זרוע/יד מזלג קרמית מסיליקון קרביד SiC למערכות טיפול קריטיות
תרשים מפורט
הצגת זרוע/יד מזלג קרמי מסיליקון קרביד
הזרוע/יד מזלג קרמי מסיליקון קרבידהוא רכיב חדשני שפותח עבור אוטומציה תעשייתית מתקדמת, עיבוד מוליכים למחצה וסביבות נקיות במיוחד. הארכיטקטורה המפוצלת הייחודית שלו והמשטח הקרמי השטוח במיוחד שלו הופכים אותו לאידיאלי לטיפול במצעים עדינים, כולל פרוסות סיליקון, לוחות זכוכית והתקנים אופטיים. ה-, תוכנן בדיוק רב ומיוצר מסיליקון קרביד טהור במיוחד,זרוע/יד מזלג קרמי מסיליקון קרבידמציע חוזק מכני ללא תחרות, אמינות תרמית ובקרת זיהום.
שלא כמו זרועות מתכת או פלסטיק קונבנציונליות,זרוע/יד מזלג קרמי מסיליקון קרבידמספק ביצועים יציבים בתנאים תרמיים, כימיים וואקום קיצוניים. בין אם פועל בחדר נקי Class 1 או בתא פלזמה בוואקום גבוה, רכיב זה מבטיח הובלה בטוחה, יעילה וללא שאריות של חלקים יקרי ערך.
עם מבנה המותאם לזרועות רובוטיות, מטפלי פרוסות וכלי העברה אוטומטיים, ה-זרוע/יד מזלג קרמי מסיליקון קרבידהוא שדרוג חכם לכל מערכת בעלת דיוק גבוה.
תהליך ייצור של זרוע/יד מזלג קרמית מסיליקון קרביד
יצירת ביצועים גבוהיםזרוע/יד מזלג קרמי מסיליקון קרבידכולל זרימת עבודה הנדסית קרמית מבוקרת בקפידה המבטיחה חזרתיות, אמינות ושיעורי פגמים נמוכים במיוחד.
1. הנדסת חומרים
רק אבקת סיליקון קרביד בעלת טוהר גבוה במיוחד משמשת בייצור ה-זרוע/יד מזלג קרמי מסיליקון קרביד, מה שמבטיח זיהום יוני נמוך וחוזק נפח גבוה. האבקות מעורבבות במדויק עם תוספי סינטור וחומרי קשירה כדי להשיג צפיפות אופטימלית.
2. יצירת מבנה הבסיס
הגיאומטריה הבסיסית של ה-זרוע/יד המזלגנוצר באמצעות כבישה איזוסטטית קרה או הזרקה, המבטיחים צפיפות ירוקה גבוהה ופיזור אחיד של מתחים. תצורת צורת ה-U ממוטבת ליחס קשיחות-משקל ותגובה דינמית.
3. תהליך סינטור
הגוף הירוק של ה-זרוע/יד מזלג קרמי מסיליקון קרבידעובר סינטור בתנור גז אינרטי בטמפרטורה גבוהה, בטמפרטורה של מעל 2000 מעלות צלזיוס. שלב זה מבטיח צפיפות כמעט תיאורטית, ומייצר רכיב העמיד בפני סדקים, עיוות וסטייה ממדית תחת עומסים תרמיים אמיתיים.
4. עיבוד שבבי מדויק
כלי יהלום CNC מתקדמים משמשים לעיצוב המידות הסופיות שלזרוע/יד מזלג קרמי מסיליקון קרבידסבולות צמודות (±0.01 מ"מ) וגימור משטח בגובה מראה מפחיתים שחרור חלקיקים ומאמץ מכני.
5. ניקוי וטיפול משטחים
גימור פני השטח הסופי כולל ליטוש כימי וניקוי אולטרסאונד להכנתזרוע/יד המזלגלשילוב ישיר במערכות נקיות במיוחד. ציפויים אופציונליים (CVD-SiC, שכבות אנטי-רפלקטיביות) זמינים גם כן.
תהליך קפדני זה מבטיח שכל אחדזרוע/יד מזלג קרמי מסיליקון קרבידעומד בתקנים התעשייתיים המחמירים ביותר, כולל דרישות SEMI ו-ISO לחדרים נקיים.
פרמטר של זרוע/יד מזלג קרמי מסיליקון קרביד
| פָּרִיט | תנאי בדיקה | נְתוּנִים | יְחִידָה |
| תכולת סיליקון קרביד | / | >99.5 | % |
| גודל גרגר ממוצע | / | 4-10 | מיקרון |
| צְפִיפוּת | / | >3.14 | גרם/סמ"ק |
| נקבוביות לכאורה | / | <0.5 | % נפח |
| קשיות ויקרס | HV0.5 | 2800 | ק"ג/מ"מ² |
| מודול הקרע (3 נקודות) | גודל מוט בדיקה: 3 x 4 x 40 מ"מ | 450 | MPa |
| חוזק דחיסה | 20°C | 3900 | MPa |
| מודול האלסטיות | 20°C | 420 | ממוצע ממוצע |
| קשיחות שבר | / | 3.5 | מגה-פיקסל/מטרחצי |
| מוליכות תרמית | 20°C | 160 | וואט/(mK) |
| התנגדות חשמלית | 20°C | 106-108 | אוהם ס"מ |
| מקדם התפשטות תרמית | 20°C-800°C | 4.3 | K-110-6 |
| טמפרטורת יישום מקסימלית | אטמוספרת תחמוצת | 1600 | מעלות צלזיוס |
| טמפרטורת יישום מקסימלית | אטמוספרה אינרטית | 1950 | מעלות צלזיוס |
יישומים של זרוע/יד מזלג קרמית מסיליקון קרביד
הזרוע/יד מזלג קרמי מסיליקון קרבידמיועד לשימוש ביישומים מדויקים, בסיכון גבוה וביישומים רגישים לזיהום. הוא מאפשר טיפול, העברה או תמיכה אמינים של רכיבים קריטיים ללא פשרות.
➤ תעשיית מוליכים למחצה
-
משמש כמזלג רובוטי בתחנות העברת ופלים קדמיות ותחנות FOUP.
-
משולב בתאי ואקום עבור איכול פלזמה ותהליכי PVD/CVD.
-
מתפקד כזרוע נשיאה בכלי מטרולוגיה ויישור פרוסות.
הזרוע/יד מזלג קרמי מסיליקון קרבידמבטל סיכוני פריקה אלקטרוסטטית (ESD), תומך בדיוק מימדי ועמיד בפני קורוזיה בפלזמה.
➤ פוטוניקה ואופטיקה
-
תומך בעדשות עדינות, גבישי לייזר וחיישנים במהלך ייצור או בדיקה.
קשיחותו הגבוהה מונעת רעידות, בעוד שגוף הקרמי עמיד בפני זיהום של משטחים אופטיים.
➤ ייצור תצוגה ופאנלים
-
מטפל בזכוכית דקה, מודולי OLED ומצעי LCD במהלך הובלה או בדיקה.
השטוח והאינרטי מבחינה כימיתזרוע/יד מזלג קרמי מסיליקון קרבידמגן מפני שריטות או איכול כימי.
➤ מכשירים מדעיים וחלל
-
משמש בהרכבת אופטיקה לוויינית, רובוטיקה בוואקום ומערכות קווי קרן סינכרוטרון.
מתפקד בצורה מושלמת בחדרים נקיים ברמת חלל ובסביבות מועדות לקרינה.
בכל תחום, ה-זרוע/יד מזלג קרמי מסיליקון קרבידמשפר את יעילות המערכת, מפחית כשל חלקים וממזער זמן השבתה.
שאלות נפוצות - שאלות נפוצות לגבי זרוע/יד מזלג קרמית מסיליקון קרביד
שאלה 1: מה הופך את זרוע/יד המזלג הקרמית מסיליקון קרביד לטובות יותר מחלופות מתכת?
הזרוע/יד מזלג קרמי מסיליקון קרבידבעל קשיות גבוהה יותר, צפיפות נמוכה יותר, עמידות טובה יותר לכימיקלים והתפשטות תרמית פחותה משמעותית בהשוואה למתכות. הוא גם תואם לחדרים נקיים וחף מקורוזיה או יצירת חלקיקים.
שאלה 2: האם ניתן לבקש מידות מותאמות אישית עבור זרוע/יד המזלג הקרמי מסיליקון קרביד שלי?
כן. אנו מציעים התאמה אישית מלאה, כולל רוחב המזלג, עוביו, חורי ההרכבה, חיתוכים וטיפולי פני השטח. בין אם מדובר בפרוסות 6", 8" או 12",זרוע/יד המזלגניתן להתאים אישית.
שאלה 3: כמה זמן מחזיקה זרוע/יד המזלג מסיליקון קרביד קרמי מעמד תחת פלזמה או ואקום?
הודות לחומר ה-SiC בעל הצפיפות הגבוהה ולאופיו האינרטי, ה-זרוע/יד המזלגנשאר תקין גם לאחר אלפי מחזורי תהליך. הוא מראה בלאי מינימלי תחת עומסי פלזמה או חום ואקום אגרסיביים.
שאלה 4: האם המוצר מתאים לחדרים נקיים בתקן ISO Class 1?
בהחלט. הזרוע/יד מזלג קרמי מסיליקון קרבידמיוצר וארוז במתקני חדר נקי מוסמכים, עם רמות חלקיקים נמוכות בהרבה מדרישות ISO Class 1.
שאלה 5: מהי טמפרטורת ההפעלה המקסימלית עבור זרוע/יד מזלג זו?
הזרוע/יד מזלג קרמי מסיליקון קרבידיכול לפעול ברציפות עד 1500 מעלות צלזיוס, מה שהופך אותו מתאים לשימוש ישיר בתאי תהליך בטמפרטורה גבוהה ובמערכות ואקום תרמיות.
שאלות נפוצות אלו משקפות את החששות הטכניים הנפוצים ביותר מצד מהנדסים, מנהלי מעבדות ומשלבי מערכות המשתמשים ב-זרוע/יד מזלג קרמי מסיליקון קרביד.
אודותינו
XKH מתמחה בפיתוח, ייצור ומכירה של זכוכית אופטית מיוחדת וחומרי קריסטל חדשים בטכנולוגיה מתקדמת. המוצרים שלנו משמשים לאלקטרוניקה אופטית, מוצרי אלקטרוניקה צרכנית ולצבא. אנו מציעים רכיבים אופטיים מספיר, כיסויי עדשות לטלפונים ניידים, קרמיקה, LT, סיליקון קרביד SIC, קוורץ ופלים גבישיים מוליכים למחצה. עם מומחיות מיומנת וציוד חדשני, אנו מצטיינים בעיבוד מוצרים לא סטנדרטי, ושואפים להיות מפעל היי-טק מוביל בתחום החומרים האופטואלקטרוניים.
