פיני הרמה ספיר פרימיום פין הרמה פרוסת Al₂O₃ גביש יחיד
פרמטרים טכניים
| הרכב כימי | Al2O3 |
| קַשִׁיוּת | 9 מוהס |
| אופי אופטי | חד-צירי |
| מקדם שבירה | 1.762-1.770 |
| שבירה כפולה | 0.008-0.010 |
| פְּזִירָה | נמוך, 0.018 |
| בְּהִיקוּת | זְגוּגִי |
| פלאוכרואיזם | בינוני עד חזק |
| קוֹטֶר | 0.4 מ"מ-30 מ"מ |
| סובלנות קוטר | 0.004 מ"מ-0.05 מ"מ |
| מֶשֶׁך | 2 מ"מ-150 מ"מ |
| סובלנות אורך | 0.03 מ"מ-0.25 מ"מ |
| איכות פני השטח | 40/20 |
| עגלגלות פני השטח | 0.05 ריאל ברזילאי |
| צורה מותאמת אישית | שני הקצוות שטוחים, קצה אחד אדום, שני הקצוות אדום, פיני אוכף וצורות מיוחדות |
תכונות עיקריות
1. קשיות ועמידות בפני שחיקה יוצאי דופן: עם דירוג קשיות Mohs של 9, שני רק ליהלום, פיני הרמה של ספיר מפגינים מאפייני שחיקה שעולים באופן דרמטי על חלופות מסורתיות של סיליקון קרביד, קרמיקה מאלומינה או סגסוגות מתכת. קשיות קיצונית זו מתורגמת לירידה משמעותית בדרישות ייצור חלקיקים ותחזוקה, עם חיי שירות ארוכים בדרך כלל פי 3-5 מחומרים קונבנציונליים ביישומים דומים.
2. עמידות מעולה בטמפרטורה גבוהה: פיני הרמה מסוג ספיר, תוכננו לעמוד בפעולה ממושכת בטמפרטורות מעל 1000 מעלות צלזיוס ללא פגיעה, ושומרים על יציבות ממדית וחוזק מכני בתהליכים התרמיים התובעניים ביותר. זה הופך אותם ליקרים במיוחד עבור יישומים קריטיים כגון שקיעת אדים כימית (CVD), שקיעת אדים כימית-אורגנית-מתכתית (MOCVD) ומערכות חישול בטמפרטורה גבוהה שבהן אי התאמה בהתפשטות תרמית עלולה לפגוע בתפוקות התהליך.
3. אינרטיות כימית: מבנה הספיר החד-גבישי מפגין עמידות יוצאת דופן להתקפות של חומצת HF, כימיקלים מבוססי כלור וגזי תהליך אגרסיביים אחרים הנפוצים בייצור מוליכים למחצה. יציבות כימית זו מבטיחה ביצועים עקביים בסביבות פלזמה ומונעת היווצרות פגמים על פני השטח שעלולים להוביל לזיהום פרוסות סיליקון.
4. זיהום חלקיקים נמוך: פיני הרמה אלה, המיוצרים מגבישי ספיר בעלי טוהר גבוה וללא פגמים (בדרך כלל >99.99%), מציגים נשירת חלקיקים מינימלית גם לאחר שימוש ממושך. מבנה פני השטח הלא נקבוביים והגימורים המלוטשים שלהם עומדים בדרישות המחמירות ביותר של חדרי נקיון, ותורמים ישירות לשיפור תפוקות התהליך בייצור מוליכים למחצה מתקדמים.
עיבוד שבבי בדיוק גבוה: באמצעות טכניקות מתקדמות של ליטוש יהלום ועיבוד לייזר, ניתן לייצר פיני הרמה מסוג Sapphire עם סבילות תת-מיקרון וגימורי שטח מתחת ל-0.05 מיקרומטר Ra. ניתן לתכנן גיאומטריות מותאמות אישית, כולל פרופילים מחודדים, תצורות קצה מיוחדות ותכונות יישור משולבות, כדי להתמודד עם אתגרי טיפול ספציפיים בפרוסות סיליקון בציוד ייצור מהדור הבא.
יישומים עיקריים
1. ייצור מוליכים למחצה: פיני הרמה מספיר ממלאים תפקיד קריטי במערכות עיבוד פרוסות מתקדמות, ומספקים תמיכה אמינה ומיקום מדויק במהלך תהליכי פוטוליתוגרפיה, איכול, שיקוע ובדיקה. היציבות התרמית והכימית שלהם הופכת אותם בעלי ערך רב במיוחד בכלי ליתוגרפיה של EUV וביישומי אריזה מתקדמים שבהם יציבות ממדית בקני מידה ננומטריים היא חיונית.
2. אפיטקסיה של LED (MOCVD): במערכות גידול אפיטקסיאליות של גליום ניטריד (GaN) ומערכות גידול אפיטקסיאליות של מוליכים למחצה מתחמות קשורות, פיני הרמה של ספיר מספקים תמיכה יציבה לפלים בטמפרטורות שלעתים קרובות עולות על 1000 מעלות צלזיוס. מאפייני ההתפשטות התרמית התואמים שלהם עם מצעי ספיר ממזערים כיפוף והיווצרות החלקה של הפללים במהלך תהליך הגידול האפיטקסיאלי.
3. תעשייה פוטו-וולטאית: ייצור תאים סולאריים יעיל במיוחד נהנה מתכונותיו הייחודיות של ספיר בתהליכי דיפוזיה, סינטור ותהליכי שיקוע שכבה דקה בטמפרטורה גבוהה. עמידות הבלאי של הפינים חשובה במיוחד בסביבות ייצור המוני שבהן אורך החיים של הרכיבים משפיע ישירות על עלויות הייצור.
4. עיבוד אופטיקה ואלקטרוניקה מדויקים: מעבר ליישומי מוליכים למחצה, פיני הרמה מסוג ספיר נמצאים בשימוש בטיפול ברכיבים אופטיים עדינים, התקני MEMS ומצעים מיוחדים שבהם עיבוד ללא זיהום ומניעת שריטות הם קריטיים. תכונות הבידוד החשמלי שלהם הופכות אותם לאידיאליים עבור יישומים הכוללים התקנים רגישים לאלקטרוסטטיה.
שירותי XKH עבור פיני הרמה מספיר
XKH מספקת תמיכה טכנית מקיפה ופתרונות מותאמים אישית עבור פיני הרמה ספיר:
1. שירותי פיתוח בהתאמה אישית
· תמיכה בהתאמה אישית של מימדים, גיאומטריים וטיפולי פני שטח
· המלצות לבחירת חומרים ואופטימיזציה של פרמטרים טכניים
· עיצוב מוצר שיתופי ואימות סימולציה
2. יכולות ייצור מדויקות
עיבוד שבבי בדיוק גבוה עם סבולות מבוקרות של ±1 מיקרומטר
טיפולים מיוחדים הכוללים ליטוש מראה ושיפוע קצה
· פתרונות אופציונליים לשינוי משטחים כגון ציפויים נגד הדבקה
3. מערכת אבטחת איכות
· יישום קפדני של בדיקת חומרים נכנסים ובקרת תהליכים
· בדיקה אופטית מלאה-ממדית וניתוח מורפולוגיה של פני השטח
· אספקת דוחות בדיקות ביצועי מוצר
4. שירותי שרשרת אספקה
· אספקה מהירה של מוצרים סטנדרטיים
· ניהול מלאי ייעודי עבור לקוחות מרכזיים
5. תמיכה טכנית
· ייעוץ לפתרונות אפליקציה
· תגובה מהירה לאחר המכירה
אנו מחויבים לספק מוצרי ספיר להרמה באיכות גבוהה ושירותים טכניים מקצועיים כדי לעמוד בדרישות המחמירות של תעשיות מוליכים למחצה, LED ותעשיות מתקדמות אחרות.
