פרוסת מצע ספיר Al2O3 99.999% טוהר גבוה בגודל 4 אינץ', קוטר 101.6 × 0.65 מ"מ עם אורך שטוח ראשוני

פרוסת ספיר בגודל 4 אינץ' (כ-101.6 מ"מ) היא פרוסת ספיר העשויה מחומר ספיר בקוטר של 4 אינץ'.

תכונות

מפרטים נפוצים של פרוסות ספיר בגודל 4 אינץ' מוצגים כדלקמן:

עובי: עובי פרוסות ספיר נפוצות הוא בין 0.2 מ"מ ל-2 מ"מ, וניתן להתאים אישית את העובי הספציפי בהתאם לדרישות הלקוח.

קצה מיקום: בדרך כלל ישנו קטע קטן בקצה הוופל הנקרא "קצה המיקום" המגן על פני השטח והקצה של הוופל, והוא בדרך כלל אמורפי.

הכנת פני השטח: פרוסות ספיר נפוצות עוברות ליטוש מכני ומליטוש כימי מכני כדי להחליק את פני השטח.

תכונות פני השטח: פני השטח של פרוסות ספיר בדרך כלל בעלי תכונות אופטיות טובות, כגון רפלקטיביות נמוכה ומקדם שבירה נמוך, כדי לשפר את ביצועי המכשיר.

● מצע גידול לתרכובות III-V ו-II-VI

● אלקטרוניקה ואופטואלקטרוניקה

● יישומי IR

● מעגל משולב סיליקון על גבי ספיר (SOS)

● מעגל משולב תדר רדיו (RFIC)

פָּרִיט	פרוסות ספיר בגודל 4 אינץ' במישור C (0001) בקוטר 650 מיקרומטר
חומרי קריסטל	99,999%, טוהר גבוה, Al2O3 חד-גבישי
צִיוּן	פריים, מוכן לאפי
כיוון פני השטח	מישור C (0001)
	זווית סטייה של מישור C לכיוון ציר M 0.2 +/- 0.1°
קוֹטֶר	100.0 מ"מ +/- 0.1 מ"מ
עוֹבִי	650 מיקרומטר +/- 25 מיקרומטר
כיוון שטוח ראשוני	מישור A (11-20) +/- 0.2°
אורך שטוח ראשוני	30.0 מ"מ +/- 1.0 מ"מ
מלוטש בצד אחד	משטח קדמי	אפי-פוליש, Ra < 0.2 ננומטר (על ידי AFM)
(SSP)	משטח אחורי	טחינה דקה, Ra = 0.8 מיקרון עד 1.2 מיקרון
מלוטש בצד כפול	משטח קדמי	אפי-פוליש, Ra < 0.2 ננומטר (על ידי AFM)
(DSP)	משטח אחורי	אפי-פוליש, Ra < 0.2 ננומטר (על ידי AFM)
TTV	< 20 מיקרומטר
קֶשֶׁת	< 20 מיקרומטר
לְעַקֵם	< 20 מיקרומטר
ניקוי / אריזה	ניקוי חדרים נקיים ואריזת ואקום ברמה 100,
	25 יחידות באריזת קסטה אחת או באריזת יחידה בודדת.