לוח קרמי מסיליקון קרביד (SiC)

תיאור קצר:

לוחות קרמיים מסיליקון קרביד (SiC) הם רכיבים קרמיים מתקדמים בעלי חוזק גבוה וטוהר גבוה, המיועדים לסביבות הדורשות יציבות תרמית יוצאת דופן, חוסן מכני ועמידות כימית. עם קשיות מעולה, צפיפות נמוכה ומוליכות תרמית מעולה, לוחות SiC נמצאים בשימוש נרחב בעיבוד מוליכים למחצה, תנורים בטמפרטורה גבוהה, מכונות מדויקות וסביבות תעשייתיות קורוזיביות.

שלחו לנו אימייל

תכונות

תרשים מפורט

סקירת מוצר

לוחות אלה שומרות על שלמות מבנית בתנאים קיצוניים, מה שהופך אותם לפתרון חומרי אידיאלי עבור ציוד בעל ביצועים גבוהים מהדור הבא.

תכונות ומאפיינים עיקריים

קשיות גבוהה ועמידות בפני שחיקה– דומה ליהלום, מה שמבטיח חיי שירות ארוכים.
התפשטות תרמית נמוכה– ממזער עיוות תחת חימום או קירור מהירים.
מוליכות תרמית גבוההפיזור חום יעיל עבור מערכות בקרה תרמית.
יציבות כימית יוצאת דופןעמיד בפני חומצות, בסיסים וסביבות פלזמה.
קל משקל אך חזק במיוחד- יחס חוזק-משקל גבוה בהשוואה למתכות.
ביצועים מצוינים בטמפרטורה גבוהה– טמפרטורות עבודה עד 1600 מעלות צלזיוס (בהתאם לדרגה).
קשיחות מכנית חזקה– אידיאלי לתמיכה מדויקת ויציבות מבנית.

שיטת ייצור

לוחות קרמיים SiC מיוצרים בדרך כלל באמצעות אחד מהתהליכים הבאים:

• סיליקון קרביד קשור בתגובה (RBSC / RBSiC)

נוצר על ידי החדרת סיליקון מותך לתוך תבנית SiC נקבובית
כולל חוזק גבוה, יכולת עיבוד טובה ויציבות ממדית
מתאים לצלחות גדולות הדורשות בקרת שטוחות הדוקה

• סיליקון קרביד מסונטר (SSiC)

מיוצר באמצעות סינטור ללא לחץ של אבקת SiC בעלת טוהר גבוה
מציע טוהר, חוזק ועמידות בפני קורוזיה מעולים
אידיאלי עבור יישומים מוליכים למחצה וכימיים הדורשים תנאים נקיים במיוחד

• סיליקון קרביד CVD (CVD-SiC)

תהליך שקיעת אדים כימית
טוהר גבוה ביותר, צפוף במיוחד ומשטח חלק במיוחד
נפוץ במנשאי פרוסות מוליכים למחצה, סוספטורים וחלקי תאי ואקום

יישומים

לוחות קרמיים SiC נמצאים בשימוש נרחב בתעשיות מרובות:

מוליכים למחצה ואלקטרוניקה

צלחות נשיאה של פרוסות
חשודים
רכיבי תנור דיפוזיה
חלקי תא איכול ודוחף

רכיבי תנור בטמפרטורה גבוהה

לוחות תמיכה
ריהוט לתנור
בידוד והגנה על מערכת החימום

ציוד תעשייתי

לוחות שחיקה מכניים
רפידות הזזה
רכיבי משאבה ושסתומים
לוחות עמידים בפני קורוזיה כימית

תעופה וחלל והגנה

לוחות מבניים קלים משקל בעלי חוזק גבוה
רכיבי מיגון בטמפרטורה גבוהה

מפרטים והתאמה אישית

ניתן לייצר לוחות קרמיקה SiC לפי שרטוטים מותאמים אישית:

• מידות:
עובי: 0.5–30 מ"מ
אורך צד מקסימלי: עד 600 מ"מ (משתנה בהתאם לתהליך)

• סובלנות:
±0.01–0.05 מ"מ בהתאם לדרגת העיבוד השבבי

• גימור פני השטח:

קרקע / חופף
מלוטש (Ra < 5 ננומטר עבור CVD-SiC)
משטח מסונטר

• דרגות חומר:
RBSiC / SSiC / CVD-SiC

• אפשרויות צורה:
לוחות שטוחים, לוחות מרובעים, לוחות עגולים, לוחות מחוררים, לוחות מחוררים וכו'.

שאלות נפוצות על משקפי קוורץ

שאלה 1: מה ההבדל בין לוחות RBSiC ו-SSiC?

A:RBSiC מציע חוזק מכני וביצועי עלות טובים, בעוד של-SSiC טוהר גבוה יותר, עמידות טובה יותר בפני קורוזיה וחוזק גבוה יותר. SSiC עדיף עבור יישומים מוליכים למחצה וכימיקלים.

שאלה 2: האם לוחות קרמיקה SiC יכולים לעמוד בהלם תרמי?

A:כן. ל-SiC יש התפשטות תרמית נמוכה ומוליכות תרמית גבוהה, מה שמבטיח עמידות מצוינת לזעזועים תרמיים.

שאלה 3: האם ניתן ללטש את הלוחות עבור יישומי משטח מראה?

A:כן. CVD-SiC ו-SSiC טהור יכולים להשיג ליטוש ברמת מראה עבור דרישות אופטיות או מוליכים למחצה.

ש 4: האם אתם תומכים בעיבוד שבבי בהתאמה אישית?

A:כן. ניתן לייצר לוחות לפי השרטוטים שלכם, כולל חורים, חריצים, שקעים וצורות מיוחדות.

אודותינו

XKH מתמחה בפיתוח, ייצור ומכירה של זכוכית אופטית מיוחדת וחומרי קריסטל חדשים בטכנולוגיה מתקדמת. המוצרים שלנו משמשים לאלקטרוניקה אופטית, מוצרי אלקטרוניקה צרכנית ולצבא. אנו מציעים רכיבים אופטיים מספיר, כיסויי עדשות לטלפונים ניידים, קרמיקה, LT, סיליקון קרביד SIC, קוורץ ופלים גבישיים מוליכים למחצה. עם מומחיות מיומנת וציוד חדשני, אנו מצטיינים בעיבוד מוצרים לא סטנדרטי, ושואפים להיות מפעל היי-טק מוביל בתחום החומרים האופטואלקטרוניים.