פרוסות סיליקון קרביד SiC בקוטר 6 אינץ' ובאורך 150 מ"מ מסוג 4H-N עבור מחקר ייצור MOS או SBD ודרגת דמה
תחומי יישום
למצע גביש יחיד מסיליקון קרביד בגודל 6 אינץ' תפקיד מכריע בתעשיות רבות. ראשית, הוא נמצא בשימוש נרחב בתעשיית המוליכים למחצה לייצור התקנים אלקטרוניים בעלי הספק גבוה כגון טרנזיסטורי הספק, מעגלים משולבים ומודולי הספק. מוליכות תרמית גבוהה ועמידותו בטמפרטורה גבוהה מאפשרות פיזור חום טוב יותר, וכתוצאה מכך יעילות ואמינות משופרות. שנית, פרוסות סיליקון קרביד חיוניות בתחומי מחקר לפיתוח חומרים והתקנים חדשים. בנוסף, פרוסת סיליקון קרביד מוצאת יישומים נרחבים בתחום האופטואלקטרוניקה, כולל ייצור נוריות LED ודיודות לייזר.
מפרט מוצר
למצע הגביש החד-יחיד מסיליקון קרביד בגודל 6 אינץ' קוטר של 6 אינץ' (כ-152.4 מ"מ). חספוס פני השטח הוא Ra < 0.5 ננומטר, והעובי הוא 600 ± 25 מיקרומטר. ניתן להתאים אישית את המצע עם מוליכות מסוג N או מסוג P, בהתאם לדרישות הלקוח. יתר על כן, הוא מפגין יציבות מכנית יוצאת דופן, המסוגלת לעמוד בלחץ ובתנודות.
| קוֹטֶר | 150±2.0 מ"מ (6 אינץ') | ||||
| עוֹבִי | 350 מיקרומטר ± 25 מיקרומטר | ||||
| הִתמַצְאוּת | על ציר: <0001> ±0.5° | מחוץ לציר: 4.0° לכיוון 1120±0.5° | |||
| פוליטיפ | 4H | ||||
| התנגדות (Ω·cm) | 4H-N | 0.015~0.028 Ω·cm/0.015~0.025ohm·cm | |||
| 4/6H-SI | >1E5 | ||||
| כיוון שטוח ראשוני | {10-10}±5.0° | ||||
| אורך שטוח ראשוני (מ"מ) | 47.5 מ"מ ± 2.5 מ"מ | ||||
| קָצֶה | שיפוע | ||||
| TTV/קשת/עיוות (אממ) | ≤15 / ≤40 / ≤60 | ||||
| חזית AFM (Si-face) | פולני Ra≤1 ננומטר | ||||
| CMP Ra≤0.5 ננומטר | |||||
| ערך חיי המטבע (LTV) | ≤3 מיקרומטר (10 מ"מ * 10 מ"מ) | ≤5 מיקרומטר (10 מ"מ * 10 מ"מ) | ≤10 מיקרומטר (10 מ"מ * 10 מ"מ) | ||
| TTV | ≤5 מיקרומטר | ≤10 מיקרומטר | ≤15 מיקרומטר | ||
| קליפות תפוז/גלעין/סדקים/זיהום/כתמים/פסים | אַף לֹא אֶחָד | אַף לֹא אֶחָד | אַף לֹא אֶחָד | ||
| כניסות | אַף לֹא אֶחָד | אַף לֹא אֶחָד | אַף לֹא אֶחָד | ||
מצע גביש יחיד מסיליקון קרביד בגודל 6 אינץ' הוא חומר בעל ביצועים גבוהים הנמצא בשימוש נרחב בתעשיות המוליכים למחצה, המחקר והאופטואלקטרוניקה. הוא מציע מוליכות תרמית מצוינת, יציבות מכנית ועמידות בטמפרטורה גבוהה, מה שהופך אותו למתאים לייצור התקנים אלקטרוניים בעלי הספק גבוה ולמחקר חומרים חדשים. אנו מספקים מפרטים שונים ואפשרויות התאמה אישית כדי לענות על דרישות מגוונות של לקוחות.צרו קשר לקבלת פרטים נוספים על פרוסות סיליקון קרביד!
תרשים מפורט
