מכונת חיתוך חוטי יהלום סיליקון קרביד 4/6/8/12 אינץ' עיבוד מטילי SiC

תיאור קצר:

מכונת חיתוך חוטי יהלום מסיליקון קרביד היא סוג של ציוד עיבוד מדויק ביותר המוקדש לחתיכת מטילי סיליקון קרביד (SiC), המשתמש בטכנולוגיית מסור חוטי יהלום, דרך חיתוך חוטי יהלום במהירות גבוהה (קוטר קו 0.1~0.3 מ"מ) לחיתוך רב-חוטי של מטילי SiC, כדי להשיג הכנת פרוסות סיליקון מדויקת וקלה לנזק. הציוד נמצא בשימוש נרחב בעיבוד מוליכים למחצה להספק SiC (MOSFET/SBD), התקני תדר רדיו (GaN-on-SiC) ועיבוד מצעים של התקנים אופטואלקטרוניים, והוא ציוד מפתח בשרשרת תעשיית ה-SiC.

שלחו לנו אימייל

תכונות

עקרון עבודה:

1. קיבוע מטיל: מטיל SiC (4H/6H-SiC) מקובע על משטח החיתוך באמצעות מתקן כדי להבטיח את דיוק המיקום (±0.02 מ"מ).

2. תנועת קו היהלום: קו היהלום (חלקיקי יהלום מצופים על פני השטח) מונע על ידי מערכת גלגלי ההדרכה למחזור במהירות גבוהה (מהירות קו 10 ~ 30 מטר/שנייה).

3. הזנת חיתוך: המטיל מוזן לאורך הכיוון שנקבע, וקו היהלום נחתך בו זמנית עם קווים מקבילים מרובים (100 ~ 500 קווים) ליצירת פרוסות מרובות.

4. קירור והסרת שבבים: רססו נוזל קירור (מים מזוקקים + תוספים) באזור החיתוך כדי להפחית נזקי חום ולהסיר שבבים.

פרמטרים מרכזיים:

1. מהירות חיתוך: 0.2~1.0 מ"מ/דקה (בהתאם לכיוון הגביש ועובי ה-SiC).

2. מתח קו: 20~50N (גבוה מדי וקל לשבירת קו, נמוך מדי משפיע על דיוק החיתוך).

3. עובי פרוסות: סטנדרטי 350 ~ 500 מיקרומטר, פרוסות יכולות להגיע ל-100 מיקרומטר.

תכונות עיקריות:

(1) דיוק חיתוך
סבילות עובי: ±5 מיקרון (@350 מיקרון פרוסה), טוב יותר מחיתוך טיט קונבנציונלי (±20 מיקרון).

חספוס פני השטח: Ra<0.5μm (אין צורך בטחינה נוספת כדי להפחית את כמות העיבוד העוקב).

עיוות: <10 מיקרומטר (הפחתת הקושי של ליטוש לאחר מכן).

(2) יעילות עיבוד
חיתוך רב-קוי: חיתוך 100~500 חלקים בכל פעם, הגדלת כושר הייצור פי 3~5 (לעומת חיתוך בקו יחיד).

חיי קו: קו היהלום יכול לחתוך 100~300 ק"מ SiC (בהתאם לקשיות המטיל ואופטימיזציית התהליך).

(3) עיבוד בעל נזק נמוך
שבירת קצה: <15 מיקרומטר (חיתוך מסורתי >50 מיקרומטר), משפר את תפוקת הוופלים.

שכבת נזק תת-קרקעית: <5 מיקרומטר (הפחתת הסרת ליטוש).

(4) הגנת הסביבה והכלכלה
ללא זיהום טיט: עלויות סילוק נוזלי פסולת מופחתות בהשוואה לחיתוך טיט.

ניצול חומרים: אובדן חיתוך <100μm/חותך, חיסכון בחומרי גלם SiC.

אפקט חיתוך:

1. איכות פרוסות: ללא סדקים מקרוסקופיים על פני השטח, מעט פגמים מיקרוסקופיים (התארכות פריקה נשלטת). ניתן להיכנס ישירות לחיבור הליטוש הגס, מקצר את זרימת התהליך.

2. עקביות: סטיית העובי של פרוסת הפלפל במנה היא <±3%, מתאים לייצור אוטומטי.

3. תחולה: תמיכה בחיתוך מטילי 4H/6H-SiC, תואם לסוג מוליך/מבודד למחצה.

מפרט טכני:

מִפרָט	פרטים
מידות (אורך × רוחב × גובה)	2500x2300x2500 או התאמה אישית
טווח גודל חומרי עיבוד	4, 6, 8, 10, 12 אינץ' של סיליקון קרביד
חספוס פני השטח	Ra≤0.3u
מהירות חיתוך ממוצעת	0.3 מ"מ/דקה
מִשׁקָל	5.5 טון
שלבי הגדרת תהליך החיתוך	≤30 צעדים
רעש הציוד	≤80 דציבלים
מתח חוט פלדה	0~110N (מתח חוט של 0.25 הוא 45N)
מהירות חוט פלדה	0~30 מטר/שנייה
הספק כולל	50 קילוואט
קוטר חוט היהלום	≥0.18 מ"מ
שטוחות הקצה	≤0.05 מ"מ
קצב חיתוך ושבירה	≤1% (למעט סיבות אנושיות, חומר סיליקון, קו, תחזוקה וסיבות אחרות)

שירותי XKH:

XKH מספקת את כל שירות התהליך של מכונת חיתוך חוטי יהלום מסיליקון קרביד, כולל בחירת ציוד (התאמת קוטר חוט/מהירות חוט), פיתוח תהליכים (אופטימיזציה של פרמטרי חיתוך), אספקת חומרים מתכלים (חוט יהלום, גלגל מדריך) ותמיכה לאחר מכירה (תחזוקת ציוד, ניתוח איכות חיתוך), כדי לסייע ללקוחות להשיג תפוקה גבוהה (>95%), ייצור המוני של פרוסות סיליקון קרביד בעלות נמוכה. היא מציעה גם שדרוגים מותאמים אישית (כגון חיתוך דק במיוחד, טעינה ופריקה אוטומטיות) עם זמן אספקה של 4-8 שבועות.