זרוע מזלג/אפקטור קצה מקרמיקה SiC – טיפול מדויק מתקדם לייצור מוליכים למחצה
תרשים מפורט
סקירת מוצר
זרוע מזלג הקרמית SiC, המכונה לעתים קרובות אפקטור קצה קרמי, היא רכיב טיפול מדויק בעל ביצועים גבוהים שפותח במיוחד להובלה, יישור ומיקום של פרוסות סיליקון בתעשיות היי-טק, במיוחד בייצור מוליכים למחצה ופוטו-וולטאית. רכיב זה, המיוצר באמצעות קרמיקה מסיליקון קרביד בעלת טוהר גבוה, משלב חוזק מכני יוצא דופן, התפשטות תרמית נמוכה במיוחד ועמידות מעולה בפני הלם תרמי וקורוזיה.
בניגוד לאפקטורים מסורתיים העשויים מאלומיניום, נירוסטה או אפילו קוורץ, אפקטורי קצה קרמיים מ-SiC מציעים ביצועים ללא תחרות בתאי ואקום, חדרים נקיים וסביבות עיבוד קשות, מה שהופך אותם לחלק מרכזי ברובוטים לטיפול בפרוסות ופלים מהדור הבא. עם הביקוש הגובר לייצור ללא זיהום וסבולות הדוק יותר בייצור שבבים, השימוש באפקטורי קצה קרמיים הופך במהירות לסטנדרט בתעשייה.
עקרון הייצור
ייצורו שלאפקטורי קצה קרמיים SiCכולל סדרה של תהליכים מדויקים וטוהר גבוה המבטיחים ביצועים ועמידות כאחד. שני תהליכים עיקריים משמשים בדרך כלל:
סיליקון קרביד קשור בתגובה (RB-SiC)
בתהליך זה, תבנית מקדימה העשויה מאבקת סיליקון קרביד וקלסר עוברת הסתננות עם סיליקון מותך בטמפרטורות גבוהות (כ-1500 מעלות צלזיוס), אשר מגיב עם פחמן שיורי ליצירת חומר מרוכב SiC-Si צפוף וקשיח. שיטה זו מציעה בקרת מימדים מצוינת וחסכונית לייצור בקנה מידה גדול.
סיליקון קרביד מסונטר ללא לחץ (SSiC)
SSiC מיוצר על ידי סינטור של אבקת SiC דקה במיוחד ובעלת טוהר גבוה בטמפרטורות גבוהות במיוחד (מעל 2000 מעלות צלזיוס) ללא שימוש בתוספים או בפאזה מקשרת. התוצאה היא מוצר בעל צפיפות של כמעט 100% ותכונות מכניות ותרמיות גבוהות ביותר הקיימות מבין חומרי SiC. הוא אידיאלי עבור יישומי טיפול בפרוסות סיליקון קריטיות במיוחד.
עיבוד לאחר מכן
-
עיבוד שבבי CNC מדויקמשיג שטוחות ומקבילות גבוהות.
-
גימור פני השטחליטוש יהלום מפחית את חספוס פני השטח ל-<0.02 מיקרומטר.
-
בְּדִיקָהאינטרפרומטריה אופטית, CMM ובדיקות לא הרסניות משמשות לאימות כל פריט.
צעדים אלה מבטיחים כי ה-אפקטור קצה SiCמספק דיוק עקבי במיקום פרוסות, מישוריות מעולה ויצירת חלקיקים מינימלית.
תכונות ויתרונות עיקריים
| תכונה | תֵאוּר |
|---|---|
| קשיות גבוהה במיוחד | קשיות ויקרס > 2500 HV, עמידה בפני שחיקה וסדיקה. |
| התפשטות תרמית נמוכה | CTE ~4.5×10⁻⁶/K, מה שמאפשר יציבות ממדית במחזורי חום. |
| אינרטיות כימית | עמיד בפני HF, HCl, גזי פלזמה וחומרים קורוזיביים אחרים. |
| עמידות מעולה להלם תרמי | מתאים לחימום/קירור מהיר במערכות ואקום ותנור. |
| קשיחות וחוזק גבוהים | תומך בזרועות מזלג שלוחות ארוכות ללא סטייה. |
| פליטת גזים נמוכה | אידיאלי לסביבות ואקום גבוה במיוחד (UHV). |
| מוכן לחדר נקי לפי ISO Class 1 | פעולה ללא חלקיקים מבטיחה את שלמות הוופל. |
יישומים
זרוע המזלג/אפקטור הקצה מקרמיקה SiC נמצאים בשימוש נרחב בתעשיות הדורשות דיוק, ניקיון ועמידות כימית קיצוניים. תרחישי יישום עיקריים כוללים:
ייצור מוליכים למחצה
-
טעינה/פריקה של ופלים במערכות שיקוע (CVD, PVD), איכול (RIE, DRIE) וניקוי.
-
הובלת ופלים רובוטית בין FOUPs, קסטות וכלי תהליך.
-
טיפול בטמפרטורה גבוהה במהלך עיבוד תרמי או חישול.
ייצור תאים פוטו-וולטאיים
-
הובלה עדינה של פרוסות סיליקון שבירות או מצעים סולאריים בקווים אוטומטיים.
תעשיית צגי השטח (FPD)
-
הזזת פאנלים או מצעים גדולים של זכוכית בסביבות ייצור של OLED/LCD.
מוליכים למחצה מורכבים / MEMS
-
משמש בקווי ייצור GaN, SiC ו-MEMS שבהם בקרת זיהום ודיוק מיקום הם קריטיים.
תפקידו כאפקטור הקצה קריטי במיוחד בהבטחת טיפול יציב וללא פגמים במהלך פעולות רגישות.
יכולות התאמה אישית
אנו מציעים התאמה אישית נרחבת כדי לעמוד בדרישות ציוד ותהליכים מגוונות:
-
עיצוב מזלגפריסות דו-שיניים, מרובות אצבעות או מפוצלות.
-
תאימות גודל פרוסהמוופלים בגודל 2 אינץ' עד 12 אינץ'.
-
ממשקי הרכבהתואם לזרועות רובוטיות מקוריות (OEM).
-
עובי וסבילות פני השטחשטיחות ברמת מיקרון ועיגול קצה זמינים.
-
תכונות נגד החלקהמרקמי פני שטח או ציפויים אופציונליים לאחיזה בטוחה של פרוסות סיליקון.
כֹּלאפקטור קצה קרמימתוכנן במשותף עם לקוחות כדי להבטיח התאמה מדויקת עם מינימום שינויים בכלים.
שאלות נפוצות (FAQ)
שאלה 1: במה SiC עדיף על קוורץ עבור יישום אפקטור קצה?
א1:בעוד שקוורץ משמש בדרך כלל בשל טוהרו, הוא חסר קשיחות מכנית ונוטה להישבר תחת עומס או הלם טמפרטורה. SiC מציע חוזק, עמידות בפני שחיקה ויציבות תרמית מעולים, מה שמפחית משמעותית את הסיכון להשבתה ונזק לפרוסת קשקשים.
שאלה 2: האם זרוע המזלג הקרמית הזו תואמת לכל מכונות עיבוד הוופלים הרובוטיות?
א2:כן, אפקטורי הקצה הקרמיים שלנו תואמים לרוב מערכות הטיפול בופלים הגדולות וניתן להתאים אותם לדגמי הרובוטים הספציפיים שלכם בעזרת שרטוטים הנדסיים מדויקים.
שאלה 3: האם הוא יכול להתמודד עם פרוסות 300 מ"מ מבלי להתעוות?
א3:בהחלט. הקשיחות הגבוהה של ה-SiC מאפשרת אפילו לזרועות מזלג דקות וארוכות להחזיק פרוסות 300 מ"מ בצורה בטוחה מבלי לשקוע או לסטות במהלך התנועה.
שאלה 4: מהו אורך חיי השירות האופייני של אפקטור קצה קרמי מ-SiC?
א4:עם שימוש נכון, אפקטור קצה SiC יכול להחזיק מעמד פי 5 עד 10 יותר מדגמים מסורתיים של קוורץ או אלומיניום, הודות לעמידותו המצוינת בפני לחץ תרמי ומכני.
ש 5: האם אתם מציעים שירותי החלפה או ייצור אב טיפוס מהיר?
א5:כן, אנו תומכים בייצור דוגמיות מהיר ומציעים שירותי החלפה המבוססים על שרטוטי CAD או חלקים שעברו הנדסה הפוכה מציוד קיים.
אודותינו
XKH מתמחה בפיתוח, ייצור ומכירה של זכוכית אופטית מיוחדת וחומרי קריסטל חדשים בטכנולוגיה מתקדמת. המוצרים שלנו משמשים לאלקטרוניקה אופטית, מוצרי אלקטרוניקה צרכנית ולצבא. אנו מציעים רכיבים אופטיים מספיר, כיסויי עדשות לטלפונים ניידים, קרמיקה, LT, סיליקון קרביד SIC, קוורץ ופלים גבישיים מוליכים למחצה. עם מומחיות מיומנת וציוד חדשני, אנו מצטיינים בעיבוד מוצרים לא סטנדרטי, ושואפים להיות מפעל היי-טק מוביל בתחום החומרים האופטואלקטרוניים.
