ניתן להשתמש בתחריט יבש של מצע ספיר מעוצב PSS 2 אינץ' 4 אינץ' 6 אינץ' ICP עבור שבבי LED
מאפיין ליבה
1. מאפייני חומר: חומר המצע הוא ספיר גבישי יחיד (Al₂O₃), בעל קשיות גבוהה, עמידות גבוהה בחום ויציבות כימית.
2. מבנה פני השטח: פני השטח נוצרים על ידי פוטוליוגרפיה וחריטה למבנים מיקרו-ננו מחזוריים, כגון קונוסים, פירמידות או מערכים משושים.
3. ביצועים אופטיים: באמצעות עיצוב דפוסי פני השטח, החזרת האור הכוללת בממשק מצטמצמת, ויעילות חילוץ האור משתפרת.
4. ביצועים תרמיים: למצע ספיר מוליכות תרמית מצוינת, מתאימה ליישומי LED בעלי עוצמה גבוהה.
5. מפרט גודל: גדלים נפוצים הם 2 אינץ' (50.8 מ"מ), 4 אינץ' (100 מ"מ) ו-6 אינץ' (150 מ"מ).
תחומי יישום עיקריים
1. ייצור LED:
יעילות משופרת של חילוץ אור: PSS מפחית את אובדן האור באמצעות עיצוב תבניות, ומשפר משמעותית את בהירות ה-LED ואת יעילות האור.
איכות צמיחה אפיטקסיאלית משופרת: המבנה המעוצב מספק בסיס צמיחה טוב יותר לשכבות אפיטקסיאליות של GaN ומשפר את ביצועי ה-LED.
2. דיודת לייזר (LD):
לייזרים בעלי הספק גבוה: המוליכות התרמית הגבוהה והיציבות של PSS מתאימים לדיודות לייזר בעלות הספק גבוה, ומשפרים את ביצועי פיזור החום והאמינות.
זרם סף נמוך: אופטימיזציה של גדילת אפיטקסיאלית, הפחתת זרם הסף של דיודת הלייזר ושיפור היעילות.
3. גלאי אור:
רגישות גבוהה: העברת האור הגבוהה וצפיפות הפגמים הנמוכה של ה-PSS משפרות את הרגישות ומהירות התגובה של גלאי הפוטואלקטרי.
תגובה ספקטרלית רחבה: מתאים לגילוי פוטואלקטרי בטווח האולטרה סגול עד הנראה.
4. אלקטרוניקה להספק:
עמידות למתח גבוה: הבידוד הגבוה והיציבות התרמית של ספיר מתאימים להתקני חשמל במתח גבוה.
פיזור חום יעיל: מוליכות תרמית גבוהה משפרת את ביצועי פיזור החום של התקני חשמל ומאריכה את חיי השירות.
5. מכשירי RF:
ביצועי תדר גבוה: ההפסד הדיאלקטרי הנמוך והיציבות התרמית הגבוהה של PSS מתאימים להתקני RF בתדר גבוה.
רעש נמוך: שטוחות גבוהה וצפיפות פגמים נמוכה מפחיתים את רעש המכשיר ומשפרים את איכות האות.
6. ביוסנסורים:
גילוי רגישות גבוהה: העברת האור הגבוהה והיציבות הכימית של PSS מתאימים לביו-חיישנים בעלי רגישות גבוהה.
ביולוגיות: הביולוגיות של ספיר הופכות אותו למתאים ליישומים רפואיים וביולוגיים.
מצע ספיר מעוצב (PSS) עם חומר אפיטקסיאלי של GaN:
מצע ספיר מעוצב (PSS) הוא מצע אידיאלי לגדילה אפיטקסיאלית של GaN (גליום ניטריד). קבוע הסריג של ספיר קרוב לזה של GaN, מה שיכול להפחית אי התאמות ופגמים בסריג בגדילה אפיטקסיאלית. מבנה המיקרו-ננו של פני השטח של PSS לא רק משפר את יעילות חילוץ האור, אלא גם משפר את איכות הגביש של השכבה האפיטקסיאלית של GaN, ובכך משפר את הביצועים והאמינות של ה-LED.
פרמטרים טכניים
| פָּרִיט | מצע ספיר מעוצב (2 ~ 6 אינץ') | ||
| קוֹטֶר | 50.8 ± 0.1 מ"מ | 100.0 ± 0.2 מ"מ | 150.0 ± 0.3 מ"מ |
| עוֹבִי | 430 ± 25 מיקרומטר | 650 ± 25 מיקרומטר | 1000 ± 25 מיקרומטר |
| כיוון פני השטח | זווית סטייה של מישור C (0001) לכיוון ציר M (10-10) 0.2 ± 0.1° | ||
| מישור C (0001) בזווית לא מותאמת לציר A (11-20) 0 ± 0.1° | |||
| כיוון שטוח ראשוני | מישור A (11-20) ± 1.0° | ||
| אורך שטוח ראשוני | 16.0 ± 1.0 מ"מ | 30.0 ± 1.0 מ"מ | 47.5 ± 2.0 מ"מ |
| מטוס R | השעה תשע | ||
| גימור משטח קדמי | בדוגמת | ||
| גימור משטח אחורי | SSP: טחינה דקה, Ra=0.8-1.2um; DSP: אפי-ליטוש, Ra<0.3nm | ||
| סימון לייזר | צד אחורי | ||
| TTV | ≤8 מיקרומטר | ≤10 מיקרומטר | ≤20 מיקרומטר |
| קֶשֶׁת | ≤10 מיקרומטר | ≤15 מיקרומטר | ≤25 מיקרומטר |
| לְעַקֵם | ≤12 מיקרומטר | ≤20 מיקרומטר | ≤30 מיקרומטר |
| אי הכללת קצה | ≤2 מ"מ | ||
| מפרט תבנית | מבנה צורה | כיפה, חרוט, פירמידה | |
| גובה התבנית | 1.6~1.8 מיקרומטר | ||
| קוטר התבנית | 2.75~2.85 מיקרומטר | ||
| מרחב תבניות | 0.1~0.3 מיקרומטר | ||
XKH מתמחה באספקת מצעי ספיר (PSS) מותאמים אישית ואיכותיים, יחד עם תמיכה טכנית ושירות לאחר המכירה, כדי לסייע ללקוחות להשיג חדשנות יעילה בתחום ה-LED, הצגים והאופטואלקטרוניקה.
1. אספקת PSS איכותית: מצעי ספיר מעוצבים במגוון גדלים (2 אינץ', 4 אינץ', 6 אינץ') כדי לענות על הצרכים של LED, צגים ומכשירים אופטואלקטרוניים.
2. עיצוב מותאם אישית: התאימו אישית את מבנה המיקרו-ננו-המשטח (כגון חרוט, פירמידה או מערך משושה) בהתאם לצורכי הלקוח כדי לייעל את יעילות חילוץ האור.
3. תמיכה טכנית: מתן תכנון יישומי PSS, אופטימיזציה של תהליכים וייעוץ טכני כדי לסייע ללקוחות לשפר את ביצועי המוצר.
4. תמיכה בגדילה אפיטקסיאלית: PSS תואם לחומר אפיטקסיאלי של GaN מסופק כדי להבטיח גדילה באיכות גבוהה של שכבת אפיטקסיאלית.
5. בדיקה והסמכה: ספקו דוח בדיקת איכות PSS כדי להבטיח שהמוצרים עומדים בתקני התעשייה.
תרשים מפורט
