוֹדֵם:
  • הַבָּא:

  • כתבו את הודעתכם כאן ושלחו אותה אלינו
    • Eric
    • Eric2025-06-13 07:44:51

      Hello,This is Eric from XINKEHUI SHANGHAI.

    • What products are you interested in?

    Ctrl+Enter Wrap,Enter Send

    • FAQ
    Please leave your contact information and chat
    Hello,This is Eric from XINKEHUI SHANGHAI.
    Chat
    Chat