3 אינץ' משטחי סיליקון קרביד מבודדים למחצה טוהר גבוה (לא מרופדים) (HPSl)
נכסים
1. מאפיינים פיזיים ומבניים
●סוג חומר: סיליקון קרביד בטוהר גבוה (לא מרופט) (SiC)
●קוטר: 3 אינץ' (76.2 מ"מ)
●עובי: 0.33-0.5 מ"מ, ניתן להתאמה אישית בהתאם לדרישות היישום.
●מבנה גביש: פוליטייפ 4H-SiC עם סריג משושה, הידוע בניידות אלקטרונית גבוהה ויציבות תרמית.
● כיוון:
o סטנדרטי: [0001] (מישור C), מתאים למגוון רחב של יישומים.
oאופציונלי: מחוץ לציר (הטיה של 4° או 8°) לצמיחה אפיטקסיאלית משופרת של שכבות המכשיר.
● שטוחות: שינוי עובי כולל (TTV) ● איכות פני השטח:
o מלוטש לצפיפות פגמים נמוכה (<10/cm² צפיפות מיקרו-צינור). 2. מאפיינים חשמליים ● התנגדות: >109^99 Ω·cm, נשמרת על ידי ביטול חומרי ספיגה מכוונת.
● חוזק דיאלקטרי: סיבולת מתח גבוהה עם הפסדים דיאלקטריים מינימליים, אידיאלי עבור יישומים בעלי הספק גבוה.
● מוליכות תרמית: 3.5-4.9 W/cm·K, המאפשר פיזור חום יעיל במכשירים בעלי ביצועים גבוהים.
3. מאפיינים תרמיים ומכאניים
● Wide Bandgap: 3.26 eV, תומך בפעולה בתנאי מתח גבוה, טמפרטורה גבוהה וקרינה גבוהה.
● קשיות: סולם Mohs 9, המבטיח חוסן מפני בלאי מכני במהלך העיבוד.
● מקדם התפשטות תרמית: 4.2×10−6/K4.2 \times 10^{-6}/\text{K}4.2×10−6/K, המבטיח יציבות מימדית תחת שינויים בטמפרטורה.
| פָּרָמֶטֶר | דרגת הפקה | ציון מחקר | כיתה דמה | יְחִידָה |
| צִיוּן | דרגת הפקה | ציון מחקר | כיתה דמה | |
| קוֹטֶר | 76.2 ± 0.5 | 76.2 ± 0.5 | 76.2 ± 0.5 | mm |
| עוֹבִי | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | מיקרומטר |
| כיוון רקיק | על הציר: <0001> ± 0.5° | על הציר: <0001> ± 2.0° | על הציר: <0001> ± 2.0° | תוֹאַר |
| צפיפות מיקרוצינור (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | cm−2^-2−2 |
| התנגדות חשמלית | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω·ס"מ |
| דופנט | לא מסומם | לא מסומם | לא מסומם | |
| כיוון שטוח ראשוני | {1-100} ± 5.0° | {1-100} ± 5.0° | {1-100} ± 5.0° | תוֹאַר |
| אורך שטוח ראשוני | 32.5 ± 3.0 | 32.5 ± 3.0 | 32.5 ± 3.0 | mm |
| אורך שטוח משני | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | mm |
| אוריינטציה שטוחה משנית | 90° CW מהדירה הראשונית ± 5.0° | 90° CW מהדירה הראשונית ± 5.0° | 90° CW מהדירה הראשונית ± 5.0° | תוֹאַר |
| אי הכללת קצה | 3 | 3 | 3 | mm |
| LTV/TTV/Bow/Warp | 3 / 10 / ±30 / 40 | 3 / 10 / ±30 / 40 | 5 / 15 / ±40 / 45 | מיקרומטר |
| חספוס פני השטח | Si-face: CMP, C-Face: מלוטש | Si-face: CMP, C-Face: מלוטש | Si-face: CMP, C-Face: מלוטש | |
| סדקים (אור בעוצמה גבוהה) | אַף לֹא אֶחָד | אַף לֹא אֶחָד | אַף לֹא אֶחָד | |
| לוחות משושה (אור בעוצמה גבוהה) | אַף לֹא אֶחָד | אַף לֹא אֶחָד | שטח מצטבר 10% | % |
| אזורי פולטייפ (אור בעוצמה גבוהה) | שטח מצטבר 5% | שטח מצטבר 20% | שטח מצטבר 30% | % |
| שריטות (אור בעוצמה גבוהה) | ≤ 5 שריטות, אורך מצטבר ≤ 150 | ≤ 10 שריטות, אורך מצטבר ≤ 200 | ≤ 10 שריטות, אורך מצטבר ≤ 200 | mm |
| קצה צ'יפינג | אין ≥ 0.5 מ"מ רוחב/עומק | 2 מותר ≤ 1 מ"מ רוחב/עומק | 5 מותר ≤ 5 מ"מ רוחב/עומק | mm |
| זיהום פני השטח | אַף לֹא אֶחָד | אַף לֹא אֶחָד | אַף לֹא אֶחָד |
יישומים
1. Power Electronics
מרווח הפס הרחב והמוליכות התרמית הגבוהה של מצעי HPSI SiC הופכים אותם לאידיאליים עבור התקני חשמל הפועלים בתנאים קיצוניים, כגון:
●התקני מתח גבוה: כולל MOSFETs, IGBTs ו- Schottky Barrier Diodes (SBDs) להמרת הספק יעילה.
● מערכות אנרגיה מתחדשת: כגון מהפכים סולאריים ובקרי טורבינות רוח.
● רכבים חשמליים (EVs): משמש בממירים, מטענים ומערכות הינע כדי לשפר את היעילות ולהקטין את הגודל.
2. יישומי RF ומיקרוגל
ההתנגדות הגבוהה וההפסדים הדיאלקטריים הנמוכים של פרוסות HPSI חיוניים עבור מערכות רדיו (RF) ומיקרוגל, כולל:
●תשתית טלקומוניקציה: תחנות בסיס לרשתות 5G ותקשורת לוויינית.
● תעופה וחלל והגנה: מערכות מכ"ם, אנטנות של מערך שלבים ורכיבי אוויוניקה.
3. אופטואלקטרוניקה
השקיפות ורווח הפס הרחב של 4H-SiC מאפשרים את השימוש בו במכשירים אופטואלקטרוניים, כגון:
●UV Photodetectors: לניטור סביבתי ואבחון רפואי.
● נוריות LED בעוצמה גבוהה: תומכות במערכות תאורה במצב מוצק.
● דיודות לייזר: ליישומים תעשייתיים ורפואיים.
4. מחקר ופיתוח
מצעי HPSI SiC נמצאים בשימוש נרחב במעבדות מו"פ אקדמיות ותעשייתיות לבחינת תכונות חומר מתקדמות וייצור מכשירים, כולל:
● צמיחת שכבה אפיטקסיאלית: מחקרים על הפחתת פגמים ואופטימיזציה של שכבות.
●מחקרי ניידות נושאים: חקירת הובלת אלקטרונים וחורים בחומרים בעלי טוהר גבוה.
● אב טיפוס: פיתוח ראשוני של מכשירים ומעגלים חדשים.
יתרונות
איכות מעולה:
טוהר גבוה וצפיפות פגמים נמוכה מספקים פלטפורמה אמינה ליישומים מתקדמים.
יציבות תרמית:
תכונות פיזור חום מעולות מאפשרות למכשירים לפעול ביעילות בתנאי הספק וטמפרטורה גבוהים.
תאימות רחבה:
כיוונים זמינים ואפשרויות עובי מותאמות אישית מבטיחים התאמה לדרישות שונות של המכשיר.
עֲמִידוּת:
קשיות יוצאת דופן ויציבות מבנית ממזערים בלאי ועיוות במהלך העיבוד וההפעלה.
צדדיות:
מתאים למגוון רחב של תעשיות, מאנרגיה מתחדשת ועד תעופה וחלל וטלקומוניקציה.
מַסְקָנָה
פרוסת סיליקון קרביד בעלת טוהר גבוה בגודל 3 אינץ' מייצגת את פסגת טכנולוגיית המצע למכשירים בעלי הספק גבוה, בתדר גבוה ואופטו-אלקטרוניים. השילוב של תכונות תרמיות, חשמליות ומכניות מצוינות מבטיח ביצועים אמינים בסביבות מאתגרות. מאלקטרוניקה כוח ומערכות RF ועד אופטו-אלקטרוניקה ומו"פ מתקדם, מצעי HPSI אלה מספקים את הבסיס לחידושים של המחר.
למידע נוסף או לביצוע הזמנה, אנא צור איתנו קשר. הצוות הטכני שלנו זמין לספק הדרכה ואפשרויות התאמה אישית המותאמות לצרכים שלך.
תרשים מפורט
