סירת פרוסות סיליקון קרביד (SiC)

תיאור קצר:

סירת פרוסות סיליקון קרביד (SiC) היא נשא תהליכי מוליך למחצה העשוי מחומר SiC בעל טוהר גבוה, שנועד להחזיק ולהעביר פרוסות סיליקון במהלך תהליכים קריטיים בטמפרטורה גבוהה כגון אפיטקסיה, חמצון, דיפוזיה וחישול.

שלחו לנו אימייל

תכונות

תרשים מפורט

סקירה כללית של זכוכית קוורץ

עם ההתפתחות המהירה של מוליכים למחצה להספק והתקני פער אנרגיה רחב, סירות קוורץ קונבנציונליות מתמודדות עם מגבלות כגון עיוות בטמפרטורות גבוהות, זיהום חלקיקים חמור וחיי שירות קצרים. סירות פרוסות SiC, בעלות יציבות תרמית מעולה, זיהום נמוך וחיים ארוכים יותר, מחליפות יותר ויותר סירות קוורץ והופכות לבחירה המועדפת בייצור התקני SiC.

תכונות עיקריות

1. יתרונות חומריים

מיוצר מ-SiC בעל טוהר גבוה עםקשיות וחוזק גבוהים.
נקודת התכה מעל 2700 מעלות צלזיוס, גבוהה בהרבה מקוורץ, מה שמבטיח יציבות ארוכת טווח בסביבות קיצוניות.

2. תכונות תרמיות

מוליכות תרמית גבוהה להעברת חום מהירה ואחידה, תוך מזעור מאמץ פרוסות.
מקדם ההתפשטות התרמית (CTE) תואם מקרוב למצעי SiC, ומפחית כיפוף וסדקים של פרוסות סיליקון.

3. יציבות כימית

יציב בטמפרטורה גבוהה ובאטמוספרות שונות (H₂, N₂, Ar, NH₃ וכו').
עמידות מצוינת לחמצון, מונעת פירוק ויצירת חלקיקים.

4. ביצועי התהליך

משטח חלק וצפוף מפחית נשירת חלקיקים וזיהום.
שומר על יציבות ממדית ויכולת עומס גם לאחר שימוש ארוך טווח.

5. יעילות עלויות

חיי שירות ארוכים פי 3-5 מסירות קוורץ.
תדירות תחזוקה נמוכה יותר, מה שמפחית את זמן ההשבתה ועלויות ההחלפה.

יישומים

אפיטקסיה של SiCתמיכה במצעי SiC בגודל 4 אינץ', 6 אינץ' ו-8 אינץ' במהלך גידול אפיטקסיאלי בטמפרטורה גבוהה.
ייצור מכשירי חשמלאידיאלי עבור טרנזיסטורי MOSFET של SiC, דיודות מחסום Schottky (SBD), IGBT והתקנים אחרים.
טיפול תרמיתהליכי חישול, ניטרידציה ופחמון.
חמצון ודיפוזיהפלטפורמת תמיכה יציבה לפלפלים לחמצון ודיפוזיה בטמפרטורה גבוהה.

מפרט טכני

פָּרִיט	מִפרָט
חוֹמֶר	סיליקון קרביד (SiC) בעל טוהר גבוה
גודל פרוסה	4 אינץ' / 6 אינץ' / 8 אינץ' (ניתן להתאמה אישית)
טמפרטורת הפעלה מקסימלית	≤ 1800 מעלות צלזיוס
התפשטות תרמית CTE	4.2 × 10⁻⁶ /K (קרוב למצע SiC)
מוליכות תרמית	120–200 וואט/מטר קלווין
חספוס פני השטח	Ra < 0.2 מיקרומטר
מַקבִּילוּת	±0.1 מ"מ
חיי שירות	ארוכים פי 3 ≥ מסירות קוורץ

השוואה: סירת קוורץ לעומת סירת SiC

מֵמַד	סירת קוורץ	סירת SiC
עמידות טמפרטורה	≤ 1200°C, עיוות בטמפרטורה גבוהה.	≤ 1800°C, יציב תרמית
התאמת CTE עם SiC	אי התאמה גדולה, סיכון לעומס פרוסות	התאמה צמודה, מפחיתה סדקים של פרוסות סיליקון
זיהום חלקיקים	גבוה, מייצר זיהומים	משטח נמוך, חלק וצפוף
חיי שירות	החלפה קצרה ותכופה	תוחלת חיים ארוכה, פי 3-5
תהליך מתאים	אפיטקסיה סיליקונית קונבנציונלית	אופטימלי עבור אפיטקסיה SiC והתקני כוח

שאלות נפוצות - סירות פרוסות סיליקון קרביד (SiC)

1. מהי סירת פרוסות SiC?

סירת פרוסות SiC היא נשא תהליכי מוליך למחצה העשוי מסיליקון קרביד בעל טוהר גבוה. היא משמשת לאחיזה והובלת פרוסות במהלך תהליכים בטמפרטורה גבוהה כגון אפיטקסיה, חמצון, דיפוזיה וחישול. בהשוואה לסירות קוורץ מסורתיות, סירות פרוסות SiC מציעות יציבות תרמית מעולה, זיהום נמוך יותר וחיי שירות ארוכים יותר.

2. מדוע לבחור סירות פרוסות SiC על פני סירות קוורץ?

עמידות גבוהה יותר לטמפרטורהיציב עד 1800°C לעומת קוורץ (≤1200°C).
התאמה טובה יותר של CTEקרוב למצעי SiC, ממזער את הלחץ והסדקים של פרוסות סיליקון.
ייצור חלקיקים נמוך יותרמשטח חלק וצפוף מפחית זיהום.
אורך חיים ארוך יותרארוכות פי 3-5 מסירות קוורץ, מה שמפחית את עלות הבעלות.

3. אילו גדלי פרוסות יכולות סירות פרוסות SiC לתמוך בהן?

אנו מספקים עיצובים סטנדרטיים עבור4 אינץ', 6 אינץ' ו-8 אינץ'ופלים, עם התאמה אישית מלאה זמינה כדי לענות על צרכי הלקוח.

4. באילו תהליכים משתמשים בדרך כלל בסירות פרוסות סיליקון (SiC)?

גידול אפיטקסיאלי של SiC
ייצור התקני מוליכים למחצה להספק (טרנזיסטורי MOSFET, SBD, IGBT) של SiC
חישול בטמפרטורה גבוהה, ניטרידציה ופחמוניזציה
תהליכי חמצון ודיפוזיה

אודותינו

XKH מתמחה בפיתוח, ייצור ומכירה של זכוכית אופטית מיוחדת וחומרי קריסטל חדשים בטכנולוגיה מתקדמת. המוצרים שלנו משמשים לאלקטרוניקה אופטית, מוצרי אלקטרוניקה צרכנית ולצבא. אנו מציעים רכיבים אופטיים מספיר, כיסויי עדשות לטלפונים ניידים, קרמיקה, LT, סיליקון קרביד SIC, קוורץ ופלים גבישיים מוליכים למחצה. עם מומחיות מיומנת וציוד חדשני, אנו מצטיינים בעיבוד מוצרים לא סטנדרטי, ושואפים להיות מפעל היי-טק מוביל בתחום החומרים האופטואלקטרוניים.