שלב מיסב אוויר SiC מדויק במיוחד

תיאור קצר:

עם ההתפתחות המתמשכת של תעשיית המוליכים למחצה, ציוד עיבוד ובדיקה דורש ביצועים גבוהים יותר ויותר. בהתבסס על מומחיות נרחבת בבקרת תנועה ומיקום ברמת ננומטרי, פיתחנו שלב מיסב אוויר מדויק במיוחד בעל שני צירים מסוג H.

שלחו לנו אימייל

תכונות

תרשים מפורט

סקירה כללית

הבמה, המעוצבת עם מבנה קרמי מסיליקון קרביד (SiC) המותאם לאלמנטים סופיים וטכנולוגיית מיסבי אוויר מפוצים, מספקת דיוק, קשיחות ותגובה דינמית יוצאי דופן. היא מתאימה באופן אידיאלי ל:

עיבוד ובדיקה של מוליכים למחצה
ייצור מיקרו/ננו ומטרולוגיה
חיתוך וליטוש זבובים בקנה מידה ננומטרי
סריקה מדויקת במהירות גבוהה

תכונות עיקריות

מסלול הובלת אוויר SiCלקשיחות ודיוק גבוהים במיוחד
דינמיקה גבוההמהירות עד 1 מטר/שנייה, תאוצה עד 4 גרם, שקיעה מהירה
ציר Y של גנטרי בעל הנעה כפולהמבטיח קיבולת עומס גבוהה ויציבות
אפשרויות מקודדסורג אופטי או אינטרפרומטר לייזר
דיוק מיקום: ±0.15 מיקרומטר;הֲדִירוּת±75 ננומטר
ניתוב כבלים אופטימלילעיצוב נקי ואמינות לטווח ארוך
תצורות הניתנות להתאמה אישיתלצרכים ספציפיים ליישום

עיצוב אולטרה-מדויק וארכיטקטורה ללא מגע, הנעה ישירה

מסגרת קרמית SiCקשיחות של פי 5 בערך מסגסוגת אלומיניום והתפשטות תרמית נמוכה פי 5 בערך, מה שמבטיח יציבות במהירות גבוהה ועמידות תרמית.
מיסב אוויר מפוצהעיצוב קנייני משפר את הנוקשות, כושר העומס ויציבות התנועה.
ביצועים דינמייםתומך במהירות של 1 מטר/שנייה ותאוצה של 4 גרם, אידיאלי לתהליכים בעלי תפוקה גבוהה.
אינטגרציה חלקהתואם למערכות בידוד רעידות, שלבים סיבוביים, מודולי הטיה ופלטפורמות טיפול בפרוסות ופלים.
ניהול כבליםרדיוס כיפוף מבוקר ממזער את המאמץ ומאריך את חיי השירות.

מנוע ליניארי ללא ליבהתנועה חלקה ללא כוח גלגל שיניים.
הנעה רב-מנועיתמיקום מנוע במישור העומס משפר את היושר, השטיחות והדיוק הזוויתי.
בידוד תרמימנועים מבודדים ממבנה הבמה; קירור אוויר או מים אופציונלי למחזורי עבודה גבוהים.

מפרט טכני

דֶגֶם	400-400	500-500	600-600
צירים	X (סריקה) / Y (שלב)	X (סריקה) / Y (שלב)	X (סריקה) / Y (שלב)
מהלך (מ"מ)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
דיוק (מיקרומטר)	±0.15	±0.2	±0.2
חזרתיות (ננומטר)	±75	±100	±100
רזולוציה (ננומטר)	0.3	0.3	0.3
מהירות מרבית (מטר/שנייה)	1	1	1
תאוצה (גרם)	4	4	4
ישרות (מיקרומטר)	±0.2	±0.3	±0.4
יציבות (ננומטר)	±5	±5	±5
עומס מקסימלי (ק"ג)	20	20	20
גובה/גלגול/סטיה (קשת-שנייה)	±1	±1	±1

תנאי בדיקה:

אספקת אוויר: נקי ויבש; נקודת טל ≤ 0°F; סינון חלקיקים ≤ 0.25 מיקרומטר; או 99.99% חנקן.
דיוק נמדד 25 מ"מ מעל מרכז הבמה בטמפרטורה של 20±1 מעלות צלזיוס, לחות יחסית של 40–60%.

יישומים

ליתוגרפיה של מוליכים למחצה, בדיקה וטיפול בפרוסות
ייצור מיקרו/ננו ומטרולוגיה מדויקת
ייצור אופטיקה מתקדמת ואינטרפרומטריה
תעופה וחלל ומחקר מדעי מתקדם

שאלות נפוצות - שלב מיסב אוויר מסיליקון קרביד

1. מהי שלב נושא אוויר?

במה נושאת אוויר משתמשת בשכבה דקה של אוויר בלחץ בין הבמה למסילה כדי לספקתנועה חלקה במיוחד, ללא חיכוך וללא שחיקהבניגוד למיסבים מכניים קונבנציונליים, הוא מבטל את הסיכון להחליק, מספק דיוק ברמת ננומטרי ותומך באמינות לטווח ארוך.

2. מדוע להשתמש בסיליקון קרביד (SiC) למבנה הבמה?

קשיחות גבוהה~5x מזה של סגסוגת אלומיניום, תוך מזעור עיוות במהלך תנועה דינמית.
התפשטות תרמית נמוכהנמוך פי 5 מאלומיניום, תוך שמירה על דיוק תחת שינויי טמפרטורה.
קַל מִשְׁקָלצפיפות נמוכה יותר בהשוואה לפלדה, המאפשרת פעולה במהירות גבוהה ותאוצה גבוהה.
יציבות מעולהריכוך וקשיחות מעולים למיקום מדויק במיוחד.

3. האם הבמה דורשת שימון או תחזוקה?

אין צורך בסיכה מסורתית מכיוון שישאין מגע מכניתחזוקה מומלצת כוללת:

אספקהאוויר דחוס נקי ויבש או חנקן
בדיקה תקופתית של מסננים ומייבשים
ניטור כבלים ומערכות קירור

4. מהן דרישות אספקת האוויר?

נקודת טל: ≤ 0°F (≈ –18°C)
סינון חלקיקים: ≤ 0.25 מיקרומטר
אוויר נקי ויבש או חנקן טהור ב-99.99%
לחץ יציב עם תנודות מינימליות

אודותינו

XKH מתמחה בפיתוח, ייצור ומכירה של זכוכית אופטית מיוחדת וחומרי קריסטל חדשים בטכנולוגיה מתקדמת. המוצרים שלנו משמשים לאלקטרוניקה אופטית, מוצרי אלקטרוניקה צרכנית ולצבא. אנו מציעים רכיבים אופטיים מספיר, כיסויי עדשות לטלפונים ניידים, קרמיקה, LT, סיליקון קרביד SIC, קוורץ ופלים גבישיים מוליכים למחצה. עם מומחיות מיומנת וציוד חדשני, אנו מצטיינים בעיבוד מוצרים לא סטנדרטי, ושואפים להיות מפעל היי-טק מוביל בתחום החומרים האופטואלקטרוניים.