מכונת ליטוש קרן יונים לספיר SiC Si
תרשים מפורט
סקירת מוצר של מכונת ליטוש קרן יונים
מכונת חישוב וליטוש קרן יונים מבוססת על עקרון התזה יונים. בתוך תא בוואקום גבוה, מקור יונים מייצר פלזמה, אשר מואצת לקרן יונים בעלת אנרגיה גבוהה. קרן זו מפציצה את פני השטח של הרכיב האופטי, ומסירה חומר בקנה מידה אטומי כדי להשיג תיקון וגימור פני שטח מדויקים במיוחד.
כתהליך ללא מגע, ליטוש באמצעות קרן יונים מבטל לחץ מכני ומונע נזק מתחת לפני השטח, מה שהופך אותו לאידיאלי לייצור אופטיקה מדויקת ביותר המשמשת באסטרונומיה, תעופה וחלל, מוליכים למחצה ויישומי מחקר מתקדמים.
עקרון העבודה של מכונת ליטוש קרן יונים
יצירת יונים
גז אינרטי (למשל, ארגון) מוחדר לתא הוואקום ומיונן באמצעות פריקה חשמלית ליצירת פלזמה.
תאוצה ויצירת קרן
היונים מואצים לכמה מאות או אלפי וולט אלקטרונים (eV) ומעוצבים לנקודת קרן יציבה וממוקדת.
הסרת חומר
קרן היונים ממרימה פיזית אטומים מפני השטח מבלי ליזום תגובות כימיות.
זיהוי שגיאות ותכנון נתיבים
סטיות של צורת פני השטח נמדדות באמצעות אינטרפרומטריה. פונקציות הסרה מוחלות כדי לקבוע את זמני השהייה וליצור נתיבי כלים אופטימליים.
תיקון בלולאה סגורה
מחזורי איטרציה של עיבוד ומדידה נמשכים עד להשגת יעדי דיוק RMS/PV.
תכונות עיקריות של מכונת ליטוש קרן יונים
תאימות משטחים אוניברסלית– מעבד משטחים שטוחים, כדוריים, א-כדוריים ובעלי צורה חופשית
קצב הסרה יציב במיוחדמאפשר תיקון מספרים תת-ננומטריים
עיבוד ללא נזק– ללא פגמים תת-קרקעיים או שינויים מבניים
ביצועים עקביים- עובד באותה מידה גם על חומרים בעלי קשיות משתנה
תיקון תדר נמוך/בינוני– מבטל שגיאות מבלי ליצור ארטיפקטים בתדרים בינוניים/גבוהים
דרישת תחזוקה נמוכה- פעולה רציפה ממושכת עם זמן השבתה מינימלי
מפרט טכני עיקרי של מכונת ליטוש קרן יונים
| פָּרִיט | מִפרָט |
| שיטת עיבוד | התזה של יונים בסביבה של ואקום גבוה |
| סוג עיבוד | חיתוך וליטוש משטחים ללא מגע |
| גודל מקסימלי לחומר עבודה | Φ4000 מ"מ |
| צירי תנועה | 3 צירים / 5 צירים |
| יציבות הסרה | ≥95% |
| דיוק פני השטח | PV < 10 ננומטר; RMS ≤ 0.5 ננומטר (RMS טיפוסי < 1 ננומטר; PV < 15 ננומטר) |
| יכולת תיקון תדרים | מסיר שגיאות בתדירות נמוכה-בינונית מבלי להכניס שגיאות בתדירות בינונית/גבוהה |
| פעולה רציפה | 3-5 שבועות ללא תחזוקת ואקום |
| עלות תחזוקה | נָמוּך |
יכולות עיבוד של מכונת ליטוש קרן יונים
סוגי משטחים נתמכים
פשוט: שטוח, כדורי, פריזמה
קומפלקס: אספרה סימטרית/אסימטרית, אספרה מחוץ לציר, גלילית
מיוחד: אופטיקה דקה במיוחד, אופטיקה של לוחות, אופטיקה חצי כדורית, אופטיקה קונפורמית, לוחות פאזה, משטחים חופשיים
חומרים נתמכים
זכוכית אופטית: קוורץ, מיקרוקריסטלי, K9 וכו'.
חומרים אינפרא אדום: סיליקון, גרמניום וכו'.
מתכות: אלומיניום, נירוסטה, סגסוגת טיטניום וכו'.
גבישים: YAG, סיליקון קרביד חד-גבישי וכו'.
חומרים קשים/שבירים: סיליקון קרביד וכו'.
איכות פני השטח / דיוק
PV < 10 ננומטר
RMS ≤ 0.5 ננומטר
מקרי בוחן של עיבוד מכונת ליטוש קרן יונים
מקרה 1 - מראה שטוחה סטנדרטית
חומר עבודה: קוורץ שטוח קוטר 630 מ"מ
תוצאה: PV 46.4 ננומטר; RMS 4.63 ננומטר
מקרה 2 – מראה מחזירת אור בקרני רנטגן
חומר עבודה: סיליקון שטוח 150 × 30 מ"מ
תוצאה: PV 8.3 ננומטר; RMS 0.379 ננומטר; שיפוע 0.13 מיקרו-רדאן
מקרה 3 – מראה מחוץ לציר
חומר עבודה: מראה גרוסה מחוץ לציר קוטר 326 מ"מ
תוצאה: PV 35.9 ננומטר; RMS 3.9 ננומטר
שאלות נפוצות על משקפי קוורץ
שאלות נפוצות - מכונת ליטוש קרן יונים
שאלה 1: מהו ליטוש באמצעות קרן יונים?
א1:ליטוש באמצעות קרן יונים הוא תהליך ללא מגע המשתמש בקרן ממוקדת של יונים (כגון יוני ארגון) כדי להסיר חומר מפני השטח של חומר העבודה. היונים מואצים ומכוונים אל פני השטח, מה שגורם להסרת חומר ברמה אטומית, וכתוצאה מכך גימורים חלקים במיוחד. תהליך זה מבטל לחץ מכני ונזק מתחת לפני השטח, מה שהופך אותו לאידיאלי עבור רכיבים אופטיים מדויקים.
שאלה 2: אילו סוגי משטחים יכולה מכונת הליטוש Ion Beam לעבד?
א2:המכונת ליטוש קרן יוניםיכול לעבד מגוון משטחים, כולל רכיבים אופטיים פשוטים כמושטוחים, כדורים ומנסרותכמו גם גיאומטריות מורכבות כמואספרות, אספרות מחוץ לציר, ומשטחים חופשייםזה יעיל במיוחד על חומרים כמו זכוכית אופטית, אופטיקה אינפרא אדום, מתכות וחומרים קשים/שבירים.
שאלה 3: עם אילו חומרים ניתן לעבוד עם מכונת הליטוש Ion Beam?
א3:המכונת ליטוש קרן יוניםיכול ללטש מגוון רחב של חומרים, כולל:
-
זכוכית אופטיתקוורץ, מיקרוקריסטלי, K9 וכו'.
-
חומרים אינפרא אדוםסיליקון, גרמניום וכו'.
-
מתכותאלומיניום, נירוסטה, סגסוגת טיטניום וכו'.
-
חומרי קריסטל: YAG, סיליקון קרביד חד-גבישי וכו'.
-
חומרים קשים/שבירים אחריםסיליקון קרביד וכו'.
אודותינו
XKH מתמחה בפיתוח, ייצור ומכירה של זכוכית אופטית מיוחדת וחומרי קריסטל חדשים בטכנולוגיה מתקדמת. המוצרים שלנו משמשים לאלקטרוניקה אופטית, מוצרי אלקטרוניקה צרכנית ולצבא. אנו מציעים רכיבים אופטיים מספיר, כיסויי עדשות לטלפונים ניידים, קרמיקה, LT, סיליקון קרביד SIC, קוורץ ופלים גבישיים מוליכים למחצה. עם מומחיות מיומנת וציוד חדשני, אנו מצטיינים בעיבוד מוצרים לא סטנדרטי, ושואפים להיות מפעל היי-טק מוביל בתחום החומרים האופטואלקטרוניים.
