זרוע/יד מזלג קרמי מסיליקון קרביד
תרשים מפורט
הצגת זרוע/יד מזלג קרמי מסיליקון קרביד
הזרוע/יד מזלג קרמי מסיליקון קרבידהוא רכיב טיפול מתקדם שפותח עבור מערכות אוטומציה מדויקות, במיוחד בתעשיות המוליכים למחצה והאופטיקה. רכיב זה כולל עיצוב ייחודי בצורת U המותאם לטיפול בפרוסות סיליקון, ומבטיח הן חוזק מכני והן דיוק ממדי בתנאי סביבה קיצוניים. הרכיב, העשוי מקרמיקה מסיליקון קרביד בעלת טוהר גבוה,זרוע/יד המזלגמספק קשיחות יוצאת דופן, יציבות תרמית ועמידות כימית.
ככל שהתקני מוליכים למחצה מתפתחים לעבר גיאומטריות עדינות יותר וסבילות צמודות יותר, הדרישה לרכיבים נטולי זיהום ויציבים תרמית הופכת קריטית.זרוע/יד מזלג קרמי מסיליקון קרבידעונה על אתגר זה על ידי הצעת ייצור חלקיקים נמוך, משטחים חלקים במיוחד ושלמות מבנית חזקה. בין אם בהובלת פרוסות סיליקון, מיקום מצעים או ראשי כלים רובוטיים, רכיב זה תוכנן לאמינות ואריכות ימים.
סיבות עיקריות לבחירה זוזרוע/יד מזלג קרמי מסיליקון קרבידלִכלוֹל:
-
התפשטות תרמית מינימלית לדיוק ממדי
-
קשיות גבוהה לחיי שירות ארוכים
-
עמידות בפני חומצות, בסיסים וגזים ריאקטיביים
-
תאימות עם סביבות חדרים נקיים לפי ISO Class 1
עקרון הייצור של זרוע/יד מזלג קרמית מסיליקון קרביד
הזרוע/יד מזלג קרמי מסיליקון קרבידמיוצר באמצעות תהליך עבודה קרמי מבוקר ביותר שנועד להבטיח תכונות חומר מעולות ועקביות ממדית.
1. הכנת אבקה
התהליך מתחיל בבחירת אבקות סיליקון קרביד עדינות במיוחד. אבקות אלו מעורבבות עם חומרי קשירה ועזרי סינטור כדי להקל על דחיסה וצפיפות. לשם כךזרוע/יד המזלג, אבקות β-SiC או α-SiC משמשות כדי להבטיח גם קשיות וגם קשיחות.
2. עיצוב ועיצוב מקדים
בהתאם למורכבות של ה-זרוע/יד המזלגבתכנון, החלק מעוצב באמצעות כבישה איזוסטטית, הזרקה או יציקה חלקית. זה מאפשר גיאומטריות מורכבות ומבנים בעלי דופן דקה, קריטיים לאופי הקל שלזרוע/יד מזלג קרמי מסיליקון קרביד.
3. סינטור בטמפרטורה גבוהה
סינטור מתבצע בטמפרטורות מעל 2000 מעלות צלזיוס בוואקום או באטמוספרות ארגון. שלב זה הופך את הגוף הירוק לרכיב קרמי דחוס לחלוטין.זרוע/יד המזלגמשיג צפיפות כמעט תיאורטית, ומספק תכונות מכניות ותרמיות יוצאות דופן.
4. עיבוד שבבי מדויק
לאחר הסינטור, הזרוע/יד מזלג קרמי מסיליקון קרבידעובר ליטוש יהלום ועיבוד שבבי CNC. זה מבטיח שטוחות של ±0.01 מ"מ ומאפשר הכללת חורי הרכבה ומאפייני מיקום קריטיים להתקנתו במערכות אוטומטיות.
5. גימור פני השטח
ליטוש מפחית את חספוס פני השטח (Ra < 0.02 מיקרומטר), חיוני להפחתת יצירת חלקיקים. ניתן ליישם ציפויי CVD אופציונליים כדי לשפר את עמידות הפלזמה או להוסיף פונקציונליות כגון התנהגות אנטי-סטטית.
לאורך כל תהליך זה, מיושמים פרוטוקולי בקרת איכות כדי להבטיח אתזרוע/יד מזלג קרמי מסיליקון קרבידמתפקד בצורה אמינה ביישומים הרגישים ביותר.
פרמטרים של זרוע/יד מזלג קרמית מסיליקון קרביד
| מפרטים עיקריים של ציפוי CVD-SIC | ||
| תכונות SiC-CVD | ||
| מבנה גבישי | שלב β של FCC | |
| צְפִיפוּת | גרם/סמ"ק | 3.21 |
| קַשִׁיוּת | קשיות ויקרס | 2500 |
| גודל גרגר | מיקרומטר | 2~10 |
| טוהר כימי | % | 99.99995 |
| קיבולת חום | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| טמפרטורת סובלימציה | ℃ | 2700 |
| חוזק פלקסורלי | MPa (RT 4 נקודות) | 415 |
| מודול יאנג | GPA (כיפוף של 4 נקודות, 1300 מעלות צלזיוס) | 430 |
| התפשטות תרמית (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| מוליכות תרמית | (וואט/מ"ל קלווין) | 300 |
יישומים של זרוע/יד מזלג קרמית מסיליקון קרביד
הזרוע/יד מזלג קרמי מסיליקון קרבידנמצא בשימוש נרחב בתעשיות בהן טוהר גבוה, יציבות ודיוק מכני חיוניים. אלה כוללים:
1. ייצור מוליכים למחצה
בייצור מוליכים למחצה, ה-זרוע/יד מזלג קרמי מסיליקון קרבידמשמש להובלת פרוסות סיליקון בתוך כלי תהליך כגון תאי איכול, מערכות שיקוע וציוד בדיקה. עמידותו התרמית ודיוקו הממדים הופכים אותו לאידיאלי למזעור חוסר יישור וזיהום של פרוסות סיליקון.
2. ייצור פאנלים לתצוגה
בייצור צגי OLED ו-LCD, ה-זרוע/יד המזלגמיושם במערכות איסוף-הצבה, בהן הוא מטפל במצעי זכוכית שבירים. המסה הנמוכה שלו והקשיחות הגבוהה שלו מאפשרות תנועה מהירה ויציבה ללא רעידות או סטייה.
3. מערכות אופטיות ופוטוניות
לצורך יישור ומיקום של עדשות, מראות או שבבים פוטוניים, ה-זרוע/יד מזלג קרמי מסיליקון קרבידמציע תמיכה ללא רעידות, קריטית בעיבוד לייזר ויישומי מטרולוגיה מדויקת.
4. מערכות חלל ווואקום
במערכות אופטיות בחלל ובמכשירי ואקום, המבנה הלא מגנטי והעמיד בפני קורוזיה של רכיב זה מבטיח יציבות לטווח ארוך.זרוע/יד המזלגיכול לפעול גם בוואקום גבוה במיוחד (UHV) ללא פליטת גזים.
בכל התחומים הללו, ה-זרוע/יד מזלג קרמי מסיליקון קרבידעולה בביצועיו על חלופות מתכת או פולימר מסורתיות באמינות, ניקיון וחיי שירות.
שאלות נפוצות של זרוע/יד מזלג קרמי מסיליקון קרביד
שאלה 1: אילו גדלי פרוסות נתמכים על ידי זרוע/יד המזלג הקרמית מסיליקון קרביד?
הזרוע/יד המזלגניתן להתאים אישית את המוצר לתמיכה בפרוסות של 150 מ"מ, 200 מ"מ ו-300 מ"מ. ניתן להתאים את מוטת המזלג, רוחב הזרוע ודפוסי החורים לפלטפורמת האוטומציה הספציפית שלך.
שאלה 2: האם זרוע/יד המזלג מסיליקון קרביד קרמי תואמת למערכות ואקום?
כן. הזרוע/יד המזלגמתאים הן למערכות ואקום נמוך והן למערכות ואקום גבוה במיוחד. יש לו קצב פליטת גזים נמוך והוא אינו משחרר חלקיקים, מה שהופך אותו לאידיאלי לחדרים נקיים ולסביבות ואקום.
שאלה 3: האם ניתן להוסיף ציפויים או שינויים במשטח לזרוע/יד המזלג?
בוודאי. הזרוע/יד מזלג קרמי מסיליקון קרבידניתן לצפות בשכבות CVD-SiC, פחמן או תחמוצת כדי לשפר את עמידות הפלזמה, תכונות האנטי-סטטיות או קשיות פני השטח.
שאלה 4: כיצד מאומתת איכות זרוע/יד המזלג?
כֹּלזרוע/יד מזלג קרמי מסיליקון קרבידעובר בדיקה ממדית באמצעות כלי CMM ולייזר. איכות פני השטח מוערכת באמצעות SEM ופרופילומטריה ללא מגע כדי לעמוד בתקני ISO ו-SEMI.
שאלה 5: מהו זמן ההובלה להזמנות מזלג/יד בהתאמה אישית?
זמן האספקה נע בדרך כלל בין 3 ל-5 שבועות, בהתאם למורכבות ולכמות. ייצור מהיר של אב טיפוס זמין לבקשות דחופות.
שאלות נפוצות אלו נועדו לסייע למהנדסים ולצוותי רכש להבין את היכולות והאפשרויות הזמינות בעת בחירתזרוע/יד מזלג קרמי מסיליקון קרביד.
אודותינו
XKH מתמחה בפיתוח, ייצור ומכירה של זכוכית אופטית מיוחדת וחומרי קריסטל חדשים בטכנולוגיה מתקדמת. המוצרים שלנו משמשים לאלקטרוניקה אופטית, מוצרי אלקטרוניקה צרכנית ולצבא. אנו מציעים רכיבים אופטיים מספיר, כיסויי עדשות לטלפונים ניידים, קרמיקה, LT, סיליקון קרביד SIC, קוורץ ופלים גבישיים מוליכים למחצה. עם מומחיות מיומנת וציוד חדשני, אנו מצטיינים בעיבוד מוצרים לא סטנדרטי, ושואפים להיות מפעל היי-טק מוביל בתחום החומרים האופטואלקטרוניים.
