צלחת מגש קרמית SiC גרפיט עם ציפוי CVD SiC לציוד

קרמיקה מסיליקון קרביד אינה משמשת רק בשלב שיקוע שכבה דקה, כגון אפיטקסיה או MOCVD, או בעיבוד פרוסות סיליקון, שבליבו מגשי נושאי פרוסות סיליקון עבור MOCVD נחשפים תחילה לסביבת השיקוע, ולכן הם עמידים מאוד בפני חום וקורוזיה. לנשאים מצופים SiC יש גם מוליכות תרמית גבוהה ותכונות פיזור תרמי מצוינות.

נשאי פרוסות סיליקון קרביד (CVD SiC) לשקיעת אדים כימית טהורה לעיבוד שקיעת אדים כימית אורגנית מתכתית (MOCVD) בטמפרטורה גבוהה.

נשאי פרוסות SiC טהורים מסוג CVD עדיפים משמעותית על נשאי פרוסות קונבנציונליים המשמשים בתהליך זה, שהם גרפיט ומצופים בשכבת CVD SiC. נשאים מצופים אלה מבוססי גרפיט אינם יכולים לעמוד בטמפרטורות הגבוהות (1100 עד 1200 מעלות צלזיוס) הנדרשות לשקיעת GaN של נורות הלד הכחולות והלבנות הבהירות ביותר של ימינו. הטמפרטורות הגבוהות גורמות לציפוי לפתח חורים זעירים שדרכם כימיקלים בתהליך שוחקים את הגרפיט שמתחת. חלקיקי הגרפיט מתקלפים ומזהמים את ה-GaN, מה שגורם להחלפת נשא הפרוסה המצופה.

ל-CVD SiC יש טוהר של 99.999% ומעלה, מוליכות תרמית גבוהה ועמידות בפני זעזועים תרמיים. לכן, הוא יכול לעמוד בטמפרטורות גבוהות ובסביבות קשות של ייצור LED בהירות גבוהה. זהו חומר מונוליטי מוצק שמגיע לצפיפות תיאורטית, מייצר חלקיקים מינימליים ומציג עמידות גבוהה מאוד בפני קורוזיה ושחיקה. החומר יכול לשנות אטימות ומוליכות מבלי להכניס זיהומים מתכתיים. נושאי פרוסות הם בדרך כלל בקוטר 17 אינץ' ויכולים להכיל עד 40 פרוסות פרוסות בגודל 2-4 אינץ'.