פרוסת סיליקון מצופה מתכת Ti/Cu (טיטניום/נחושת)
תרשים מפורט
סקירה כללית
שֶׁלָנוּפרוסות סיליקון מצופות מתכת Ti/Cuכוללות מצע סיליקון איכותי (או זכוכית/קוורץ אופציונלי) מצופה ב-שכבת הידבקות טיטניוםו-אשכבת מוליכה של נחושתבאמצעותהתזה מגנטרונית סטנדרטיתשכבת הבין-שכבתית עשויה טיטניום (Ti) משפרת משמעותית את ההידבקות ואת יציבות התהליך, בעוד ששכבת הנחושת העליונה מציעה משטח אחיד בעל התנגדות נמוכה, אידיאלי לממשקים חשמליים ומיקרו-ייצור במורד הזרם.
פרוסות אלו, המיועדות הן ליישומים בקנה מידה מחקרי והן ליישומים בקנה מידה פיילוט, זמינות בגדלים וטווחי התנגדות מרובים, עם התאמה אישית גמישה לעובי, סוג המצע ותצורת הציפוי.
תכונות עיקריות
-
הידבקות חזקה ואמינותשכבת הקישור Ti משפרת את הידבקות הסרט ל-Si/SiO₂ ומשפרת את עמידות הטיפול
-
משטח מוליכות גבוהציפוי נחושת מספק ביצועים חשמליים מצוינים למגעים ומבני בדיקה
-
טווח התאמה אישית רחבגודל פרוסה, התנגדות, כיוון, עובי מצע ועובי שכבה זמינים לפי בקשה
-
מצעים מוכנים לתהליךתואם לתהליכי עבודה נפוצים במעבדה ובמפעל (ליתוגרפיה, ציפוי אלקטרוליטי, מטרולוגיה וכו')
-
סדרת חומרים זמינהמלבד טיטניום/נחושת, אנו מציעים גם פרוסות מצופות מתכת של זהב, פלטינום, אלומיניום, ניקל ואגוז.
מבנה ושקעים אופייניים
-
לַעֲרוֹםמצע + שכבת הידבקות Ti + שכבת ציפוי Cu
-
תהליך סטנדרטיהתזה מגנטרונית
-
תהליכים אופציונלייםאידוי תרמי / ציפוי אלקטרוליטי (לדרישות נחושת סמיכה יותר)
תכונות מכניות של זכוכית קוורץ
| פָּרִיט | אפשרויות |
|---|---|
| גודל פרוסה | 2 אינץ', 4 אינץ', 6 אינץ', 8 אינץ'; 10×10 מ"מ; גדלי חיתוך בהתאמה אישית |
| סוג מוליכות | סוג P / סוג N / התנגדות גבוהה פנימית (Un) |
| הִתמַצְאוּת | <100>, <111> וכו'. |
| הִתנַגְדוּת סְגוּלִית | <0.0015 Ω·cm; 1–10 Ω·ס"מ; >1000–10000 Ω·ס"מ |
| עובי (מיקרומטר) | 2": 200/280/400/500; 4": 450/500/525; 6": 625/650/675; 8": 650/700/725/775; מותאם אישית |
| חומרי מצע | סיליקון; קוורץ אופציונלי, זכוכית BF33 וכו'. |
| עובי הסרט | 10 ננומטר / 50 ננומטר / 100 ננומטר / 150 ננומטר / 300 ננומטר / 500 ננומטר / 1 מיקרומטר (ניתן להתאמה אישית) |
| אפשרויות סרט מתכת | Ti/Cu; גם Au, Pt, Al, Ni, Ag זמינים |
יישומים
-
מגע אוהמי ומצעים מוליכיםעבור מחקר ופיתוח של מכשירים ובדיקות חשמליות
-
שכבות זרעים לציפוי אלקטרוליטי(מבני RDL, MEMS, הצטברות נחושת עבה)
-
מצעי גידול של סול-ג'ל וננו-חומריםלמחקר ננו ושכבה דקה
-
מיקרוסקופיה ומטרולוגיה של פני השטח(הכנה ומדידה של דגימות SEM/AFM/SPM)
-
משטחים ביוכימייםכגון פלטפורמות לתרבית תאים, מיקרו-מערכי חלבונים/DNA וסובסטרטים של רפלקטומטריה
שאלות נפוצות (רפסי סיליקון בציפוי מתכת Ti/Cu)
שאלה 1: מדוע משתמשים בשכבת טיטניום מתחת לציפוי נחושת?
א: טיטניום פועל כשכבת הידבקות (הדבקה), משפר את החיבור של נחושת למצע ומשפר את יציבות הממשק, מה שעוזר להפחית קילוף או התפרקות במהלך הטיפול והעיבוד.
שאלה 2: מהי תצורת עובי הטיפוסית של Ti/Cu?
א: שילובים נפוצים כולליםTi: עשרות ננומטרים (למשל, 10–50 ננומטר)ונחושת: 50–300 ננומטרעבור סרטים מרוסקים. שכבות נחושת עבות יותר (ברמת מיקרומטר) מושגות לעיתים קרובות על ידיציפוי אלקטרוליטי על שכבת זרעי נחושת מרוסקת, בהתאם ליישום שלך.
שאלה 3: האם ניתן לצפות את שני צידי הוופל?
א: כן.ציפוי חד צדדי או דו צדדיזמין לפי בקשה. אנא ציינו את דרישותיכם בעת ההזמנה.
אודותינו
XKH מתמחה בפיתוח, ייצור ומכירה של זכוכית אופטית מיוחדת וחומרי קריסטל חדשים בטכנולוגיה מתקדמת. המוצרים שלנו משמשים לאלקטרוניקה אופטית, מוצרי אלקטרוניקה צרכנית ולצבא. אנו מציעים רכיבים אופטיים מספיר, כיסויי עדשות לטלפונים ניידים, קרמיקה, LT, סיליקון קרביד SIC, קוורץ ופלים גבישיים מוליכים למחצה. עם מומחיות מיומנת וציוד חדשני, אנו מצטיינים בעיבוד מוצרים לא סטנדרטי, ושואפים להיות מפעל היי-טק מוביל בתחום החומרים האופטואלקטרוניים.
