4 אינץ' 6 אינץ' ליתיום ניובאט סרט קריסטל יחיד LNOI רקיק
תהליך ההכנה של חומרי LNOI מחולק בעיקר לארבעת השלבים הבאים
(1) יוני He הוזרקו לחומר הליתיום ניובאט בחיתוך X באנרגיה מסוימת, והוכנסו לשכבת הפגם בעומק מסוים מתחת לשכבת פני השטח של ליתיום ניובט;
(2) חומר הליתיום ניובאט המושתל ביונים נקשר למצע סיליקון עם שכבת תחמוצת ליצירת מבנה מליטה;
(3) מבנה החיבור חורך כדי לגרום לפגמים שהוכנסו על ידי השתלת יון He להתפתח ולהצטבר ליצירת סדקים. לבסוף, הליתיום ניובאט הופרד לאורך שכבת הפגם כדי ליצור את שאריות הליתיום ניובאט ופרוסות LNOI.
יישומים ויתרונות של רקיק LNOI
1 - לסרטים פיזואלקטריים של ליתיום ניובאט (LNOI) יש מקדם פיזואלקטרי וקבוע דיאלקטרי גבוה, שיכולים להמיר אנרגיה מכנית לאנרגיה חשמלית או אנרגיה חשמלית לאנרגיה מכנית. לכן, הוא נמצא בשימוש נרחב בתחום החיישנים, כגון חיישני לחץ, חיישני תאוצה, חיישני טמפרטורה וכן הלאה. בנוסף, הסרט הפיאזואלקטרי ליתיום ניובאט יכול לשמש גם במכשירים אקוסטיים והתקני רטט, כגון מסנן קרמי פיזואלקטרי מורכב של מתמר קרמי פיזואלקטרי.
2-היציבות של סרט פיזואלקטרי ליתיום ניובאט היא גם אחד היתרונות שלו. בשל יציבות המבנה הגבישי והאינרטיות הכימית שלו, סרט פיזואלקטרי ליתיום ניובאט יכול לעבוד בטמפרטורה גבוהה, לחות גבוהה, חומצה חזקה, אלקליות חזקות וסביבה קשה אחרת, עם עמידות טובה בפני קורוזיה ועמידות.
סרט פיזואלקטרי 3-Lithium niobate הוא חומר פיזואלקטרי חדש עם ביצועים ויציבות מצוינים, ויש לו סיכוי יישום רחב. עם הפיתוח המתמשך של המדע והטכנולוגיה, סרט פיזואלקטרי ליתיום ניובאט יופעל בערים נוספות, ויביא יותר נוחות וחדשנות לחייהם של אנשים
תרשים מפורט
