TGV מצעי זכוכית 12 אינץ' רקיק ניקוב זכוכית
מצעי זכוכית מתפקדים טוב יותר מבחינת תכונות תרמיות, יציבות פיזית, והם עמידים יותר בחום ופחות מועדים לבעיות עיוות או עיוות עקב טמפרטורות גבוהות;
בנוסף, התכונות החשמליות הייחודיות של ליבת הזכוכית מאפשרות הפסדים דיאלקטריים נמוכים יותר, מה שמאפשר העברת אות וכוח ברורים יותר. כתוצאה מכך, אובדן הכוח במהלך שידור האות מופחת והיעילות הכוללת של השבב מוגברת באופן טבעי. ניתן להפחית את העובי של מצע ליבת הזכוכית בכמחצית בהשוואה לפלסטיק ABF, והדילול משפר את מהירות העברת האות ואת יעילות ההספק.
טכנולוגיית יצירת חורים של TGV:
שיטת תחריט המושרה בלייזר משמשת להשראת אזור דנטורציה מתמשך באמצעות לייזר דופק, ולאחר מכן הזכוכית שטופלה בלייזר מוכנסת לתמיסת חומצה הידרופלואורית לצורך תחריט. קצב התחריט של זכוכית אזור הדנטורציה בחומצה הידרופלואורית מהיר יותר מזה של זכוכית לא מפונפנת להיווצר דרך חורים.
מילוי TGV:
ראשית, נעשים חורים עיוורים TGV. שנית, שכבת הזרע הופקדה בתוך החור העיוור TGV על ידי שקיעת אדים פיזית (PVD). שלישית, ציפוי מלמטה למעלה משיג מילוי חלק של TGV; לבסוף, באמצעות מליטה זמנית, שחיקה לאחור, ליטוש כימי מכני (CMP) חשיפת נחושת, ביטול מליטה, יצירת לוח העברה מלא מתכת TGV.