מצע ספיר בדוגמת PSS 2 אינץ '4 אינץ' 6 אינץ 'ICP יכול לשמש תחריט יבש לשבבי LED
מאפיין ליבה
1. מאפייני חומר: חומר המצע הוא ספיר קריסטל יחיד (AL₂O₃), עם קשיות גבוהה, עמידות גבוהה לחום ויציבות כימית.
2. מבנה פני השטח: המשטח נוצר על ידי פוטוליטוגרפיה ותחריט למבני מיקרו-ננו תקופתיים, כמו קונוסים, פירמידות או מערכים משושים.
3. ביצועים אופטיים: דרך עיצוב דפוסי השטח, השתקפות האור הכוללת בממשק מצטמצמת ויעילות מיצוי האור משופרת.
4. ביצועים תרמיים: מצע ספיר יש מוליכות תרמית מעולה, המתאימה ליישומי LED בעלי כוח גבוה.
5. מפרט גודל: גדלים נפוצים הם 2 אינץ '(50.8 מ"מ), 4 אינץ' (100 מ"מ) ו 6 אינץ '(150 מ"מ).
אזורי יישום עיקריים
1. ייצור LED:
יעילות מיצוי אור משופרת: PSS מפחית את אובדן האור באמצעות תכנון דפוסים, ומשפר משמעותית את בהירות ה- LED ואת היעילות הזוהרת.
איכות צמיחה אפיטקסיאלית משופרת: המבנה בדוגמת מספק בסיס צמיחה טוב יותר לשכבות אפיטקסיאליות GAN ומשפר את ביצועי ה- LED.
2. דיודה לייזר (LD):
לייזרי כוח גבוהים: המוליכות התרמית הגבוהה והיציבות של PSS מתאימים לדיודות לייזר בעלות הספק גבוה, ומשפרים את ביצועי פיזור החום ואמינות.
זרם סף נמוך: אופטימיזציה של צמיחה אפיטקסיאלית, הפחיתו את זרם הסף של דיודת הלייזר ושיפר את היעילות.
3. פוטו -גלאי:
רגישות גבוהה: העברת האור הגבוהה וצפיפות הפגמים הנמוכה של ה- PSS משפרים את הרגישות ואת מהירות התגובה של הצילום.
תגובה ספקטרלית רחבה: מתאימה לגילוי פוטו -אלקטרוני בטווח האולטרה סגול לטווח הגלוי.
4. אלקטרוניקה חשמל:
עמידות בפני מתח גבוה: הבידוד הגבוה והיציבות התרמית של ספיר מתאימים למכשירי כוח מתח גבוה.
פיזור חום יעיל: מוליכות תרמית גבוהה משפרת את ביצועי פיזור החום של מכשירי כוח ואריכה חיי השירות.
5. מכשירי RF:
ביצועי תדרים גבוהים: האובדן הדיאלקטרי הנמוך והיציבות התרמית הגבוהה של PSS מתאימים למכשירי RF בתדירות גבוהה.
רעש נמוך: שטוח גבוה וצפיפות פגמים נמוכה מפחיתים את רעש המכשיר ומשפרים את איכות האות.
6. חיישנים ביולוגיים:
גילוי רגישות גבוהה: העברת האור הגבוה והיציבות הכימית של PSS מתאימים לסנסורים ביולוגיים ברגישות גבוהה.
תאימות ביולוגית: התאימות הביולוגית של ספיר הופכת אותה למתאימה ליישומי בדיקה רפואית וביולוגית.
מצע ספיר בדוגמת (PSS) עם חומר אפיטקסיאלי GAN:
מצע ספיר בדוגמת (PSS) הוא מצע אידיאלי לצמיחה אפיטקסיאלית GAN (גליום ניטריד). קבוע הסריג של ספיר קרוב ל- GAN, מה שיכול להפחית את אי התאמות והפגמים בסריג בצמיחה אפיטקסיאלית. מבנה המיקרו-ננו של פני ה- PSS לא רק משפר את יעילות מיצוי האור, אלא גם משפר את איכות הגביש של שכבת האפיטקסיאלית GAN, ובכך משפר את הביצועים והאמינות של ה- LED.
פרמטרים טכניים
| פָּרִיט | מצע ספיר בדוגמת (2 ~ 6 אינץ ') | ||
| קוֹטֶר | 50.8 ± 0.1 מ"מ | 100.0 ± 0.2 מ"מ | 150.0 ± 0.3 מ"מ |
| עוֹבִי | 430 ± 25 מיקרומטר | 650 ± 25 מיקרומטר | 1000 ± 25 מיקרומטר |
| כיוון פני השטח | מטוס C (0001) מחוץ לזווית לכיוון ציר M (10-10) 0.2 ± 0.1 ° | ||
| מטוס C (0001) מחוץ לזווית לכיוון ציר A (11-20) 0 ± 0.1 ° | |||
| אוריינטציה שטוחה ראשונית | מטוס A (11-20) ± 1.0 ° | ||
| אורך שטוח ראשוני | 16.0 ± 1.0 מ"מ | 30.0 ± 1.0 מ"מ | 47.5 ± 2.0 מ"מ |
| R-Plane | 9-O'Clock | ||
| גימור פני השטח הקדמי | בדוגמת | ||
| גימור פני השטח האחורי | SSP: קרקע משובחת, ra = 0.8-1.2um; DSP: EPI מלוטש, RA <0.3NM | ||
| סימן לייזר | הצד האחורי | ||
| TTV | ≤8 מיקרומטר | ≤10 מיקרומטר | ≤20 מיקרומטר |
| קֶשֶׁת | ≤10 מיקרומטר | ≤15 מיקרומטר | ≤25 מיקרומטר |
| לְעַקֵם | ≤12 מיקרומטר | ≤20 מיקרומטר | ≤30 מיקרומטר |
| הרחקת קצה | ≤2 מ"מ | ||
| מפרט תבניות | מבנה צורה | כיפה, חרוט, פירמידה | |
| גובה דפוס | 1.6 ~ 1.8 מיקרומטר | ||
| קוטר דפוס | 2.75 ~ 2.85 מיקרומטר | ||
| מרחב דפוס | 0.1 ~ 0.3 מיקרומטר | ||
XKH מתמחה במתן מצעי ספיר דפוסים באיכות גבוהה ומותאמת אישית (PSS) עם תמיכה טכנית ושירות לאחר המכירה כדי לעזור ללקוחות להשיג חדשנות יעילה בתחום LED, תצוגה ואופטואלקטורוניקה.
1. אספקת PSS באיכות גבוהה: מצעי ספיר בדוגמת במגוון גדלים (2 ", 4", 6 ") כדי לענות על הצרכים של מכשירים LED, תצוגה ואופטואלקטרוניים.
2. תכנון בהתאמה אישית: התאם אישית את מבנה המיקרו-ננו לפני השטח (כגון חרוט, פירמידה או מערך משושה) על פי צרכי הלקוח כדי לייעל את יעילות מיצוי האור.
3. תמיכה טכנית: ספק תכנון יישומי PSS, אופטימיזציה של תהליכים וייעוץ טכני כדי לעזור ללקוחות לשפר את ביצועי המוצר.
4. תמיכה בצמיחה אפיטקסיאלית: PSS המותאם לחומר אפיטקסיאלי GAN מסופק כדי להבטיח צמיחת שכבה אפיטקסיאלית באיכות גבוהה.
5. בדיקה והסמכה: ספק דוח בדיקת איכות PSS כדי להבטיח שמוצרים עומדים בתקני התעשייה.
תרשים מפורט
