מגש קרמי מסיליקון קרביד, אספקת צינורות קרמיים מסיליקון קרביד, עיבוד מותאם אישית של סינטור בטמפרטורה גבוהה
תכונות עיקריות:
1. מגש קרמי מסיליקון קרביד
- קשיות ועמידות גבוהות בפני שחיקה: הקשיות קרובה ליהלום, ויכולה לעמוד בפני שחיקה מכנית בעיבוד פרוסות במשך זמן רב.
- מוליכות תרמית גבוהה ומקדם התפשטות תרמית נמוך: פיזור חום מהיר ויציבות ממדית, תוך הימנעות מעיוות הנגרם על ידי לחץ תרמי.
- שטוחות וגימור פני שטח גבוהים: שטוחות פני השטח מגיעה עד לרמת מיקרון, מה שמבטיח מגע מלא בין הוופל לדיסק, ומפחית זיהום ונזק.
יציבות כימית: עמידות חזקה בפני קורוזיה, מתאימה לתהליכי ניקוי רטובים וחריטה בייצור מוליכים למחצה.
2. צינור קרמי מסיליקון קרביד
- עמידות בטמפרטורה גבוהה: זה יכול לעבוד בסביבה בטמפרטורה גבוהה מעל 1600 מעלות צלזיוס למשך זמן רב, מתאים לתהליך בטמפרטורה גבוהה של מוליכים למחצה.
עמידות מעולה בפני קורוזיה: עמיד בפני חומצות, אלקליות ומגוון ממסים כימיים, מתאים לסביבות תהליך קשות.
- קשיות גבוהה ועמידות בפני שחיקה: עמידות בפני שחיקת חלקיקים ובלאי מכני, מאריכות את חיי השירות.
- מוליכות תרמית גבוהה ומקדם התפשטות תרמית נמוך: הולכת חום מהירה ויציבות ממדית, הפחתת עיוות או סדקים הנגרמים כתוצאה ממאמץ תרמי.
פרמטר מוצר:
פרמטר מגש קרמי מסיליקון קרביד:
| (תכונה חומרית) | (יְחִידָה) | (ssic) | |
| (תכולת SiC) | (משקל)% | >99 | |
| (גודל גרגר ממוצע) | מיקרון | 4-10 | |
| (צְפִיפוּת) | ק"ג/ד"מ3 | >3.14 | |
| (נקבוביות לכאורה) | Vo1% | <0.5 | |
| (קשיות ויקרס) | HV 0.5 | ממוצע ממוצע | 28 |
| *() חוזק כיפוף* (שלוש נקודות) | 20 מעלות צלזיוס | MPa | 450 |
| (חוזק דחיסה) | 20 מעלות צלזיוס | MPa | 3900 |
| (מודול אלסטיות) | 20 מעלות צלזיוס | ממוצע ממוצע | 420 |
| (קשיחות שבר) | MPa/m'% | 3.5 | |
| (מוליכות תרמית) | 20°C | משקל/(מטר*קלוון) | 160 |
| (הִתנַגְדוּת סְגוּלִית) | 20°C | אוהם.ס"מ | 106-108 |
(מקדם התפשטות תרמית) | א(טמפרטורה חלשה**...80 מעלות צלזיוס) | K-1*10-6 | 4.3 |
(טמפרטורת הפעלה מקסימלית) | מעלות צלזיוס | 1700 | |
פרמטר צינור קרמי מסיליקון קרביד:
| פריטים | מַדָד |
| α-SIC | 99% מינימום |
| נקבוביות לכאורה | 16% מקסימום |
| צפיפות נפח | 2.7 גרם/סמ"ק דקות |
| חוזק כיפוף בטמפרטורה גבוהה | 100 מגה-פסקל דקות |
| מקדם התפשטות תרמית | K-1 4.7x10 -6 |
| מקדם מוליכות תרמית (1400 מעלות צלזיוס) | 24 וואט/מילי-קו |
| טמפרטורת עבודה מקסימלית | 1650 מעלות צלזיוס |
יישומים עיקריים:
1. לוחית קרמיקה מסיליקון קרביד
- חיתוך וליטוש פרוסות: משמש כפלטפורמת מיסב כדי להבטיח דיוק ויציבות גבוהים במהלך החיתוך והליטוש.
- תהליך ליתוגרפיה: הוופל מקובע במכונת הליתוגרפיה כדי להבטיח מיקום מדויק במיוחד במהלך החשיפה.
- ליטוש כימי-מכני (CMP): משמש כפלטפורמת תמיכה לרפידות ליטוש, ומספק לחץ אחיד ופיזור חום.
2. צינור קרמי מסיליקון קרביד
- צינור תנור בטמפרטורה גבוהה: משמש לציוד בטמפרטורה גבוהה כגון תנור דיפוזיה ותנור חמצון לנשיאת ופלים לטיפול בתהליך בטמפרטורה גבוהה.
- תהליך CVD/PVD: כצינור מיסב בתא התגובה, עמיד לטמפרטורות גבוהות ולגזים קורוזיביים.
- אביזרים לציוד מוליכים למחצה: עבור מחליפי חום, צינורות גז וכו', לשיפור יעילות ניהול התרמי של הציוד.
XKH מציעה מגוון רחב של שירותים בהתאמה אישית עבור מגשי קרמיקה מסיליקון קרביד, כוסות יניקה וצינורות קרמיקה מסיליקון קרביד. מגשי קרמיקה מסיליקון קרביד וכוסות יניקה, ניתן להתאים אישית את XKH בהתאם לדרישות הלקוח בגדלים, צורות וחספוס פני שטח שונים, ולתמוך בטיפול ציפוי מיוחד, לשיפור עמידות בפני שחיקה ועמידות בפני קורוזיה; עבור צינורות קרמיקה מסיליקון קרביד, XKH יכולה להתאים אישית מגוון של קוטר פנימי, קוטר חיצוני, אורך ומבנים מורכבים (כגון צינור מעוצב או צינור נקבובי), ולספק ליטוש, ציפוי נוגד חמצון ותהליכי טיפול פני שטח אחרים. XKH מבטיחה שלקוחות יוכלו לנצל באופן מלא את יתרונות הביצועים של מוצרי קרמיקה מסיליקון קרביד כדי לעמוד בדרישות התובעניות של תחומי ייצור מתקדמים כגון מוליכים למחצה, נוריות LED ופוטו-וולטאיות.
תרשים מפורט
