מכונת חיתוך תיל יהלום סיליקון קרביד 4/6/8/12 אינץ' עיבוד מטיל SiC
עקרון עבודה:
1. קיבוע מטיל: מטיל SiC (4H/6H-SiC) מקובע על משטח החיתוך דרך המתקן כדי להבטיח את דיוק המיקום (±0.02 מ"מ).
2. תנועת קו יהלום: קו יהלום (חלקיקי יהלום מצופים אלקטרו על פני השטח) מונע על ידי מערכת גלגלי העזר לזרימה במהירות גבוהה (מהירות קו 10~30m/s).
3. הזנת חיתוך: המטיל מוזן לאורך הכיוון שנקבע, וקו היהלום נחתך בו-זמנית עם מספר קווים מקבילים (100 ~ 500 שורות) ליצירת פרוסות מרובות.
4. קירור והסרת שבבים: התיזו נוזל קירור (מים מפושטים + תוספים) באזור החיתוך להפחתת נזקי החום והסרת שבבים.
פרמטרים מרכזיים:
1. מהירות חיתוך: 0.2 ~ 1.0 מ"מ/דקה (תלוי בכיוון הגביש ובעובי של SiC).
2. מתח קו: 20~50N (גבוה מדי שקל לשבור קו, נמוך מדי משפיע על דיוק החיתוך).
3. עובי רקיק: סטנדרטי 350~500 מיקרומטר, רקיק יכול להגיע ל-100 מיקרומטר.
תכונות עיקריות:
(1) דיוק חיתוך
סובלנות עובי: ±5 מיקרומטר (@350 מיקרומטר רקיק), טוב יותר מחיתוך טיט קונבנציונלי (±20 מיקרומטר).
חספוס פני השטח: Ra<0.5μm (לא נדרשת שחיקה נוספת כדי להפחית את כמות העיבודים הבאים).
עיוות: <10μm (הפחתת הקושי של ליטוש לאחר מכן).
(2) יעילות עיבוד
חיתוך רב-קו: חיתוך של 100~500 חתיכות בכל פעם, הגדלת כושר הייצור פי 3~5 (לעומת חיתוך קו בודד).
חיי קו: קו היהלום יכול לחתוך 100 ~ 300 ק"מ SiC (בהתאם לקשיות המטיל ואופטימיזציה של התהליך).
(3) עיבוד נזק נמוך
שבירת קצה: <15μm (חיתוך מסורתי >50μm), שפר את תפוקת הפרוסים.
שכבת נזק תת-קרקעי: <5μm (הפחתת הסרת ליטוש).
(4) הגנת הסביבה וכלכלה
ללא זיהום טיט: הפחתת עלויות סילוק נוזלי פסולת בהשוואה לחיתוך טיט.
ניצול חומרים: אובדן חיתוך <100 מיקרומטר/חותך, חיסכון בחומרי גלם SiC.
אפקט חיתוך:
1. איכות רקיק: ללא סדקים מקרוסקופיים על פני השטח, מעט פגמים מיקרוסקופיים (הרחבת נקע הניתנת לשליטה). יכול להיכנס ישירות לקישור הליטוש הגס, לקצר את זרימת התהליך.
2. עקביות: סטיית העובי של הפרוסה באצווה היא <±3%, מתאים לייצור אוטומטי.
3. ישימות: תומך בחיתוך מטיל 4H/6H-SiC, תואם לסוג מוליך/מבודד למחצה.
מפרט טכני:
| מִפרָט | פרטים |
| מידות (L × W × H) | 2500x2300x2500 או התאמה אישית |
| טווח גודל חומרי עיבוד | 4, 6, 8, 10, 12 אינץ' של סיליקון קרביד |
| חספוס פני השטח | Ra≤0.3u |
| מהירות חיתוך ממוצעת | 0.3 מ"מ/דקה |
| מִשׁקָל | 5.5ט |
| שלבי הגדרת תהליך חיתוך | ≤30 צעדים |
| רעש של ציוד | ≤80 dB |
| מתח חוטי פלדה | 0~110N (מתח חוט 0.25 הוא 45N) |
| מהירות תיל פלדה | 0~30 מ'/ש' |
| כוח מוחלט | 50 קילוואט |
| קוטר חוט יהלום | ≥0.18 מ"מ |
| סוף לשטיחות | ≤0.05 מ"מ |
| קצב חיתוך ושבירה | ≤1% (למעט מסיבות אנושיות, חומר סיליקון, קו, תחזוקה וסיבות אחרות) |
שירותי XKH:
XKH מספקת את כל שירות התהליך של מכונת חיתוך תיל יהלום סיליקון קרביד, כולל בחירת ציוד (התאמת קוטר חוט/מהירות חוט), פיתוח תהליך (אופטימיזציה של פרמטרי חיתוך), אספקת חומרים מתכלים (חוט יהלומים, גלגל מנחה) ותמיכה לאחר המכירה (תחזוקת ציוד, ניתוח איכות חיתוך), כדי לעזור ללקוחות להשיג תשואה גבוהה (>95%), עלות נמוכה של רקיקי SiC. הוא מציע גם שדרוגים מותאמים אישית (כגון חיתוך דק במיוחד, טעינה ופריקה אוטומטיים) עם זמן אספקה של 4-8 שבועות.
תרשים מפורט
