קרמיקה קרמיקה מגש קרמיקה כוסות יניקה מדויקות בהתאמה אישית
מאפייני חומר:
1. קשיות גבוהה: קשיות ה- MOHS של קרביד הסיליקון היא 9.2-9.5, שנייה רק ליהלום, עם עמידות בפני שחיקה חזקה.
2. מוליכות תרמית גבוהה: המוליכות התרמית של סיליקון קרביד גבוהה עד 120-200 W/M · K, שיכולה להפריז חום במהירות ומתאימה לסביבת טמפרטורה גבוהה.
3. מקדם התפשטות תרמית נמוכה: מקדם ההתרחבות התרמי של סיליקון קרביד הוא נמוך (4.0-4.5 × 10⁻⁶/k), עדיין יכול לשמור על יציבות ממדית בטמפרטורה גבוהה.
4. יציבות כימית: חומצת סיליקון קרביד ועמידות בפני קורוזיה אלקלי, המתאימה לשימוש בסביבה כימית קורוזיבית.
5. חוזק מכני גבוה: לסיליקון קרביד יש חוזק כיפוף גבוה וכוח דחיסה, ויכול לעמוד במתח מכני גדול.
תכונות:
1. בתעשיית המוליכים למחצה, יש להציב פלים דקים במיוחד על כוס יניקה ואקום, יניקת הוואקום משמשת לתיקון הוופלים, ותהליך השעווה, הדילול, השעווה, הניקיון והחתך מבוצע על הוופלים.
2. לסיליקון קרביד פראייר יש מוליכות תרמית טובה, יכול לקצר ביעילות את זמן השעווה והעווה, ולשפר את יעילות הייצור.
3. פראייר ואקום של סיליקון קרביד יש גם עמידות טובה לחומצה ואלקלי.
4. מרוממים עם צלחת המנשא הקורונדום המסורתית, קיצרים את העמסה והפרוק זמן החימום והקירור, שיפור את יעילות העבודה; יחד עם זאת, זה יכול להפחית את הבלאי בין הלוחות העליונים והתחתונים, לשמור על דיוק מטוס טוב ולהרחיב את חיי השירות בכ- 40%.
5. החלק החומרי הוא קטן וקל משקל. קל יותר למפעילים לשאת משטחים, ולהפחית את הסיכון לנזקי התנגשות הנגרמים כתוצאה מקשיי הובלה בכ- 20%.
6. גודל: קוטר מקסימאלי 640 מ"מ; שטוח: 3UM או פחות
שדה יישום:
1. ייצור מוליכים למחצה
● עיבוד רקיק:
לקיבוע פליקה בפוטוליטוגרפיה, תחריט, תצהיר סרט דק ותהליכים אחרים, ומבטיחים דיוק גבוה ועקביות בתהליכים. התנגדות הטמפרטורה והקורוזיה הגבוהה שלה מתאימה לסביבות ייצור קשות למוליכים למחצה.
● צמיחה אפיטקסיאלית:
בגידול אפיטקסיאלי של SIC או GAN, כמוביל לחיום ולתיקון פלים, ומבטיח אחידות טמפרטורה ואיכות גביש בטמפרטורות גבוהות, ומשפר את ביצועי המכשיר.
2. ציוד פוטו -אלקטרוני
● ייצור LED:
משמש לתיקון מצע ספיר או SIC, וכמוביל חימום בתהליך MOCVD, כדי להבטיח את האחידות של צמיחה אפיטקסיאלית, לשפר את היעילות והאיכות הזוהרת של LED.
● דיודת לייזר:
כמתקן דיוק גבוה, קביעת מצע וחימום כדי להבטיח יציבות טמפרטורת התהליך, שיפורו את כוח הפלט ואת האמינות של דיודת הלייזר.
3. עיבוד דיוק
● עיבוד רכיבים אופטי:
הוא משמש לתיקון רכיבי דיוק כמו עדשות אופטיות ומסננים כדי להבטיח דיוק גבוה וזיהום נמוך במהלך העיבוד, ומתאים לעיבוד שבבי בעצימות גבוהה.
● עיבוד קרמיקה:
כמתקן יציבות גבוה, הוא מתאים לעיבוד דיוק של חומרי קרמיקה כדי להבטיח דיוק עיבוד ועקביות תחת טמפרטורה גבוהה וסביבה מאכלת.
4 ניסויים מדעיים
● ניסוי בטמפרטורה גבוהה:
כמכשיר קיבוע מדגם בסביבות טמפרטורה גבוהה, הוא תומך בניסויים בטמפרטורה קיצונית מעל 1600 מעלות צלזיוס כדי להבטיח אחידות טמפרטורה ויציבות מדגם.
● מבחן ואקום:
כמוביל תיקון וחימום מדגם בסביבת ואקום, כדי להבטיח את הדיוק והוחשבות של הניסוי, המתאימים לציפוי ואקום וטיפול בחום.
מפרטים טכניים ：
| (רכוש חומרי) | (יְחִידָה) | (ssic) | |
| (תוכן SIC) |
| (WT)% | > 99 |
| (גודל התבואה הממוצע) |
| מיקרון | 4-10 |
| (צְפִיפוּת) |
| ק"ג/DM3 | > 3.14 |
| (נקבוביות לכאורה) |
| VO1% | <0.5 |
| (קשיות ויקרס) | HV 0.5 | GPA | 28 |
| *(חוזק גמישות) | 20 מעלות צלזיוס | MPA | 450 |
| (חוזק דחיסה) | 20 מעלות צלזיוס | MPA | 3900 |
| (מודולוס אלסטי) | 20 מעלות צלזיוס | GPA | 420 |
| (קשיחות שבר) |
| Mpa/m '% | 3.5 |
| (מוליכות תרמית) | 20 מעלות צלזיוס | W/(m*k) | 160 |
| (הִתנַגְדוּת סְגוּלִית) | 20 מעלות צלזיוס | OHM.CM | 106-108 |
|
| A (RT ** ... 80 מעלות צלזיוס) | K-1*10-6 | 4.3 |
|
|
| OºC | 1700 |
עם שנים של הצטברות טכנית וניסיון בתעשייה, XKH מסוגל להתאים פרמטרים מרכזיים כמו הגודל, שיטת החימום ועיצוב ספיחת ואקום של הצ'אק בהתאם לצרכים הספציפיים של הלקוח, ומבטיח כי המוצר מותאם באופן מושלם לתהליך הלקוח. SIC סיליקון קרביד קרמיקה קרמיקה הפכו למרכיבים חיוניים בעיבוד רקיק, צמיחה אפיטקסיאלית ותהליכי מפתח אחרים בגלל המוליכות התרמית המצוינת שלהם, יציבות טמפרטורה גבוהה ויציבות כימית. במיוחד בייצור חומרים מוליכים למחצה מהדור השלישי כמו SIC ו- GAN, הביקוש לצ'אקי קרמיקה קרביד סיליקון ממשיך לצמוח. בעתיד, עם התפתחות מהירה של 5G, כלי רכב חשמליים, בינה מלאכותית וטכנולוגיות אחרות, סיכויי היישום של סיליקון קרביד קרמיקה בתעשיית המוליכים למחצה יהיו רחבים יותר.
תרשים מפורט
