6 אינץ' 150 מ"מ סיליקון קרביד ופלס SiC מסוג 4H-N עבור מחקר ייצור MOS או SBD ודרגת דמה
שדות יישום
מצע הסיליקון קרביד יחיד בגודל 6 אינץ' ממלא תפקיד מכריע בתעשיות מרובות.ראשית, הוא נמצא בשימוש נרחב בתעשיית המוליכים למחצה לייצור מכשירים אלקטרוניים בעלי הספק גבוה כגון טרנזיסטורי הספק, מעגלים משולבים ומודול הספק.המוליכות התרמית הגבוהה וההתנגדות שלו לטמפרטורה גבוהה מאפשרים פיזור חום טוב יותר, וכתוצאה מכך יעילות ואמינות משופרים.שנית, פרוסות סיליקון קרביד חיוניות בתחומי מחקר לפיתוח חומרים והתקנים חדשים.בנוסף, רקיקת הסיליקון קרביד מוצאת יישומים נרחבים בתחום האופטו-אלקטרוניקה, כולל ייצור של נוריות לד ודיודות לייזר.
מפרט מוצר
מצע הסיליקון קרביד יחיד בגודל 6 אינץ' בקוטר של 6 אינץ' (כ-152.4 מ"מ).חספוס פני השטח הוא Ra < 0.5 ננומטר, והעובי הוא 600 ± 25 מיקרומטר.ניתן להתאים את המצע עם מוליכות מסוג N או P, בהתבסס על דרישות הלקוח.יתר על כן, הוא מפגין יציבות מכנית יוצאת דופן, המסוגל לעמוד בלחץ ורעידות.
| קוֹטֶר | 150±2.0 מ"מ (6 אינץ') | ||||
| עוֹבִי | 350 מיקרומטר ± 25 מיקרומטר | ||||
| נטייה | על הציר: <0001>±0.5° | מחוץ לציר: 4.0° לכיוון 1120±0.5° | |||
| פוליטייפ | 4H | ||||
| התנגדות (Ω·cm) | 4H-N | 0.015~0.028 Ω·cm/0.015~0.025ohm·cm | |||
| 4/6H-SI | >1E5 | ||||
| כיוון שטוח ראשוני | {10-10}±5.0° | ||||
| אורך שטוח ראשי (מ"מ) | 47.5 מ"מ±2.5 מ"מ | ||||
| קָצֶה | Chamfer | ||||
| TTV/Bow/Warp (אום) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
| AFM Front (Si-Face) | Ra≤1 ננומטר פולני | ||||
| CMP Ra≤0.5 ננומטר | |||||
| LTV | ≤3 מיקרומטר (10 מ"מ*10 מ"מ) | ≤5 מיקרומטר (10 מ"מ*10 מ"מ) | ≤10 מיקרומטר (10 מ"מ*10 מ"מ) | ||
| TTV | ≤5 מיקרומטר | ≤10 מיקרומטר | ≤15 מיקרומטר | ||
| קליפת תפוז / חרצנים / סדקים / זיהום / כתמים / פסים | אף אחד | אף אחד | אף אחד | ||
| כניסות | אף אחד | אף אחד | אף אחד | ||
מצע הגביש היחיד בגודל 6 אינץ' של סיליקון קרביד הוא חומר בעל ביצועים גבוהים בשימוש נרחב בתעשיות המוליכים למחצה, המחקר והאופטואלקטרוניקה.הוא מציע מוליכות תרמית מעולה, יציבות מכנית ועמידות בטמפרטורות גבוהות, מה שהופך אותו למתאים לייצור מכשירים אלקטרוניים בעלי הספק גבוה ומחקר חומרים חדשים.אנו מספקים מפרטים שונים ואפשרויות התאמה אישית כדי לענות על דרישות לקוחות מגוונות.צור איתנו קשר לפרטים נוספים על פרוסות סיליקון קרביד!
תרשים מפורט
