צלחת מגש קרמית SiC גרפיט עם ציפוי CVD SiC לציוד

תיאור קצר:

Shanghai Xinkehui New Materials Co., Ltd מייצרת דיסק תחריט מוליכים למחצה בגודל Φ380 מ"מ–Φ600 מ"מ, דיסק נושאות פרוסות, מגש סיליקון קרביד, מגש SIC, מגש סיליקון קרביד, מגש תחריט ICP, מגש תחריט, מגש סיליקון קרביד טוהר שירות 9%, 99 חיי שירות SIC. הוא פי ארבעה ממגש CVD מבוסס גרפיט, שימוש ארוך טווח ללא דפורמציה, עמיד לחומצה FH, קורוזיה מרוכזת H2So4.

שלח לנו מייל

פירוט המוצר

תגיות מוצר

קרמיקה של סיליקון קרביד אינה משמשת רק בשלב שיקוע הסרט הדק, כגון אפיטקסיה או MOCVD, או בעיבוד פרוסות, שבמרכזו נחשפים לראשונה מגשי נושאי הפרוסים עבור MOCVD לסביבת השקיעה, ולכן הם עמידים מאוד בפני חום וקורוזיה.לנשאים מצופים SiC יש גם מוליכות תרמית גבוהה ותכונות חלוקה תרמית מצוינות.

מנשאי פרוסות סיליקון קרביד (CVD SiC) Pure Chemical Vapor Deposition לעיבוד מתכת אורגנית כימית בטמפרטורה גבוהה (MOCVD).

מנשאי פרוסות CVD SiC טהורים עדיפים באופן משמעותי על מנשאי הפרוסות הקונבנציונליים המשמשים בתהליך זה, שהם גרפיט ומצופים בשכבה של CVD SiC.הנשאים המצופים על בסיס גרפיט אינם יכולים לעמוד בטמפרטורות הגבוהות (1100 עד 1200 מעלות צלזיוס) הנדרשות לתצהיר GaN של LED בהירות כחול לבן של היום.הטמפרטורות הגבוהות גורמות לציפוי לפתח חורים זעירים שדרכם כימיקלים בתהליך שוחקים את הגרפיט שמתחתיו.חלקיקי הגרפיט מתקלפים ומזהמים את ה-GaN, מה שגורם להחלפת מנשא הפרוסות המצופה.

ל-CVD SiC טוהר של 99.999% או יותר ובעל מוליכות תרמית גבוהה ועמידות בפני זעזועים תרמיים.לכן, הוא יכול לעמוד בטמפרטורות הגבוהות ובסביבות הקשות של ייצור LED בהירות גבוהה.זהו חומר מונוליטי מוצק המגיע לצפיפות תיאורטית, מייצר חלקיקים מינימליים ומציג עמידות גבוהה מאוד בפני קורוזיה ושחיקה.החומר יכול לשנות אטימות ומוליכות מבלי להכניס זיהומים מתכתיים.קוטר של מנשאי רקיק בדרך כלל הוא 17 אינץ' ויכולים להכיל עד 40 פרוסות בגודל 2-4 אינץ'.