פרוסת גביש יחידה ליתיום ניובט בגודל 4 אינץ' בגודל 6 אינץ', פרוסת LNOI
תהליך ההכנה של חומרי LNOI מחולק בעיקר לארבעה שלבים הבאים
(1) יוני He הוזרקו לחומר ליתיום ניובט חתוך X באנרגיה מסוימת, והוכנסו לשכבת הפגם בעומק מסוים מתחת לשכבת השטח של ליתיום ניובט;
(2) חומר הליתיום ניובט המושתל ביונים מחובר למצע סיליקון באמצעות שכבת תחמוצת ליצירת מבנה קשר;
(3) מבנה הקשר עבר חישול כדי לגרום לפגמים שנוצרו על ידי השתלת יוני He להתפתח ולהצטבר וליצור סדקים. לבסוף, הליתיום ניובט הופרד לאורך שכבת הפגם כדי ליצור את פרוסות הליתיום ניובט הנותרות ופלים של LNOI.
יישומים ויתרונות של פרוסת LNOI
1 - לסרטים פיזואלקטריים של ליתיום ניובט (LNOI) יש מקדם פיזואלקטרי וקבוע דיאלקטרי גבוהים, שיכולים להמיר אנרגיה מכנית לאנרגיה חשמלית או אנרגיה חשמלית לאנרגיה מכנית. לכן, הם נמצאים בשימוש נרחב בתחום החיישנים, כגון חיישני לחץ, חיישני תאוצה, חיישני טמפרטורה וכן הלאה. בנוסף, ניתן להשתמש בסרט פיזואלקטרי של ליתיום ניובט גם במכשירים אקוסטיים והתקני רטט, כגון מסנן קרמי פיזואלקטרי מורכב של מתמר קרמי פיזואלקטרי.
2. יציבותו של סרט פיזואלקטרי ליתיום ניובט היא גם אחד מיתרונותיו. בשל יציבות המבנה הגבישי שלו והאינרטיות הכימית שלו, סרט פיזואלקטרי ליתיום ניובט יכול לעבוד בטמפרטורה גבוהה, לחות גבוהה, חומצה חזקה, בסיס חזק וסביבות קשות אחרות, עם עמידות טובה בפני קורוזיה ועמידות.
סרט פיזואלקטרי 3-ליתיום ניובט הוא חומר פיזואלקטרי חדש בעל ביצועים ויציבות מצוינים, ובעל פוטנציאל יישום רחב. עם ההתפתחות המתמשכת של המדע והטכנולוגיה, סרט פיזואלקטרי ליתיום ניובט ייושם ביותר ערים, ויביא יותר נוחות וחדשנות לחייהם של אנשים.
תרשים מפורט
