משוט קנטיליבר סיליקון קרביד (משוט קנטיליבר SiC)

תיאור קצר:

שלחו לנו אימייל

תכונות

תרשים מפורט

סקירת מוצר

משוט שלוחה מסיליקון קרביד, המיוצר מסיליקון קרביד בעל ביצועים גבוהים הקשורים לתגובה (RBSiC), הוא רכיב קריטי המשמש במערכות טעינה וטיפול בפרוסות סיליקון עבור יישומים מוליכים למחצה ופוטו-וולטאיים.
בהשוואה למחוטי קוורץ או גרפיט מסורתיים, משוטי קנטיליבר SiC מציעים חוזק מכני מעולה, קשיות גבוהה, התפשטות תרמית נמוכה ועמידות יוצאת דופן בפני קורוזיה. הם שומרים על יציבות מבנית מצוינת בטמפרטורות גבוהות, עומדים בדרישות המחמירות של גדלי פרוסות גדולים, חיי שירות ארוכים וזיהום נמוך במיוחד.

עם הפיתוח המתמשך של תהליכי מוליכים למחצה לעבר קוטר פרוסות גדול יותר, תפוקה גבוהה יותר וסביבות עיבוד נקיות יותר, משוטים שלוחים של SiC החליפו בהדרגה חומרים קונבנציונליים, והפכו לבחירה המועדפת עבור תנורי דיפוזיה, LPCVD וציוד טמפרטורה גבוהה קשור.

תכונות מוצר

יציבות מעולה בטמפרטורה גבוהה
- פועל בצורה אמינה בטמפרטורה של 1000–1300 ℃ ללא עיוות.
- טמפרטורת שירות מקסימלית עד 1380 ℃.
קיבולת נשיאת עומס גבוהה
- חוזק כיפוף עד 250–280 מגה פסקל, גבוה בהרבה ממשוטים מקוורץ.
- מסוגל לטפל בפרוסות בקוטר גדול (300 מ"מ ומעלה).
חיי שירות ארוכים ותחזוקה נמוכה
- מקדם התפשטות תרמית נמוך (4.5 × 10⁻⁶ K⁻¹), מתאים היטב לחומרי ציפוי LPCVD.
- מפחית סדקים וקילוף הנגרמים כתוצאה מלחץ, ומאריך משמעותית את מחזורי הניקוי והתחזוקה.
עמידות בפני קורוזיה וטוהר
- עמידות מצוינת לחומצות ואלקליות.
- מיקרו-מבנה צפוף עם נקבוביות פתוחה <0.1%, הממזער יצירת חלקיקים ושחרור זיהומים.
עיצוב תואם אוטומציה
- גיאומטריה חתך יציבה עם דיוק מימדי גבוה.
- משתלב בצורה חלקה עם מערכות רובוטיות לטעינה ופריקה של ופלים, ומאפשר ייצור אוטומטי לחלוטין.

תכונות פיזיקליות וכימיות

פָּרִיט	יְחִידָה	נְתוּנִים
טמפרטורת שירות מקסימלית	℃	1380
צְפִיפוּת	גרם/סמ"ק	3.04 – 3.08
נקבוביות פתוחה	%	< 0.1
חוזק כיפוף	MPa	250 (20℃), 280 (1200℃)
מודול האלסטיות	ממוצע ממוצע	330 (20℃), 300 (1200℃)
מוליכות תרמית	משקל/מ⁻קל	45 (1200 מעלות צלזיוס)
מקדם התפשטות תרמית	K⁻¹×10⁻⁶	4.5
קשיות ויקרס	HV2	≥ 2100
עמידות בפני חומצה/בסיס	-	מְעוּלֶה

אורכים סטנדרטיים:2378 מ"מ, 2550 מ"מ, 2660 מ"מ
מידות מותאמות אישית זמינות לפי בקשה

יישומים

תעשיית המוליכים למחצה
- LPCVD (שקיעת אדים כימית בלחץ נמוך)
- תהליכי דיפוזיה (זרחן, בורון וכו')
- חמצון תרמי
תעשייה פוטו-וולטאית
- דיפוזיה וציפוי של פרוסות פוליסיליקון ומונוקריסטליות
- חישול ופסיבציה בטמפרטורה גבוהה
שדות אחרים
- סביבות קורוזיביות בטמפרטורה גבוהה
- מערכות טיפול מדויקות בופלים הדורשות חיי שירות ארוכים וזיהום נמוך

יתרונות הלקוח

עלויות תפעול מופחתות– אורך חיים ארוך יותר בהשוואה למחוטי קוורץ, מה שממזער את זמן ההשבתה ותדירות ההחלפה.
תשואה גבוהה יותר– זיהום נמוך במיוחד מבטיח ניקיון פני השטח של פרוסות המזון ומפחית את שיעורי הפגמים.
עמיד לעתיד– תואם לגדלי פרוסות גדולים ולתהליכי מוליכים למחצה מהדור הבא.
פרודוקטיביות משופרת– תאימות מלאה למערכות אוטומציה רובוטיות, התומכות בייצור בנפח גבוה.

שאלות נפוצות - משוט קנטיליבר מסיליקון קרביד

שאלה 1: מהי משוט קנטיליבר מסיליקון קרביד?
א: זהו רכיב תמיכה וטיפול בפרוסות סיליקון העשוי מסיליקון קרביד קשור בתגובה (RBSiC). הוא נמצא בשימוש נרחב בתנורי דיפוזיה, LPCVD, ותהליכים פוטו-וולטאיים ותהליכים אחרים בטמפרטורה גבוהה של מוליכים למחצה.

שאלה 2: מדוע לבחור ב-SiC על פני משוטי קוורץ?
א: בהשוואה למחוטי קוורץ, משוטי SiC מציעים:

חוזק מכני ויכולת נשיאת עומס גבוהים יותר
יציבות תרמית טובה יותר בטמפרטורות של עד 1380 ℃
חיי שירות ארוכים בהרבה ומחזורי תחזוקה קצרים יותר
סיכון נמוך יותר לייצור חלקיקים ולזיהום
תאימות עם גדלי פרוסות גדולים יותר (300 מ"מ ומעלה)

שאלה 3: אילו גדלי פרוסות סיליקון יכולות לתמוך במשוט הקנטיליבר של SiC?
א: משוטים סטנדרטיים זמינים עבור מערכות תנור של 2378 מ"מ, 2550 מ"מ ו-2660 מ"מ. מידות מותאמות אישית זמינות לתמיכה בפרוסות ופלים עד 300 מ"מ ומעלה.

אודותינו

XKH מתמחה בפיתוח, ייצור ומכירה של זכוכית אופטית מיוחדת וחומרי קריסטל חדשים בטכנולוגיה מתקדמת. המוצרים שלנו משמשים לאלקטרוניקה אופטית, מוצרי אלקטרוניקה צרכנית ולצבא. אנו מציעים רכיבים אופטיים מספיר, כיסויי עדשות לטלפונים ניידים, קרמיקה, LT, סיליקון קרביד SIC, קוורץ ופלים גבישיים מוליכים למחצה. עם מומחיות מיומנת וציוד חדשני, אנו מצטיינים בעיבוד מוצרים לא סטנדרטי, ושואפים להיות מפעל היי-טק מוביל בתחום החומרים האופטואלקטרוניים.