מגש צ'אק קרמי SiC כוסות יניקה קרמיות עיבוד שבבי מדויק בהתאמה אישית
מאפייני חומר:
1. קשיות גבוהה: קשיות מוס של סיליקון קרביד היא 9.2-9.5, שנייה רק ליהלום, עם עמידות חזקה בפני שחיקה.
2. מוליכות תרמית גבוהה: מוליכות תרמית של סיליקון קרביד גבוהה עד 120-200 W/m·K, שיכולה לפזר חום במהירות ומתאימה לסביבה בטמפרטורה גבוהה.
3. מקדם התפשטות תרמית נמוך: מקדם ההתפשטות התרמית של סיליקון קרביד נמוך (4.0-4.5×10⁻⁶/K), ועדיין יכול לשמור על יציבות ממדית בטמפרטורה גבוהה.
4. יציבות כימית: עמידות בפני קורוזיה חומצית ובסיסית של סיליקון קרביד, מתאים לשימוש בסביבה קורוזיבית כימית.
5. חוזק מכני גבוה: לסיליקון קרביד חוזק כיפוף וחוזק דחיסה גבוהים, והוא יכול לעמוד בלחץ מכני גדול.
תכונות:
1. בתעשיית המוליכים למחצה, יש להניח פרוסות דקיק במיוחד על כוס יניקה בוואקום, יניקת הוואקום משמשת לקיבוע הפרוסות, ותהליך השעווה, הדילול, השעווה, הניקוי והחיתוך מתבצעים על הפרוסות.
2. לסיליקון קרביד פראייר יש מוליכות תרמית טובה, יכול ביעילות לקצר את זמן השעווה והשעווה, לשפר את יעילות הייצור.
3. מציצת ואקום סיליקון קרביד בעלת עמידות טובה בפני קורוזיה חומצית ובסיסית.
4. בהשוואה לצלחת הנשא המסורתית של קורונדום, זה מקצר את זמן החימום והקירור של הטעינה והפריקה, משפר את יעילות העבודה; יחד עם זאת, זה יכול להפחית את הבלאי בין הצלחות העליונות והתחתונות, לשמור על דיוק טוב במישור ולהאריך את חיי השירות בכ-40%.
5. יחס החומר קטן, משקל קל. קל יותר למפעילים לשאת משטחים, מה שמפחית את הסיכון לנזקי התנגשות הנגרמים מקשיי הובלה בכ-20%.
6. גודל: קוטר מרבי 640 מ"מ; שטוחות: 3 מיקרון או פחות
שדה יישום:
1. ייצור מוליכים למחצה
● עיבוד ופלים:
לקיבוע פרוסות סיליקון בפוטוליתוגרפיה, איכול, שיקוע שכבות דקות ותהליכים אחרים, תוך הבטחת דיוק גבוה ועקביות בתהליך. עמידותו בטמפרטורה גבוהה ובקורוזיה מתאימה לסביבות ייצור קשות של מוליכים למחצה.
● גדילה אפיטקסיאלית:
בגדילה אפיטקסיאלית של SiC או GaN, כנשא לחימום וקיבוע פרוסות סיליקון, תוך הבטחת אחידות טמפרטורה ואיכות גביש בטמפרטורות גבוהות, ומשפרת את ביצועי המכשיר.
2. ציוד פוטואלקטרי
● ייצור LED:
משמש לקיבוע מצע ספיר או SiC, וכמוביל חימום בתהליך MOCVD, כדי להבטיח את אחידות הצמיחה האפיטקסיאלית, לשפר את יעילות האור והאיכות של LED.
● דיודת לייזר:
כמתקן מדויק, מצע קיבוע וחימום מבטיח יציבות טמפרטורת התהליך, משפר את עוצמת המוצא והאמינות של דיודת הלייזר.
3. עיבוד שבבי מדויק
● עיבוד רכיבים אופטיים:
הוא משמש לתיקון רכיבים מדויקים כגון עדשות אופטיות ומסננים כדי להבטיח דיוק גבוה וזיהום נמוך במהלך העיבוד, והוא מתאים לעיבוד בעצימות גבוהה.
● עיבוד קרמי:
כמתקן בעל יציבות גבוהה, הוא מתאים לעיבוד מדויק של חומרים קרמיים כדי להבטיח דיוק ועקביות בעיבוד בטמפרטורה גבוהה ובסביבה קורוזיבית.
4. ניסויים מדעיים
●ניסוי בטמפרטורה גבוהה:
כמכשיר קיבוע דגימות בסביבות טמפרטורה גבוהה, הוא תומך בניסויים בטמפרטורה קיצונית מעל 1600 מעלות צלזיוס כדי להבטיח אחידות טמפרטורה ויציבות הדגימה.
●בדיקת ואקום:
כנשא קיבוע וחימום דגימות בסביבת ואקום, כדי להבטיח את הדיוק וחזרתיות הניסוי, מתאים לציפוי ואקום וטיפול בחום.
מפרט טכני:
| (תכונה חומרית) | (יְחִידָה) | (ssic) | |
| (תכולת SiC) |
| (משקל)% | >99 |
| (גודל גרגר ממוצע) |
| מיקרון | 4-10 |
| (צְפִיפוּת) |
| ק"ג/ד"מ3 | >3.14 |
| (נקבוביות לכאורה) |
| Vo1% | <0.5 |
| (קשיות ויקרס) | HV 0.5 | ממוצע ממוצע | 28 |
| *(חוזק כיפוף) | 20 מעלות צלזיוס | MPa | 450 |
| (חוזק דחיסה) | 20 מעלות צלזיוס | MPa | 3900 |
| (מודול אלסטיות) | 20 מעלות צלזיוס | ממוצע ממוצע | 420 |
| (קשיחות שבר) |
| MPa/m'% | 3.5 |
| (מוליכות תרמית) | 20°C | משקל/(מטר*קלוון) | 160 |
| (הִתנַגְדוּת סְגוּלִית) | 20°C | אוהם.ס"מ | 106-108 |
|
| א(טמפרטורה חלשה**...80 מעלות צלזיוס) | K-1*10-6 | 4.3 |
|
|
| מעלות צלזיוס | 1700 |
עם שנים של צבירה טכנית וניסיון בתעשייה, XKH מסוגלת להתאים פרמטרים מרכזיים כגון גודל, שיטת חימום ועיצוב ספיחה בוואקום של הצ'אק בהתאם לצרכים הספציפיים של הלקוח, ובכך להבטיח שהמוצר מותאם בצורה מושלמת לתהליך הלקוח. צ'אקים קרמיים מסיליקון קרביד SiC הפכו למרכיבים הכרחיים בעיבוד פרוסות סיליקון, גידול אפיטקסיאלי ותהליכים מרכזיים אחרים בשל מוליכותם התרמית המעולה, יציבותם בטמפרטורה גבוהה ויציבותם הכימית. במיוחד בייצור חומרי מוליכים למחצה מהדור השלישי כגון SiC ו-GaN, הביקוש לצ'אקים קרמיים מסיליקון קרביד ממשיך לגדול. בעתיד, עם ההתפתחות המהירה של 5G, כלי רכב חשמליים, בינה מלאכותית וטכנולוגיות אחרות, סיכויי היישום של צ'אקים קרמיים מסיליקון קרביד בתעשיית המוליכים למחצה יהיו רחבים יותר.
תרשים מפורט
