סיליקון קרביד מגש קרמיקה פראייר סיליקון קרביד צינור קרמיקה אספקת טמפרטורה גבוהה סינון עיבוד מותאם אישית
תכונות עיקריות:
1. מגש קרמיקה סיליקון קרביד
- קשיות גבוהה ועמידות בלאי: הקשיות קרובה ליהלום, ויכולה לעמוד בלאי מכני בעיבוד רקיק במשך זמן רב.
- מוליכות תרמית גבוהה ומקדם התפשטות תרמית נמוכה: פיזור חום מהיר ויציבות ממדית, הימנעות מעיוות הנגרם כתוצאה מלחץ תרמי.
- שטוח גבוה וגימור פני השטח: שטחות פני השטח עומדת לרמת המיקרון, ומבטיחה מגע מלא בין הוופל לדיסק, ומפחיתה את הזיהום והנזק.
יציבות כימית: עמידות בפני קורוזיה חזקה, המתאימה לניקוי רטוב ותהליכי תחריט בייצור מוליכים למחצה.
2. צינור קרמיקה סיליקון קרביד
- התנגדות לטמפרטורה גבוהה: היא יכולה לעבוד בסביבת טמפרטורה גבוהה מעל 1600 מעלות צלזיוס למשך זמן רב, המתאימה לתהליך טמפרטורה גבוהה של מוליכים למחצה.
עמידות בפני קורוזיה מעולה: עמידה בפני חומצות, אלקאליס ומגוון ממסים כימיים, המתאימים לסביבות תהליכים קשות.
- קשיות גבוהה ועמידות בלאי: התנגדו לשחיקת חלקיקים וללאי מכני, הרחיבו את חיי השירות.
- מוליכות תרמית גבוהה ומקדם נמוך של התפשטות תרמית: הולכה מהירה של חום ויציבות ממדית, הפחתת עיוות או סדק הנגרם כתוצאה ממתח תרמי.
פרמטר מוצר ：
פרמטר מגש קרמיקה סיליקון קרביד:
| (רכוש חומרי) | (יְחִידָה) | (ssic) | |
| (תוכן SIC) | (WT)% | > 99 | |
| (גודל התבואה הממוצע) | מיקרון | 4-10 | |
| (צְפִיפוּת) | ק"ג/DM3 | > 3.14 | |
| (נקבוביות לכאורה) | VO1% | <0.5 | |
| (קשיות ויקרס) | HV 0.5 | GPA | 28 |
| *() חוזק גמישות* (שלוש נקודות) | 20 מעלות צלזיוס | MPA | 450 |
| (חוזק דחיסה) | 20 מעלות צלזיוס | MPA | 3900 |
| (מודולוס אלסטי) | 20 מעלות צלזיוס | GPA | 420 |
| (קשיחות שבר) | Mpa/m '% | 3.5 | |
| (מוליכות תרמית) | 20 מעלות צלזיוס | W/(m*k) | 160 |
| (הִתנַגְדוּת סְגוּלִית) | 20 מעלות צלזיוס | OHM.CM | 106-108 |
(מקדם התפשטות תרמית) | A (RT ** ... 80 מעלות צלזיוס) | K-1*10-6 | 4.3 |
(טמפרטורת הפעלה מקסימאלית) | OºC | 1700 | |
פרמטר צינור קרמיקה סיליקון קרביד:
| פריטים | מַדָד |
| α-SIC | 99% דקות |
| נקבוביות לכאורה | 16% מקסימום |
| צפיפות בתפזורת | 2.7 גרם/ס"מ 3 דקות |
| כוח כיפוף בטמפרטורה גבוהה | 100 MPa Min |
| מקדם הרחבה תרמית | K -1 4.7x10 -6 |
| מקדם מוליכות תרמית (1400 מעלות צלזיוס) | 24 W/MK |
| מקס. טמפרטורת עבודה | 1650 מעלות צלזיוס |
יישומים עיקריים:
1. צלחת קרמיקה של סיליקון קרביד
- חיתוך וושלש פליקה: משמש כפלטפורמת מיסב כדי להבטיח דיוק ויציבות גבוהים במהלך חיתוך וטיוס.
- תהליך ליטוגרפיה: הוופל קבוע במכונת הליטוגרפיה כדי להבטיח מיקום דיוק גבוה במהלך החשיפה.
- ליטוש מכני כימי (CMP): משמש כפלטפורמת תמיכה לרפידות ליטוש, ומספק לחץ אחיד וחלוקת חום.
2. צינור קרמיקה סיליקון קרביד
- צינור תנור טמפרטורה גבוהה: משמש לציוד טמפרטורה גבוהה כמו תנור דיפוזיה ותנור חמצון כדי לשאת פלים לטיפול בתהליך טמפרטורה גבוהה.
- תהליך CVD/PVD: כצינור מיסב בתא התגובה, עמיד לטמפרטורות גבוהות וגזים מאכלים.
- אביזרי ציוד מוליכים למחצה: למחליפי חום, צינורות גז וכו ', כדי לשפר את יעילות הניהול התרמית של הציוד.
XKH מציעה מגוון מלא של שירותים מותאמים אישית למגשי קרמיקה קרביד סיליקון, כוסות יניקה וצינורות קרמיקה קרביד סיליקון. מגשי קרמיקה של סיליקון קרביד וכוסות יניקה, ניתן להתאים אישית XKH בהתאם לדרישות הלקוח בגדלים שונים, צורות וחספוס פני השטח, ולתמוך בטיפול ציפוי מיוחד, משפר את עמידות הבלאי ועמידות בפני קורוזיה; עבור צינורות קרמיקה של קרביד סיליקון, XKH יכול להתאים אישית מגוון של קוטר פנימי, קוטר חיצוני, אורך ומבנה מורכב (כמו צינור בצורת או צינור נקבובי), ולספק ליטוש, ציפוי נגד חמצון ותהליכי טיפול משטח אחרים. XKH מבטיח שלקוחות יוכלו לנצל את מלוא היתרונות הביצועים של מוצרי קרמיקה של סיליקון קרביד כדי לעמוד בדרישות התובעניות של שדות ייצור מתקדמים כמו מוליכים למחצה, נוריות LED ופוטו-וולטא.
תרשים מפורט
